mems執(zhí)行器__微電機-文庫吧在線文庫
【正文】 執(zhí)行器根據(jù)信號處理，控制電路發(fā)出的指令自動完成人們所需要的各種功能。 靜電型微電機可分為旋轉(zhuǎn)式和直線式兩種。 按照電機激勵部分的材料可分為薄膜壓電電動機和陶瓷壓電電動機。 對推挽式而言，加熱一側(cè) SMA的同時，冷卻另一側(cè)的 SMA，電機具有雙向做功的能力。其中 A、 B兩個棒的驅(qū)動線圈電流相位差為 90176。 微電機的應用 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 ?軍事領域 各種機器昆蟲、微機器人等將會在今后的反恐、救援、戰(zhàn)爭前線偵察、考古、司法取證、科學探索等方面大顯身手，而每一個微型探測器內(nèi)部都裝有大量的微電機以完成各種需要的動作。發(fā)熱和耐久性問題是值得關(guān)注的課題。 :20:1023:20Mar2327Mar23 1故人江海別，幾度隔山川。 23:20:1023:20:1023:203/27/2023 11:20:10 PM 1成功就是日復一日那一點點小小努力的積累。 , March 27, 2023 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 2023年 3月 27日星期一 11時 20分 10秒 23:20:1027 March 2023 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。勝人者有力，自勝者強。 2023年 3月 27日星期一 下午 11時 20分 10秒 23:20: 1楚塞三湘接，荊門九派通。 2023年 3月 下午 11時 20分 :20March 27, 2023 1行動出成果，工作出財富。特別是在非結(jié)構(gòu)環(huán)境中，微電機應能控制其柔順性。在超微電機基礎上還可以發(fā)展慣性導航器件，如微陀螺。 超磁致伸縮諧波電動機結(jié)構(gòu)原理圖 微電機分類 磁致伸縮型微電機 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 微電機分類 磁致伸縮型微電機 特點： 轉(zhuǎn)速低、步進驅(qū)動、調(diào)速范圍寬、慣量小、響應快、運動平穩(wěn)、精度高、承載力大、效率高、控制性能好。 磁致伸縮型電動機是利用磁致伸縮效應 , 在磁場激勵源下，通過磁致伸縮型驅(qū)動器實現(xiàn)能量轉(zhuǎn)換。按電機的運動形式，其基本結(jié)構(gòu)可分為直線位移型和旋轉(zhuǎn)位移型。 微電機分類 靜電型微電機 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 微電機分類 優(yōu)點 ?結(jié)構(gòu)簡單 ?功耗低 ?響應快 靜電型微電機 缺點 ?驅(qū)動電壓大 ?輸出力矩小 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 電磁型微電機 電磁型超微電動機的研究始于 20 世紀 90 年代 ,根據(jù)電磁間互相作用產(chǎn)生的電磁力作驅(qū)動力驅(qū)動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。根據(jù)其執(zhí)行原理不同分為不同類型，其各自的性能和應用場合也各異。 微電機概述 微機電系統(tǒng) 執(zhí)行器 各種執(zhí)行方式比較 靜電執(zhí)行 材料簡單 需折中驅(qū)動力與位移大小 執(zhí)行相應速度快 易受吸合效應的限制 熱執(zhí)行 能得到較大位移量 功耗相對較大 執(zhí)行相應速度適中 對環(huán)境溫度變化敏感 壓電執(zhí)行
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