數(shù)控技術(shù)檢測2第五章-文庫吧資料
2025-05-27 21:07本頁面
【正文】 本形狀分為 平面實體形 磁尺 一般長度為 600mm 帶 狀 磁 尺 基體厚 ，寬 70mm 線 狀 磁 尺 長度小于 ，套裝在磁頭內(nèi) 圓 形 磁 尺 做成 磁盤狀 ，檢測 角位移 表面錄有 相等節(jié)距 （一般為 ， ， 1mm）周期變化的磁信號。 伺服系統(tǒng)數(shù)字顯示尺磁檢測電路磁磁尺位置檢測裝置 磁性標(biāo)尺 磁性標(biāo)尺是在 非導(dǎo)磁材料 如 銅、不銹鋼、玻 璃 或其他合金材料的基體上，用 涂敷、化學(xué)沉積 或電鍍 的一層 10～ 20um的導(dǎo)磁材料（ NiCo或 FeCo合金），在它的表面上錄制相等 節(jié)距周期 變化的磁信號 。 分類 ：直線和圓形磁尺，分別用于 直線 和 角度 位移的測量。 原理 ：利用 錄磁原理 將一定周期變化的方波、正弦波或脈沖電信號，用錄磁磁頭記錄在磁性標(biāo)尺的磁膜上，作為測量的基準(zhǔn)。光學(xué)系統(tǒng)易受外界的影響產(chǎn)生誤差，同時又有灰塵、油、冷卻液等污物的侵入，易使光學(xué)系統(tǒng)變質(zhì)。 ● 在檢測過程中，標(biāo)尺光柵與指示光柵不直接接觸，沒有磨損，因而精度可以長期保持。 4 等倍透鏡系統(tǒng) （如圖 55所示） 光柵柵距很小，兩光柵間距也很小，如果 不能保證標(biāo)尺光柵和指示光柵之間的安裝間距 ，就不能得到正確的信號，因此在實際使用中常采用等倍透鏡系統(tǒng)，它是在指示光柵和標(biāo)尺光柵之間裝上等倍透鏡 L3和 L4，這樣 G1的象以同樣大小投影在 G2上形成莫爾條紋，滿足安裝要求。 54反射讀數(shù)頭 3 反射讀數(shù)頭 （如圖 54所示 ） 這種讀數(shù)頭用于 25~50線 /mm以下的反射光柵系統(tǒng)。 直射讀數(shù)頭 2 直射讀數(shù)頭 這種讀數(shù)頭用于 25125線 /mm的玻璃透射光柵系統(tǒng)。光柵法向以 α角入射的光線，在標(biāo)尺光柵 G1分為 0級和 1級衍射光后，指示光柵 G2再次衍射分為 4種組合；相互干涉形成莫爾條紋。由光源、指示光柵、光學(xué)系統(tǒng)及光電元件等組成。 這樣每一移相脈沖使相對相依基準(zhǔn)移相 360／ n度，即可實現(xiàn) n倍細(xì)分，有八倍頻、十倍頻、二十倍頻或更高。 對方波信號，可進行二倍頻和四倍頻處理，但最高為四倍頻； ? 對連續(xù)變化的正弦波信號，可采用 相位跟蹤細(xì)分， 進一步提高分辨率。這樣，當(dāng)柵距為 l/50mm(20μm)時： 四倍額后每個脈沖當(dāng)員為 5μm，即分辨率提高了 4倍。四路尖脈沖按相 位關(guān)系經(jīng)與門和 A、 B、 C、 D相與，再輸出給或門，輸出正反向 信號．其中 A’B、 AD’、 C’D、 B’C分別通過 Y Y Y Y4輸 出給或門 H 1，得正向脈沖，而 BC’、 AB’、 A’D、 CD’通過 Y Y Y Y8輸出給或門 H2，得反內(nèi)脈沖。 的兩路等寬脈沖 C和 D。 的方波信號 A和 Bo。將兩組相差 180 176。 —Q —Q 光柵測量系統(tǒng)圖 光柵四倍頻電路 ? 當(dāng)指示光柵相標(biāo)尺光柵相對移動時，四個硅光電池 Pl， P P P4產(chǎn)生 四路相差 90176。 Y1有信號輸出， Y2輸出為 0；觸發(fā)器 Q=0， =1，計數(shù)器做減法計數(shù)。當(dāng)測量反向位移時， u2超前 u190176。 Y Y2輸入到觸發(fā)器，使觸發(fā)器 Q=1， =0；在觸發(fā)器控制下，可逆計數(shù)器做加法計算。 相位角， u u2經(jīng)整形放大后，得到兩個方波信號 u1′,u2′。 的正弦信號 u1和 u2插入到辨向電路中。 1）辨向原理 位移是有方向的，當(dāng)工作臺正向移動時，得到的脈沖數(shù)累 加，反向移動時從已
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