微機(jī)型數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)使用說明書-文庫吧資料
2024-08-17 00:16本頁面
【正文】 點(diǎn)是否需要修正?；诘驼婵諟y(cè)量與控制單元其使用方法與電阻單元2相同?！? 因此雖存在一定的漂移，……，不需要修正?！? 滿度修正時(shí)，電阻規(guī)安裝或放置狀態(tài)（豎直或水平）應(yīng)與使用時(shí)狀態(tài)相同。以及真空計(jì)零點(diǎn)正確或變化微小，但滿度值已變化。● 順時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大，反時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小。在零點(diǎn)確認(rèn)正確或經(jīng)修正正確后，對(duì)真空系統(tǒng)放氣，直至大氣壓下，說明滿度正確，不需要修正。● 順時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大，反時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小。將電阻規(guī)2和電離規(guī)與高真空系統(tǒng)妥善連接，同時(shí)對(duì)真空系統(tǒng)抽到真空，開啟電離規(guī)進(jìn)行真空檢測(cè)，101Pa時(shí)，101Pa，說明零點(diǎn)正確，不需要修正，若顯示不為此值，應(yīng)進(jìn)行修正。零點(diǎn)修正及說明● 101Pa時(shí)進(jìn)行。、滿度修正 由于電阻規(guī)本身的特異性（即零散性）以及使用時(shí)的特定環(huán)境等因素，從而使電阻計(jì)2與某一個(gè)電阻規(guī)匹配首次使用時(shí)或使用一段時(shí)間后，需要對(duì)零點(diǎn)、滿度進(jìn)行修正。真空計(jì)開機(jī)及顯示說明： 在確保所有連線正確后，即可接通真空計(jì)電源，顯示屏顯示◎◎◎◎◎ ◎◎◎◎◎ 電阻2單元 電阻1與電離復(fù)合單元0E2系數(shù)位 表示10 指數(shù)符號(hào)位“+”或“”指數(shù)位例如左窗口顯示：102Pa=200Pa● 當(dāng)指數(shù)符號(hào)為負(fù)顯示“”，為正不顯示“+”真空計(jì)使用方法： 電阻2為獨(dú)立單元，真空計(jì)開機(jī)后● 此刻應(yīng)進(jìn)行電阻單元2設(shè)定操作（如果有此功能或需要設(shè)定）。 將電離規(guī)電纜線（四芯插頭）與儀器后面板電離規(guī)插口相連并旋緊，電纜線的另一頭（八腳插口）與電離規(guī)八腳插頭相連。● 應(yīng)避免規(guī)管安裝處有漏孔，否則微小漏氣在規(guī)管局部產(chǎn)生壓力差，這將帶來較大的測(cè)量偏差?！? 應(yīng)遠(yuǎn)離有油蒸汽（如擴(kuò)散泵返油）的位置，防止油蒸汽遇高溫?zé)艚z裂解，改變規(guī)管靈敏度和特性以延長規(guī)管的使用壽命?！? 水平安裝可能會(huì)帶來測(cè)量偏差。安裝示意圖如下： ● 玻璃外殼電阻規(guī)安裝前可先與電阻單元連機(jī)確認(rèn)零點(diǎn)是否正確或修正其零點(diǎn)，然后開封安裝?！? 或無需測(cè)量時(shí)暫時(shí)關(guān)閉電離規(guī)?！? 因此應(yīng)采取最優(yōu)的真空系統(tǒng)運(yùn)行程序，縮短低真空區(qū)域停留時(shí)間。如真空度變好時(shí)系數(shù)本應(yīng)減小，它卻反而增加，或真空度異常偏高等。ZJ27電離規(guī)的峰值點(diǎn)（或雙值點(diǎn)）為：。因此在真空環(huán)境下，相對(duì)空氣（氮?dú)猓┑钠渌鼩怏w曲線及修正系數(shù)和等效氮壓力公式如下：（僅供參考）Peff（等效真空）=KP（顯示真空） ZJ27電離規(guī)（又稱寬量程規(guī)），其陰極燈絲采用貴金屬氧化物增強(qiáng)了陰極的抗氧化從而提高了耐受瞬時(shí)大氣沖擊的能力，延長了規(guī)管壽命。因此不同種類的氣體對(duì)電阻規(guī)的靈敏度不同。適用于粗、低真空測(cè)量，105 101 Pa測(cè)量。6．1電阻規(guī)性能概述：ZJ52T電阻規(guī)(又稱皮拉尼規(guī))采用經(jīng)過特殊的穩(wěn)定化處理工藝，以熱容量極小的金屬絲作為真空敏感元件，并內(nèi)置了環(huán)境溫度補(bǔ)償回路和管口防粉塵等裝置?？赏ㄟ^面板完成去氣功能等操作?？赏ㄟ^前面板完成控制點(diǎn)的設(shè)定，以及自動(dòng)/手動(dòng)模式測(cè)量時(shí)的自由切換。這種復(fù)合在手動(dòng)模式時(shí)，電阻1和電離規(guī)可不受安裝位置限制（如不在同一真空室內(nèi)等），通過手動(dòng)開啟和關(guān)閉電離規(guī)進(jìn)行測(cè)量和控制。電阻1和電離組合為復(fù)合單元，由真空計(jì)前面板右窗口顯示。電阻單元2為獨(dú)立工作單元，由真空計(jì)前面板左窗口顯示。采用國際通用流行的2U標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱以及PVC彩色薄膜面板，使真空計(jì)外型更為美觀、時(shí)尚。采用超量程自動(dòng)關(guān)閉電離規(guī)燈絲技術(shù)，確保因真空系統(tǒng)突然曝露大氣而不損壞電離規(guī)。采用全進(jìn)口的微處理和數(shù)字接口芯片以及模擬與數(shù)字分離技術(shù)，光電隔離技術(shù)，數(shù)字濾波等新技術(shù)，確保了真空計(jì)具有強(qiáng)大的抗干擾能力。采用高穩(wěn)定、高性能直流高壓穩(wěn)壓及穩(wěn)發(fā)射電路，以確保電離規(guī)各參數(shù)穩(wěn)定運(yùn)行。其工作原理功理圖如下：電阻規(guī)2測(cè)量橋路調(diào)理電路模數(shù)轉(zhuǎn)換（A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換(A/D)）調(diào)理電路測(cè)量橋路電阻規(guī)1微處理器控制輸出模擬量輸出計(jì)算機(jī)口輸出外控信號(hào)按鍵輸入顯示器電 源交流AC模數(shù)轉(zhuǎn)換(A/D)離子流放大穩(wěn)發(fā)射回路規(guī)管燈絲電離規(guī)管收集極直流高壓加速集真空計(jì)電路工作原理框圖性能概述：本復(fù)合真空計(jì)：采用經(jīng)過特殊的穩(wěn)定的處理工藝，以熱容量極小的金屬絲作為真空敏感元件的電阻規(guī)，從而更大程度地降低零點(diǎn)、滿度的漂移。以微處理器為核心的數(shù)字電路，一方面完成電阻單元真空數(shù)字信號(hào)非線性處理、運(yùn)算，最后送顯示器顯示；一方面完成電離單元數(shù)字信號(hào)采樣、運(yùn)算，并送顯示器顯示；同時(shí)完成離子流放大量程和發(fā)射電流轉(zhuǎn)換的自動(dòng)切換。電阻單元電路完成電阻規(guī)熱絲定溫功率調(diào)節(jié)，以及隨真空度變化的測(cè)量橋路電壓信號(hào)的采樣，放大，經(jīng)模數(shù)（A/D）轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。離子流與氣體壓力p的關(guān)系： I+=KIePK為規(guī)管靈敏度，I+為離子流，Ie為發(fā)射電流，P為真空系統(tǒng)內(nèi)壓力（真空）。 電離計(jì)工作原理 電離單元采用熱陰極電離規(guī)。由于溫度的改變導(dǎo)致熱絲電阻的變化。機(jī)箱規(guī)格及開孔尺寸和重量參見附錄。工作相對(duì)濕度＜85%。工作環(huán)境溫度：0～450C。功率：最大功率約40W。10%/50H
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