ct擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)簡介ppt課件-展示頁
2025-01-15 13:52本頁面
【正文】 管放置 爐絲及爐管 爐絲與接線柱接口設(shè)計(jì) 爐門控制系統(tǒng) TGA Centrotherm的爐門系統(tǒng)由專門的控制裝置 TGA（ Toxic Gas Exhaust），其上有熱排風(fēng)來抽走爐門開關(guān)過程中可能釋放出的有毒氣體和熱量。 CMS （ central machine safety）， 錯(cuò)誤監(jiān)視單元，用于監(jiān)視爐內(nèi)，爐外，爐體及電路的溫度和冷卻系統(tǒng)的工作狀況，并將結(jié)果顯示在 CMI電腦用戶界面上。 爐體部位包含五根爐管，控制柜里面包含著負(fù)責(zé)工藝程序執(zhí)行的 CESAR電腦 ,CMS和溫度控制器，電源柜負(fù)責(zé)供給整個(gè)機(jī)臺(tái)所需的動(dòng)力電源。 ：用于提供擴(kuò)散 工藝過程所需的各種工藝氣體， 以及將擴(kuò)散過程中產(chǎn)生的尾氣 通過酸排風(fēng)系統(tǒng)排出。 （ Toxic Gas Exhaust）：用于驅(qū)動(dòng)爐門，吸收在進(jìn)舟和出舟過程中可能泄漏出來的有毒氣體。1 Centrotherm擴(kuò)散爐設(shè)備結(jié)構(gòu)簡介 CONTENT 設(shè)備基本構(gòu)成 爐體部分 Load station Gas cabinate 控制及監(jiān)控系統(tǒng) 基本構(gòu)成 — centrotherm Centrotherm擴(kuò)散爐機(jī)臺(tái)主體由裝載系統(tǒng)， TGA，爐體部分和氣源柜四部 分組成。其各部分功能如下： ：用于將上料臺(tái)上的石英舟及未擴(kuò)散硅片送入爐內(nèi)，以及將擴(kuò)散完成的硅片傳送到上料臺(tái)。 ：機(jī)臺(tái)的核心 部分，由五個(gè)爐體及相關(guān)的電 源系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。 爐體部分 — centrotherm 爐體部位包含爐體，控制柜和電源柜三個(gè)部分。 控制柜 動(dòng)力柜 爐體 控制柜 動(dòng)力柜 CCC電腦放置處 動(dòng)力柜 動(dòng)力柜中的變壓器 機(jī)體溫度監(jiān)控
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