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平面工藝ppt課件-展示頁(yè)

2025-01-23 16:09本頁(yè)面
  

【正文】 ? ( 15)蒸鋁( 16)光刻六(刻鋁)( 17)合金 ? ( 18)表面鈍化( 19)光刻七(刻壓焊點(diǎn)) ? ( 20)中間測(cè)試( 21)劃片( 22)裝架 ? ( 23)鍵合( 24)封帽( 25)工藝篩選 ? ( 26)成品測(cè)試( 27)打印、包裝,入庫(kù) ? 3 平面工藝中的基本工藝 ? ( 1)前工序 ? 指原始晶片加工開(kāi)始直到中試之前的所有工序。 ? ①薄膜制備工藝 ? 外延,氧化,化學(xué)汽相淀積和蒸發(fā)或?yàn)R射 ? ②摻雜工藝 ? 擴(kuò)散和離子注入 ? ③圖形加工技術(shù) ? 光刻和制版 ? ( 2)后工序 ? 指中測(cè)開(kāi)始到器件完成的所有工序 ? ( 3)輔助工序 ? ①超凈
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