lasma等離子原理介紹精-文庫吧資料
2025-05-18 18:16本頁面
【正文】 mers),通過 Plasma的洗 ,(在O2或 Ar Plasma中進行短暫的暴光即可 ),可以增加表面的粘著力 . 原理 : 通過 Plasma,清除表面的污染物 , 使其表面變粗 ,可以暴露出更多的表面區(qū)域 ,以建立 miniature dipoles(微形的雙極子 ),從而增加電性的粘著力 .具體請見 ﹕ 目前使用的 Ar的成份 ? Ar = % ? N2 = 55 ppm ? O2 = 10 ppm ? H2 = 5 ppm ? H2O =20 ppm ?總的碳含量 = 10 ppm Ar的純度與清洗的效果 ? 在 Plasma清洗時 ,首先利用 Vacuum pump將Chamber內(nèi)的空氣抽至設(shè)定的 gas stable(不可能將空氣完全抽空 ),然后就開始注入 Ar,當 Ar的含量達到設(shè)定的體積后 (通過監(jiān)控 Chamber的壓力值 ),RF ON,Plasma產(chǎn)生 . ? 因而 ,在反映中 Ar與一定數(shù)量的空氣同時存在 。 金屬表面氧化物 。 初版 劉卓 更新版 彭齊全 工作原理 ? 當 chamber內(nèi)部之壓力低到某一程度 (約 101 torr左右 )時 , 氣態(tài)正離子開始往負電極移動 , 由於受電場作用會加速撞擊負電極板 , 產(chǎn)生電極板表面原子 , 雜質(zhì)分子和離子以及二次電子 (e)… 等 , 此 e又會受電場作用往正電極方向移動 , 於移動過程會撞擊 chamber內(nèi)之氣體分子 (ex. : Ar原子 … 等 ), 產(chǎn)生 Ar+等氣態(tài)正離子 , 此 Ar+再受電場的作用去撞擊負電極板 , 又再產(chǎn)生表面原子以及二次電子 (e)… 等 , 如此周而復(fù)始之作用即為 Plasma產(chǎn)生之原理 . +Ar e +Ar e PCB Ar 高頻電極 地極 檢驗方法 Pull and Shear test ? Pull and Shear test 應(yīng)用最為廣泛 . 推力頭 根據(jù)推力值可以判定 Plasma效果如何 ,如果效果較差則推力值會小 . 根據(jù)拉力值可以判定 Plasma效果如何 ,如果效果差則拉力值小 . 鉤針 檢驗方法 Pull and She
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