【正文】
R G B substrate BM Case 1. Overhung ITO電阻大或斷路 R G B substrate BM Case 2. Narrow Slit between Thick Color Resists B G R substrate BM Case 3. Stack with each other ITO電阻正常 21 Color Filter制程 ITO Cassette Station Robot Transfer Stage Target Rotation Chamber Vacuum Chamber Partition Glass in vertical position, perpendicular to the screen 22 Color Filter制程 Vacuum Chamber Substrate Target Plasma Ar+ e Gas Inlet Vacuum Pumps 2kV Sputtering 的原理 23 Color Filter可靠性評價 測試 內(nèi)容 依據(jù) CF在 LCD制程 中可能 遭遇 到的 環(huán)境進(jìn)行模擬實(shí)驗(yàn) 針對 CF特性進(jìn)行壽命周期實(shí)驗(yàn) , 評估 CF在特定 環(huán)境條件 下功能是否衰退 測試 方法 將 CF切成 5cm*5cm大小 樣品 ,每 項(xiàng)實(shí)驗(yàn)條件 取 5個樣品進(jìn)行測試 實(shí)驗(yàn)前后 ,每片 CF樣品 均需做 外觀檢查 及色度 量測 施行 階段 試 作品 定期管理 工程 變 更 24 Color Filter可靠性評價 25 Color Filter可靠性評價 檢查標(biāo)準(zhǔn) a) 在彩膜基板上不允許有顏色擴(kuò)散、著色劑溶出、裂紋等異常出現(xiàn) 。 UV 紫外光 Brush 毛刷 Jetspray 二流體清洗 MS 超高 聲 波 Air Knife 風(fēng)刀 HPamp。 ※ 適當(dāng)?shù)牧?/熱 /化學(xué)穩(wěn)定性以利后續(xù) LCD制程 11 Color Filter制程 Color Filter制程 Color Filter Output Black Matrix R subpixel G subpixel B subpixel ITO Sputtering BM negative resist coating Prebake, Dosing, Developing, Postbaking. R Negative resist Coating, Prebake, Dosing,