mems執(zhí)行器__微電機-文庫吧資料
2025-03-13 13:41本頁面
【正文】 械性能評測技術加以評價。 微電機的應用 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 人工心臟 微電機的應用 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 微電機的應用 ?航空航天領域 微電機可用在帶攝像裝置進入衛(wèi)星、火箭或宇航飛機內檢查故障的機器人上。 ?醫(yī)療領域 醫(yī)療領域是微機械技術應用的最具代表性的領域。光纖產(chǎn)品、光學儀器，如光開關、各種視盤機及光刻機、激光設備及激光刀等都需要精密微型電機驅動和超微電動機與光器件融合為一體的光機電系統(tǒng)。 但是由于超磁致伸縮材料易受到電磁場的干擾，必須對超磁致伸縮材料作一定的屏蔽磁場措施。通過依次控制驅動器的伸縮位移，使柔輪產(chǎn)生流動的彈性變形。 。 磁致伸縮直線電機結構圖 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 兩個相互垂直的超磁致伸縮棒 A和 B由驅動元件連接在一起， A和 B上分別繞有線圈，線圈由正弦波形的電流驅動?？煞譃橹本€型和旋轉型兩種。根據(jù)材料幾何尺寸變化形式的不同 , 磁致伸縮效應又可分為縱向效應、橫向效應、握轉效應和體積效應。一般來說，推挽式比偏置式的輸出功率太，能量轉換效率高。如此反復，可使電機輸出位移 。 微電機分類 直線位移型 SMA電機 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 形狀記憶合金微電機 微電機分類 旋轉位移型 SMA電機 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 對偏置式而言，加熱 SMA彈簧，相變發(fā)生，形狀回復力克服彈簧拉力，產(chǎn)生動作。 微電機分類 壓電超聲波微電機的結構 壓電微電機 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 微電機分類 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 微電機分類 壓電微電機 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 優(yōu)點 ?響應速度快 ?輸出轉矩高 ?廉價質輕 缺點 ?材料制備復雜 ?電機難以實現(xiàn)勻速 ?壽命短 微電機分類 壓電微電機 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 形狀記憶合金微電機 執(zhí)行機構比較簡單，有偏置式和推挽式兩種。 壓電電動機由于輸出轉矩大、無電磁干擾、響應速度快、微小位移輸出穩(wěn)定等優(yōu)點 , 可用于精密儀器、照相機、機器人及航空領域。 微電機分類 電磁型微電機 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 微電機分類 電磁型微電機 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 微電機分類 電磁型微電機 優(yōu)點 ?驅動力矩大 ?驅動電壓低 ?易于裝配 缺點 ?結構復雜 ?與 IC工藝兼容性差 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 壓電微電機 壓電電動機按結構可分為行波壓電電動機、
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