半導(dǎo)體器件可靠性與失效分析微電子(ppt52頁)-文庫吧資料
2025-01-03 06:13本頁面
【正文】 達到屈服強度，也會慢慢產(chǎn)生塑性變形的現(xiàn)象 蠕變導(dǎo)致焊點斷裂 ? 脆性斷裂 當(dāng)應(yīng)力超過某一值時，陶瓷、玻璃和硅等脆性材料易發(fā)生脆性斷裂。 20～ 30%差 有源器件精度： 177。 ５ % 有源器件精度： 177。 10% 有源器件精度： 177。 點缺陷：冗余物、丟失物、氧化物針孔、結(jié)泄漏 來源：灰塵微粒、硅片與設(shè)備的接觸、化學(xué)試劑中的雜質(zhì)顆粒。 第二章 元器件制造工藝與缺陷 芯片加工中的缺陷與成品率預(yù)測 芯片制造缺陷的分類： 全局缺陷：光刻對準(zhǔn)誤差、工藝參數(shù)隨機起伏、線寬變化等；在成熟、可控性良好的工藝線上，可減少到極少，甚至幾乎可以消除。真空滅弧室無需檢修處理，當(dāng)其損壞時，只能采取更換。 [1] 真空電子器件里面就包含真空斷路器，真空斷路器具有很多優(yōu)點，所以在變電站上應(yīng)用很多。 真空電子器件按其功能分為： 實現(xiàn)直流電能和電磁振蕩能量之間轉(zhuǎn)換的 靜電控制電子管 ； 將直流能量轉(zhuǎn)換成頻率為 300兆赫～ 3000吉赫電磁振蕩能量的 微波電子管 ； 利用聚焦電子束實現(xiàn)光、電信號的記錄、存儲、轉(zhuǎn)換和顯示的 電子束管 ； 利用光電子發(fā)射現(xiàn)象實現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換的光電管； 產(chǎn)生 X射線的 X射線管 ； 管內(nèi)充有氣體并產(chǎn)生氣體放電的 充氣管 ； 以真空和氣體中粒子受激輻射為工作機理，將電磁波加以放大的真空量子電子器件等。有些在抽出管內(nèi)氣體后，再充入所需成分和壓強的氣體。 真空電子器件 (vacuum electronic device) 指借助電子在真空或者氣體中與電磁場發(fā)生相互作用，將一種形式電磁能量轉(zhuǎn)換為另一種形式電磁能量的器件。 ?器件：在工廠生產(chǎn)加工時改變了分子結(jié)構(gòu)的成品，本身能產(chǎn)生電子，對電壓電流的控制、變換 (放大、開關(guān)、整流、檢波、振蕩和調(diào)制等 )，也稱電子器件。 GJB40272023《 軍用電子元器件破壞性物理分析方法 》 中的定義： 在電子線路或電子設(shè)備中執(zhí)行電氣、電子、電磁、機電或光電功能的基本單元，該基本單元可由一個或多個零件組成，通常不破壞是不能將其分解的。半導(dǎo)體器件可靠性與失效分析 202320231 教材： 付桂翠 ,陳穎等 ,電子元器件可靠性技術(shù)教程 北京航空航天大學(xué)出版社 ,2023年 7月第一版 . (普通高?！笆晃濉币?guī)劃教材 ) 參考書 : 1. 孔學(xué)東 ,恩云飛 ,電子元器件失效分析與典型案例 ,國防工業(yè)出版社 , 2023年 9月第一版 . 2. 王蘊輝 ,于宗光等 ,電子元器件可靠性設(shè)計 ,科學(xué)出版社 . 3. 孫青等 ,電子元器件可靠性工程 ,電子工業(yè)出版社 . 理論教學(xué)內(nèi)容 (1) (1) (1) (3) (2) (4) (2) (2) (6) (4) 實驗教學(xué)內(nèi)容
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