【正文】 ，得到對(duì)超精密表面垂直方向nm分辨率測(cè)量。③大范圍觸針掃描傳感器垂直和水平定位的非線性誤差機(jī)理和動(dòng)態(tài)補(bǔ)償模型建立相位光柵計(jì)量結(jié)果與測(cè)針橫向和水平位移非線性關(guān)系模型，基于該模型，建立對(duì)于采樣數(shù)據(jù)的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償模型和算法。測(cè)針隨表面起伏上下移動(dòng)，引起杠桿繞支點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)相位光柵轉(zhuǎn)動(dòng)，光電探測(cè)器探測(cè)入射到相位光柵的激光發(fā)生的衍射干涉條紋移動(dòng)，得到相位光柵位移，進(jìn)而得到測(cè)針起伏，從而得到表面高度分布。④多樣性表面形貌與結(jié)構(gòu)特征提取、分析、評(píng)定技術(shù)多樣性表面形貌與結(jié)構(gòu)特征提取、分析、評(píng)定，即建立涵蓋多種分析工具的特征分析工具箱、標(biāo)準(zhǔn)評(píng)定算法和個(gè)性化評(píng)定算法的評(píng)定工具箱，共同組成特征提取、分析、評(píng)定軟件系統(tǒng)。③邁克爾遜白光干涉顯微鏡白光干涉顯微鏡，是實(shí)現(xiàn)白光干涉垂直掃描表面形貌綜合測(cè)量和基于白光干涉的可溯源原子力掃描探針顯微鏡的基礎(chǔ)。通過(guò)兩個(gè)光電探測(cè)器同時(shí)對(duì)兩正交方向干涉條紋分析計(jì)數(shù)，便可同時(shí)得到光柵相對(duì)位移，從而實(shí)現(xiàn)二維位移同步測(cè)量。具體各部分技術(shù)方案如下：①基于雙正交衍射光柵干涉的二維位移同步計(jì)量當(dāng)一束準(zhǔn)直激光束垂直入射到柵線和工作面都互相平行的兩透射正交衍射光柵，它被它們多次衍射，在柵線方向產(chǎn)生衍射干涉特征。其次，采用相位光柵干涉技術(shù)，研發(fā)觸針掃描位移傳感器，并基于音圈電機(jī)測(cè)力控制設(shè)計(jì)，建立微恒力觸針掃描表面形貌測(cè)量傳感器；研究邁克爾遜白光干涉技術(shù)；研究白光干涉垂直定位計(jì)量技術(shù)。本項(xiàng)目擬開(kāi)發(fā)高端表面形貌測(cè)量系列儀器，包括①大范圍觸針掃描表面形貌綜合測(cè)量?jī)x； ②白光干涉垂直掃描表面形貌綜合測(cè)量?jī)x；③可溯源原子力探針掃描顯微鏡。本項(xiàng)目針對(duì)我國(guó)重大工程和重大專項(xiàng)研究及先進(jìn)制造科研領(lǐng)域多樣化表面形貌測(cè)量、分析和評(píng)定不斷提高的現(xiàn)實(shí)需要，及我國(guó)表面輪廓測(cè)量?jī)x器產(chǎn)品處于低水平，表面形貌三維測(cè)量?jī)x器產(chǎn)品尚處于空白的現(xiàn)狀，提出研究開(kāi)發(fā)系列高端表面形貌測(cè)量?jī)x器。如星空探測(cè)、點(diǎn)火工程、同步輻射工程中，諸多超精密平面和曲面鏡面的制備，需要既有納米分辨率、又有大范圍的表面測(cè)量分析手段來(lái)進(jìn)行質(zhì)量監(jiān)測(cè)和控制；在我國(guó)重大專項(xiàng)高檔數(shù)控機(jī)床與基礎(chǔ)制造裝備專項(xiàng)中，迫切需要大范圍、高精度自由曲面綜合測(cè)量、分析系統(tǒng)，以用于精密加工工藝分析；在極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項(xiàng)中，要求能對(duì)微結(jié)構(gòu)和微納形貌進(jìn)行測(cè)量分析的的儀器系統(tǒng)。隨著科學(xué)研究和先進(jìn)制造技術(shù)發(fā)展，產(chǎn)品表面形貌與結(jié)構(gòu)越來(lái)越多樣化，由傳統(tǒng)工程表面，發(fā)展到越來(lái)越多科學(xué)表面，如生物表面、IC表面、MEMS表面、能源器件表面、信息存儲(chǔ)表面、結(jié)構(gòu)光學(xué)表面、功能表面等，由平滑表面發(fā)展到結(jié)構(gòu)性表面，由簡(jiǎn)單幾何表面發(fā)展到自由曲面，由毫米微米尺度形貌發(fā)展到納米尺度形貌，精度要求也越來(lái)越高。表2序號(hào)名稱簡(jiǎn)稱價(jià)格（萬(wàn)）成本（萬(wàn)）利潤(rùn)（萬(wàn)）技術(shù)利潤(rùn)（萬(wàn)）每年銷售（條）合作10年銷售（條）總技術(shù)利潤(rùn)（萬(wàn)）1圓錐滾子軸承全自動(dòng)全參數(shù)檢測(cè)裝配線完整版36030654181101802圓錐滾子軸承全自動(dòng)裝配線簡(jiǎn)裝版120903063301803圓錐滾子軸承全自動(dòng)多參數(shù)檢測(cè)裝配線檢測(cè)版130~35090~260~～220240總超額技術(shù)利潤(rùn)（萬(wàn)）600（四） 高精度制造計(jì)量、測(cè)量器具與儀器該項(xiàng)目已獲得2011年國(guó)家重大科學(xué)儀器專項(xiàng)。主要情況見(jiàn)表1。所以，圓錐滾子軸承自動(dòng)裝配線處于發(fā)展的起步階段，市場(chǎng)前景良好，誰(shuí)先抓住機(jī)遇，誰(shuí)就會(huì)占領(lǐng)這一市場(chǎng)。由于我國(guó)勞動(dòng)力成本低，目前95%為手工裝配，隨著國(guó)外供應(yīng)商在中國(guó)不斷地加大采購(gòu)力度，對(duì)圓錐滾子軸承的產(chǎn)量和質(zhì)量都提出了更高的要求，以及勞動(dòng)力緊缺和勞動(dòng)力成本的大幅提高，加劇了軸承行業(yè)自動(dòng)裝配線擴(kuò)展的趨勢(shì)。 目前我國(guó)滾動(dòng)軸承年產(chǎn)量為80億套，其中，圓錐滾子軸承占的比重大約10%，年產(chǎn)量為8億套左右。為襄陽(yáng)汽車軸承股份有限公司打開(kāi)圓錐滾子軸承國(guó)外市場(chǎng)，兩條裝配線貢獻(xiàn)巨大。預(yù)計(jì)每臺(tái)簡(jiǎn)易自動(dòng)圓錐滾子軸承裝配線市場(chǎng)價(jià)在120萬(wàn)元人民幣以上，利潤(rùn)為20萬(wàn)元人民幣，%。該項(xiàng)目公司經(jīng)營(yíng)目標(biāo)為：（1）全自動(dòng)圓錐滾子軸承數(shù)字化裝配線，每年銷售1－2條，穩(wěn)定到每年2條以上的水平；（2）簡(jiǎn)易自動(dòng)圓錐滾子軸承裝配線，前三年每年銷售2－5條，以后穩(wěn)定到每年5條以上的水平。該裝配線為綠色環(huán)保產(chǎn)品，環(huán)保設(shè)計(jì)，無(wú)污染。該裝配線為高科技產(chǎn)品，采用電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、光學(xué)技術(shù)與機(jī)械技術(shù)相結(jié)合，改變了國(guó)內(nèi)傳統(tǒng)的手工裝配模式。進(jìn)入二十一世紀(jì)后，我國(guó)軸承制造商對(duì)軸承的自動(dòng)生產(chǎn)線要求日益迫切，現(xiàn)在勞動(dòng)力緊缺和勞動(dòng)力成本的大幅提高進(jìn)一步加劇了軸承行業(yè)自動(dòng)生產(chǎn)線擴(kuò)展的趨勢(shì)。大量出口國(guó)外設(shè)備。進(jìn)入園區(qū)后，結(jié)合電磁探傷的領(lǐng)先技術(shù)，開(kāi)拓汽車行業(yè)的自動(dòng)化探傷產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)，研發(fā)取代曲軸凸輪軸磁粉探傷的數(shù)字化探傷機(jī)床、取代軸承鋼珠、滾子、軸承座等磁粉探傷的數(shù)字化探傷機(jī)床、汽車生產(chǎn)過(guò)程的測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備等，保持在石油、煤礦行業(yè)領(lǐng)先水平，拓展汽車制造業(yè)的探傷設(shè)備與服務(wù)能力。進(jìn)入園區(qū)后，進(jìn)一步開(kāi)發(fā)凸輪軸磨床、曲軸銑磨床、曲軸凸輪軸表面淬火機(jī)床、曲軸凸輪軸探傷機(jī)床、高精膛床等，形成以汽車曲軸為主線的產(chǎn)業(yè)鏈，處于行業(yè)領(lǐng)先水平，提升產(chǎn)能和服務(wù)能力。依托學(xué)校和工程中心承擔(dān)的國(guó)家和省市重大科技項(xiàng)目，如“973”、“數(shù)控重大專項(xiàng)（04）”、 “IC重大專項(xiàng)(02)”、 “重大科學(xué)儀器專項(xiàng)”、 “數(shù)控一代專項(xiàng)”等，形成基礎(chǔ)突破、應(yīng)用領(lǐng)先、服務(wù)優(yōu)越的創(chuàng)新模式。采用以國(guó)家高新項(xiàng)目及其研究成果為核心驅(qū)動(dòng)，集中高、中、低層人才和技術(shù)骨干，形成成以技術(shù)帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)業(yè)驅(qū)動(dòng)技術(shù)、隊(duì)伍實(shí)施目標(biāo)、項(xiàng)目促進(jìn)協(xié)同的產(chǎn)、學(xué)、研多位一體的園區(qū)模式。先后研制出激光切焊一體化加工裝備、全身伽馬刀、數(shù)控曲軸磨床、重型七軸五聯(lián)動(dòng)車銑復(fù)合加工機(jī)床、高性能RFID標(biāo)簽封裝裝備、系列化檢測(cè)裝備等。建有數(shù)字制造裝備與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、國(guó)家數(shù)控系統(tǒng)工程技術(shù)研究中心、國(guó)家CAD支撐軟件工程技術(shù)研究中心、制造裝備數(shù)字化國(guó)家工程研究中心等4個(gè)國(guó)家級(jí)科研平臺(tái)，科研實(shí)力雄厚。所依托的主體學(xué)科——機(jī)械工程學(xué)科是華中科技大學(xué)創(chuàng)始學(xué)科之一。早在1993年，就建有“智能制造技術(shù)”教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，2006年升格為國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。（三）建立高端制造裝備與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園意義重大因此，加快建立支持區(qū)域發(fā)展的高端制造裝備與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園意義十分重大：破解多學(xué)科交叉、創(chuàng)新鏈條銜接、產(chǎn)學(xué)研用合作的綜合性難題，走智能制造裝備自主創(chuàng)新之路，打破國(guó)外的技術(shù)封鎖和限制，確保我國(guó)的產(chǎn)業(yè)安全和國(guó)防安全；在制造裝備領(lǐng)域，培養(yǎng)和造就大量有創(chuàng)新意識(shí)、團(tuán)隊(duì)精神和實(shí)踐能力的高素質(zhì)高端人才，為實(shí)現(xiàn)2020年躋身創(chuàng)新型國(guó)家