計(jì)算機(jī)控制實(shí)例ppt課件-文庫吧資料
2025-05-10 12:10本頁面
【正文】 延片為例，單臺(tái)設(shè)備生長 5層總厚度約 5微米的 GaN介質(zhì)層，只需 4個(gè)小時(shí)，一周可生產(chǎn) 250片 2吋外延片，提供約 350萬個(gè)藍(lán)色發(fā)光二極管管芯。它可以記錄各生長層厚度與時(shí)間的關(guān)系變化曲線和每一基片外延層的均勻程度。檢測光照射到多層結(jié)構(gòu)的外延片表面時(shí)形成的光干涉波信號(hào)，由光干涉波頻率與層間距離的關(guān)系，得到外延生長層的厚度和生長速率。 ? 檢測系統(tǒng) D180系統(tǒng)配置了在線光干涉測厚儀。 ? 加熱控制 通過外延基片正對的反應(yīng)室上方的紅外溫度傳感器，不斷測量基片表面溫度，通過控制調(diào)節(jié)托盤下部的三個(gè)獨(dú)立加熱的環(huán)形帶狀加熱元件的加電時(shí)間和通電電流實(shí)現(xiàn)基片區(qū)域均勻的溫度控制。 ? 裝載控制 控制機(jī)械手完成基片裝載過程。 ⑴ 整體結(jié)構(gòu) 采用兩級(jí)計(jì)算機(jī)的分級(jí)式控制系統(tǒng)，主控計(jì)算機(jī)管理人機(jī)界面、輸入?yún)?shù)和顯示系統(tǒng)工作狀態(tài)，根據(jù)工作參數(shù)協(xié)調(diào)指揮下層各控制部分的工作。 n電極 P電極 ⑷ MOCVD設(shè)備 國際上主要有美國和德國兩家 MOCVD設(shè)備生產(chǎn)商，本課以美國 EMCORE公司生產(chǎn)的 D180型 MOCVD設(shè)備為例 。同時(shí)又是白光 LED的基礎(chǔ)，成為光電子新興產(chǎn)業(yè)中極具影響的產(chǎn)品。 過零信號(hào)中斷服務(wù) 觸發(fā)計(jì)數(shù)器 =0？ 觸發(fā)可控硅導(dǎo)通 觸發(fā)計(jì)數(shù)器減一 周期計(jì)數(shù)器減一 周期計(jì)數(shù)器 =0？ 觸發(fā)計(jì)數(shù)器 =Pn 中斷返回 進(jìn)程計(jì)時(shí)器加一 N Y GaN基發(fā)光二極管及工藝 . . . GaN基發(fā)光二極管及工藝 ⑴ GaN基高亮度發(fā)光二極管（ LED） GaN基藍(lán)光 LED產(chǎn)品的出現(xiàn)從根本上解決了發(fā)光二極管三基色缺色的問題，是全彩顯示不可缺少的關(guān)鍵器件。 ? 輸出控制模塊：以交流電源過零信號(hào)為中斷觸發(fā)信號(hào)，按照輸出值在控制周期內(nèi)發(fā)出相應(yīng)次數(shù)的觸發(fā)可控硅導(dǎo)通信號(hào)。該數(shù)值經(jīng)過查表和線性插值運(yùn)算可得到相應(yīng)的爐溫值，再經(jīng)過二 十進(jìn)制變換和顯示字形變換，顯示出正確的溫度值。 ? 數(shù)據(jù)采樣模塊：每 （含完整的 2個(gè)控制執(zhí)行周期）啟動(dòng)模數(shù)轉(zhuǎn)換器對溫度進(jìn)行采樣，同時(shí)對環(huán)境溫度也采樣一次，進(jìn)行熱電偶冷端補(bǔ)償。輸入溫度變化過程控制參數(shù)和發(fā)出啟停命令。按照功能分為參數(shù)輸入、控制進(jìn)程識(shí)別、數(shù)據(jù)采樣、數(shù)據(jù)顯示、 PID計(jì)算、輸出和報(bào)警等七個(gè)模塊。CePCeCeCeCeeeKeeKPCeeeeKeKeeKPpxnnnnnnnDnnPnnnnnDnInnPnn2,10,010P10||5),()(5||),()(1m ax21112111 控制程序使用 51系列單片機(jī)匯編語言編制。常規(guī)離散 PID算式為： 若令： KI= KP（ TS / TI ）為積分系數(shù)； KD= KP（ TD／ TS）為微分系數(shù)，則上式可寫為： ?????? ??????? )( 10nnSDniiISnpn eeTTeTTeKp)( 10?????? ? nnDniiInpn eeKeKeKp 根據(jù)遞推原理，可寫出 n一
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