ct擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介ppt課件-文庫(kù)吧資料
2025-01-12 13:52本頁(yè)面
【正文】 升降整個(gè)傳送系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)； Centrotherm槳托 槳 控制槳高低位的電機(jī) 控制槳高低位的聯(lián)動(dòng)裝置 ： centrotherm是利用固定在一側(cè)的傳送皮帶帶動(dòng)槳托運(yùn)動(dòng)； Centrotherm的傳送皮帶 皮帶傳送電機(jī) ： centrotherm的 lift能實(shí)現(xiàn)上下和前后運(yùn)動(dòng)，石英舟的左右運(yùn)動(dòng)則是依靠下方的傳送帶實(shí)現(xiàn)； Centrotherm的 lift，只能上下和前后運(yùn)動(dòng) 裝載系統(tǒng)下的傳送帶 ： centrotherm的儲(chǔ)存架位于 lift同一位置，一共七個(gè)（由于儲(chǔ)存架尚未安裝，此數(shù)量是從 store架的形狀看出）； Centrotherm儲(chǔ)存架位置 ： centrotherm的裝載系統(tǒng)， recipe管理系統(tǒng)，程序運(yùn)行和執(zhí)行均由同一顯示界面控制； Centrotherm的控制界面 ： centrotherm裝載系統(tǒng)頂部有一個(gè)冷卻箱，配有真空吸筆接口； 真空吸筆接口 Centrotherm冷卻箱 7. 凈化風(fēng)機(jī)位置 ：位置相同，都位于裝載系統(tǒng)下部，但形狀不一樣。 控制柜 動(dòng)力柜 UPS電源 爐體 電力配置箱，變壓器 動(dòng)力柜，控制柜，爐體與變壓器分布 Spike TC 溫度測(cè)量模塊 Spike TC 供電 超溫監(jiān)控 CMS（機(jī)器安全系統(tǒng)） 冷卻水管接口 冷卻水管接口 Spike TC 爐體情況 接線柱 Spike TC Spike TC（包含兩根熱偶，一根用于超溫報(bào)警，一根用于工藝控溫） 石英管 工藝氣體進(jìn)氣管 Paddle TC放置口 尾氣
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