tescan3型掃描電子顯微鏡操作規(guī)程-文庫吧資料
2025-07-13 12:06本頁面
【正文】 退出SEM分析軟件時(shí)，一定使系統(tǒng)真空達(dá)到要求，保持綠條提示才關(guān)閉軟件。（4）樣品室的真空達(dá)到要求（10^5torr）后，才可加燈絲高壓。（2）樣品放置或移動時(shí)，必須確保不會碰觸各種探頭。（7）拔下電源插頭。（5）將SEM主機(jī)下方面板上的開關(guān)，由ON轉(zhuǎn)向OFF。（3）點(diǎn)擊用戶界面的關(guān)閉或文件菜單中的switch off and exit，退出SEM操作界面。關(guān)機(jī)（1）在圖像中，點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵，選菜單中的最小化按鈕，使SEM回到最小放大倍數(shù)，BI調(diào)到10，樣品臺降至最低位置（手動調(diào)節(jié)），將BSE探頭搖出，然后再切斷高壓按鈕。（6）能譜分析時(shí)，要根據(jù)樣品性質(zhì)，選擇合適的電鏡加速電壓，設(shè)置采譜時(shí)間，EDS的時(shí)間常數(shù)，調(diào)整束流使能譜計(jì)數(shù)率CPS為適當(dāng)值（一般，總數(shù)率=采樣時(shí)間*計(jì)數(shù)率，總數(shù)率的值大于25萬）。（3）根據(jù)放大倍數(shù)，選擇合適的掃描速度采集圖像并存儲（4）如果對樣品進(jìn)行成分分析，應(yīng)該將WD調(diào)至15mm左右，手動調(diào)節(jié)樣品臺高度，直至清晰為止（空載時(shí)，物鏡極靴與樣品臺的安全高度為3mm；當(dāng)BSE探頭搖進(jìn)時(shí)，安全高度為8mm）。5) μA ），進(jìn)行觀
環(huán)評公示相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1