光學(xué)薄膜理論培訓(xùn)1-利達(dá)光電-展示頁
2025-01-20 19:50本頁面
【正文】 2）制備參數(shù)：包括基板溫度、蒸發(fā)速率、真空度 薄膜主要性質(zhì)： （ 1）光學(xué)性質(zhì)：包括折射率、各項(xiàng)異性、吸收、散射、光學(xué)穩(wěn)定性等 （ 2）機(jī)械性質(zhì)：包括硬度、附著力、應(yīng)力 （ 3）抗激光損傷。 e形電子槍特點(diǎn) 電子槍故障分析 A、高壓加不上 ① 真空度低 ② 燈絲短路 (變形 ,膜料掉進(jìn)去 ) ③ 高壓進(jìn)線短路 ④ 冷卻水不足 ⑤ 安全開關(guān)松開 ⑥ 小柜內(nèi)三只保險(xiǎn)絲接觸不良 ⑦ 過流保護(hù)截止管不良 ① 束流無 : 燈絲接觸不良或燒斷； ② 燈絲短路； ③ 束流小 : 燈絲短路 (有臟物，裝配不良 )； ④ 燈絲裝得太緊； ⑤ 束流大 : 燈絲裝得太松； ⑥ 局部短路 (有臟物，裝配不良 )。所以，我們主要針對(duì) PVD技術(shù)中的一些蒸發(fā)方式進(jìn)行論 述 電子束蒸發(fā)原理 ? 電功率 → 電子動(dòng)能 →膜料熱能 ? 在極短時(shí)間內(nèi)膜料溫度上升到幾千度 !! 電子槍結(jié)構(gòu) 優(yōu)點(diǎn) : ； ,膜污染少； ,膜致密； ； ,不易污染 ,壽命長(zhǎng)； 。 ? ploycold的作用： 減少返油和排除水氣 ? 必須在壓強(qiáng)＜ 7Pa，才可啟動(dòng)、工作。 ? 轉(zhuǎn)速較大可以達(dá)到 3000轉(zhuǎn) /分。 真空度的國際單位是帕斯卡，簡(jiǎn)稱帕（ Pa）。 ? 一般采用真空度來表示真空的高低。 ? 實(shí)現(xiàn)某些特定功能。 ? 通過波長(zhǎng)的選擇性透過提高系統(tǒng)信噪比。如減反射膜（ AR）、高反射膜（ HR） ? 實(shí)現(xiàn)光束的調(diào)整或再分配。1 光學(xué)薄膜技術(shù)培訓(xùn) 精密薄膜工程部 2022年 7月 15日 2 目 錄 ?一、光學(xué)薄膜基礎(chǔ)知識(shí) ?二、真空及真空系統(tǒng) ?三、薄膜的制備技術(shù) ?四、薄膜制備工藝 ?五、薄膜材料 ?六、膜厚的監(jiān)控 ?七、光學(xué)薄膜的性能和檢測(cè) ?八、 光學(xué)薄膜產(chǎn)品的常見疵病及相應(yīng)的注意事項(xiàng) ?九、膜系設(shè)計(jì)相關(guān) 一、光學(xué)薄膜基礎(chǔ)知識(shí) 4 光是什么？ 光是一種電磁波 ， 可見光波長(zhǎng)范圍是 380～ 760nm；紅外光為約 760 到107nm量級(jí)；紫外光 1380nm；比紫外光短的還有 X射線 、 γ射線（ ） 等；而比紅外長(zhǎng)的就是我們熟悉的無線電波 。 什么叫做光學(xué)薄膜？ 所謂光學(xué)薄膜 ? 首先它應(yīng)該是薄的 ? 基于光的干涉效應(yīng)（比如光圈 —— 牛頓環(huán)，也是基于光的干涉效應(yīng)） 6 3 保護(hù)膜 4 內(nèi)反射 5 外反射 6 高反膜 7 分束膜 8 分色膜 9 偏振膜 10 導(dǎo)電膜 光學(xué)薄膜的類型與符號(hào) 光學(xué)薄膜在光學(xué)系統(tǒng)中的作用 ? 提高光學(xué)效率、減少雜光。如分束膜、分色膜、偏振分光膜就是根據(jù)不同需要進(jìn)行能量再分配的光學(xué)元件。如窄帶及帶通濾光片、長(zhǎng)波通、短波通濾光片。如 ITO透明導(dǎo)電膜、憎水膜、透明超硬膜等 當(dāng)前最熱門的應(yīng)用領(lǐng)域 8 ?數(shù)碼相機(jī)用的 IRCUT（ OLPF系列） ?減反射膜（ AR） 永遠(yuǎn)的熱門 ?投影顯示光學(xué)系統(tǒng) 包括 LCD、 DLP、 LCOS ?光通訊： DWDM (dense wavelengh division multiplexer)濾光片 ?激光領(lǐng)域 激光反射腔高反射膜 ?液晶領(lǐng)域 ITO膜 二、真空與真空系統(tǒng) 真空 10 （ 1）、定義 ? 真空是壓力低于一個(gè)大氣壓的任何氣態(tài)空間。 （ 2）、單位 真空度以壓強(qiáng)為單位來度量，壓強(qiáng)高表示真空度低，壓強(qiáng)低標(biāo)識(shí)真空度高。 大氣壓強(qiáng)為 105Pa 真空 11 真空在薄膜制備中的作用 （ 1）減少蒸氣分子與殘余氣體分子的碰撞； （ 2）抑制殘余氣體和蒸發(fā)分子之間的反應(yīng)； 分類 特性 粗真空 低真空 高真空 超高真空 真空度范圍 （ Pa） ＞ 103 102~101 101~106 ＜ 106 氣流特點(diǎn) 氣體分子之間有大量碰撞 過渡區(qū)域
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