【正文】 ，采用偏振相移，實(shí)現(xiàn)相移干涉測(cè)量，得到對(duì)超精密表面垂直方向nm分辨率測(cè)量。③大范圍觸針掃描傳感器垂直和水平定位的非線(xiàn)性誤差機(jī)理和動(dòng)態(tài)補(bǔ)償模型建立相位光柵計(jì)量結(jié)果與測(cè)針橫向和水平位移非線(xiàn)性關(guān)系模型，基于該模型，建立對(duì)于采樣數(shù)據(jù)的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償模型和算法。測(cè)針隨表面起伏上下移動(dòng)，引起杠桿繞支點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)相位光柵轉(zhuǎn)動(dòng)，光電探測(cè)器探測(cè)入射到相位光柵的激光發(fā)生的衍射干涉條紋移動(dòng)，得到相位光柵位移，進(jìn)而得到測(cè)針起伏，從而得到表面高度分布。④多樣性表面形貌與結(jié)構(gòu)特征提取、分析、評(píng)定技術(shù)多樣性表面形貌與結(jié)構(gòu)特征提取、分析、評(píng)定，即建立涵蓋多種分析工具的特征分析工具箱、標(biāo)準(zhǔn)評(píng)定算法和個(gè)性化評(píng)定算法的評(píng)定工具箱，共同組成特征提取、分析、評(píng)定軟件系統(tǒng)。③邁克爾遜白光干涉顯微鏡白光干涉顯微鏡，是實(shí)現(xiàn)白光干涉垂直掃描表面形貌綜合測(cè)量和基于白光干涉的可溯源原子力掃描探針顯微鏡的基礎(chǔ)。通過(guò)兩個(gè)光電探測(cè)器同時(shí)對(duì)兩正交方向干涉條紋分析計(jì)數(shù)，便可同時(shí)得到光柵相對(duì)位移，從而實(shí)現(xiàn)二維位移同步測(cè)量。具體各部分技術(shù)方案如下：①基于雙正交衍射光柵干涉的二維位移同步計(jì)量當(dāng)一束準(zhǔn)直激光束垂直入射到柵線(xiàn)和工作面都互相平行的兩透射正交衍射光柵，它被它們多次衍射，在柵線(xiàn)方向產(chǎn)生衍射干涉特征。其次，采用相位光柵干涉技術(shù)，研發(fā)觸針掃描位移傳感器，并基于音圈電機(jī)測(cè)力控制設(shè)計(jì)，建立微恒力觸針掃描表面形貌測(cè)量傳感器；研究邁克爾遜白光干涉技術(shù)；研究白光干涉垂直定位計(jì)量技術(shù)。本項(xiàng)目擬開(kāi)發(fā)高端表面形貌測(cè)量系列儀器，包括①大范圍觸針掃描表面形貌綜合測(cè)量?jī)x； ②白光干涉垂直掃描表面形貌綜合測(cè)量?jī)x；③可溯源原子力探針掃描顯微鏡。本項(xiàng)目針對(duì)我國(guó)重大工程和重大專(zhuān)項(xiàng)研究及先進(jìn)制造科研領(lǐng)域多樣化表面形貌測(cè)量、分析和評(píng)定不斷提高的現(xiàn)實(shí)需要，及我國(guó)表面輪廓測(cè)量?jī)x器產(chǎn)品處于低水平，表面形貌三維測(cè)量?jī)x器產(chǎn)品尚處于空白的現(xiàn)狀，提出研究開(kāi)發(fā)系列高端表面形貌測(cè)量?jī)x器。如星空探測(cè)、點(diǎn)火工程、同步輻射工程中，諸多超精密平面和曲面鏡面的制備，需要既有納米分辨率、又有大范圍的表面測(cè)量分析手段來(lái)進(jìn)行質(zhì)量監(jiān)測(cè)和控制；在我國(guó)重大專(zhuān)項(xiàng)高檔數(shù)控機(jī)床與基礎(chǔ)制造裝備專(zhuān)項(xiàng)中，迫切需要大范圍、高精度自由曲面綜合測(cè)量、分析系統(tǒng)，以用于精密加工工藝分析；在極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專(zhuān)項(xiàng)中，要求能對(duì)微結(jié)構(gòu)和微納形貌進(jìn)行測(cè)量分析的的儀器系統(tǒng)。隨著科學(xué)研究和先進(jìn)制造技術(shù)發(fā)展，產(chǎn)品表面形貌與結(jié)構(gòu)越來(lái)越多樣化，由傳統(tǒng)工程表面，發(fā)展到越來(lái)越多科學(xué)表面，如生物表面、IC表面、MEMS表面、能源器件表面、信息存儲(chǔ)表面、結(jié)構(gòu)光學(xué)表面、功能表面等，由平滑表面發(fā)展到結(jié)構(gòu)性表面，由簡(jiǎn)單幾何表面發(fā)展到自由曲面，由毫米微米尺度形貌發(fā)展到納米尺度形貌，精度要求也越來(lái)越高。表2序號(hào)名稱(chēng)簡(jiǎn)稱(chēng)價(jià)格（萬(wàn)）成本（萬(wàn)）利潤(rùn)（萬(wàn)）技術(shù)利潤(rùn)（萬(wàn)）每年銷(xiāo)售（條）合作10年銷(xiāo)售（條）總技術(shù)利潤(rùn)（萬(wàn)）1圓錐滾子軸承全自動(dòng)全參數(shù)檢測(cè)裝配線(xiàn)完整版36030654181101802圓錐滾子軸承全自動(dòng)裝配線(xiàn)簡(jiǎn)裝版120903063301803圓錐滾子軸承全自動(dòng)多參數(shù)檢測(cè)裝配線(xiàn)檢測(cè)版130~35090~260~～220240總超額技術(shù)利潤(rùn)（萬(wàn)）600（四） 高精度制造計(jì)量、測(cè)量器具與儀器該項(xiàng)目已獲得2011年國(guó)家重大科學(xué)儀器專(zhuān)項(xiàng)。主要情況見(jiàn)表1。所以，圓錐滾子軸承自動(dòng)裝配線(xiàn)處于發(fā)展的起步階段，市場(chǎng)前景良好，誰(shuí)先抓住機(jī)遇，誰(shuí)就會(huì)占領(lǐng)這一市場(chǎng)。由于我國(guó)勞動(dòng)力成本低，目前95%為手工裝配，隨著國(guó)外供應(yīng)商在中國(guó)不斷地加大采購(gòu)力度，對(duì)圓錐滾子軸承的產(chǎn)量和質(zhì)量都提出了更高的要求，以及勞動(dòng)力緊缺和勞動(dòng)力成本的大幅提高，加劇了軸承行業(yè)自動(dòng)裝配線(xiàn)擴(kuò)展的趨勢(shì)。 目前我國(guó)滾動(dòng)軸承年產(chǎn)量為80億套，其中，圓錐滾子軸承占的比重大約10%，年產(chǎn)量為8億套左右。為襄陽(yáng)汽車(chē)軸承股份有限公司打開(kāi)圓錐滾子軸承國(guó)外市場(chǎng)，兩條裝配線(xiàn)貢獻(xiàn)巨大。預(yù)計(jì)每臺(tái)簡(jiǎn)易自動(dòng)圓錐滾子軸承裝配線(xiàn)市場(chǎng)價(jià)在120萬(wàn)元人民幣以上，利潤(rùn)為20萬(wàn)元人民幣，%。該項(xiàng)目公司經(jīng)營(yíng)目標(biāo)為：（1）全自動(dòng)圓錐滾子軸承數(shù)字化裝配線(xiàn)，每年銷(xiāo)售1－2條，穩(wěn)定到每年2條以上的水平；（2）簡(jiǎn)易自動(dòng)圓錐滾子軸承裝配線(xiàn)，前三年每年銷(xiāo)售2－5條，以后穩(wěn)定到每年5條以上的水平。該裝配線(xiàn)為綠色環(huán)保產(chǎn)品，環(huán)保設(shè)計(jì)，無(wú)污染。該裝配線(xiàn)為高科技產(chǎn)品，采用電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、光學(xué)技術(shù)與機(jī)械技術(shù)相結(jié)合，改變了國(guó)內(nèi)傳統(tǒng)的手工裝配模式。進(jìn)入二十一世紀(jì)后，我國(guó)軸承制造商對(duì)軸承的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)要求日益迫切，現(xiàn)在勞動(dòng)力緊缺和勞動(dòng)力成本的大幅提高進(jìn)一步加劇了軸承行業(yè)自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)擴(kuò)展的趨勢(shì)。大量出口國(guó)外設(shè)備。進(jìn)入園區(qū)后，結(jié)合電磁探傷的領(lǐng)先技術(shù)，開(kāi)拓汽車(chē)行業(yè)的自動(dòng)化探傷產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)，研發(fā)取代曲軸凸輪軸磁粉探傷的數(shù)字化探傷機(jī)床、取代軸承鋼珠、滾子、軸承座等磁粉探傷的數(shù)字化探傷機(jī)床、汽車(chē)生產(chǎn)過(guò)程的測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備等，保持在石油、煤礦行業(yè)領(lǐng)先水平，拓展汽車(chē)制造業(yè)的探傷設(shè)備與服務(wù)能力。進(jìn)入園區(qū)后，進(jìn)一步開(kāi)發(fā)凸輪軸磨床、曲軸銑磨床、曲軸凸輪軸表面淬火機(jī)床、曲軸凸輪軸探傷機(jī)床、高精膛床等，形成以汽車(chē)曲軸為主線(xiàn)的產(chǎn)業(yè)鏈，處于行業(yè)領(lǐng)先水平，提升產(chǎn)能和服務(wù)能力。依托學(xué)校和工程中心承擔(dān)的國(guó)家和省市重大科技項(xiàng)目，如“973”、“數(shù)控重大專(zhuān)項(xiàng)（04）”、 “IC重大專(zhuān)項(xiàng)(02)”、 “重大科學(xué)儀器專(zhuān)項(xiàng)”、 “數(shù)控一代專(zhuān)項(xiàng)”等，形成基礎(chǔ)突破、應(yīng)用領(lǐng)先、服務(wù)優(yōu)越的創(chuàng)新模式。采用以國(guó)家高新項(xiàng)目及其研究成果為核心驅(qū)動(dòng)，集中高、中、低層人才和技術(shù)骨干，形成成以技術(shù)帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)業(yè)驅(qū)動(dòng)技術(shù)、隊(duì)伍實(shí)施目標(biāo)、項(xiàng)目促進(jìn)協(xié)同的產(chǎn)、學(xué)、研多位一體的園區(qū)模式。先后研制出激光切焊一體化加工裝備、全身伽馬刀、數(shù)控曲軸磨床、重型七軸五聯(lián)動(dòng)車(chē)銑復(fù)合加工機(jī)床、高性能RFID標(biāo)簽封裝裝備、系列化檢測(cè)裝備等。建有數(shù)字制造裝備與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、國(guó)家數(shù)控系統(tǒng)工程技術(shù)研究中心、國(guó)家CAD支撐軟件工程技術(shù)研究中心、制造裝備數(shù)字化國(guó)家工程研究中心等4個(gè)國(guó)家級(jí)科研平臺(tái)，科研實(shí)力雄厚。所依托的主體學(xué)科——機(jī)械工程學(xué)科是華中科技大學(xué)創(chuàng)始學(xué)科之一。早在1993年，就建有“智能制造技術(shù)”教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，2006年升格為國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。（三）建立高端制造裝備與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園意義重大因此，加快建立支持區(qū)域發(fā)展的高端制造裝備與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園意義十分重大：破解多學(xué)科交叉、創(chuàng)新鏈條銜接、產(chǎn)學(xué)研用合作的綜合性難題，走智能制造裝備自主創(chuàng)新之路，打破國(guó)外的技術(shù)封鎖和限制，確保我國(guó)的產(chǎn)業(yè)安全和國(guó)防安全；在制造裝備領(lǐng)域，培養(yǎng)和造就大量