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脈沖激光沉積pld-文庫吧資料

2025-06-29 18:48本頁面
  

【正文】 大能量,短脈沖創(chuàng)造超過靶材的閾值的功率密度3. 比較高的重復(fù)頻率,提升濺射速度。脈沖激光沉積的優(yōu)點(diǎn)有:1. 由于激光光子能量很高,可濺射制備很多困難的鍍層:如高溫超導(dǎo)薄膜,陶瓷氧化物薄膜,多層金屬薄膜等; PLD可以用來合成納米管,納米粉末等2. PLD可以非常容易的連續(xù)融化多個(gè)
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