數(shù)控技術(shù)檢測2第五章(編輯修改稿)
2025-07-01 21:07 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 Y Y Y8輸出給或門 H2，得反內(nèi)脈沖。當(dāng)正向運動時， H1 有脈沖信號輸出， H2則保持低平；而反向運動時， H2有脈沖信 號輸出， H1則保持低電平。這樣，當(dāng)柵距為 l/50mm(20μm)時： 四倍額后每個脈沖當(dāng)員為 5μm，即分辨率提高了 4倍。 2）細分技術(shù)（倍頻技術(shù)） ? 光柵輸出給數(shù)控裝置的信號有兩種， 方波信號和正弦波號。 對方波信號，可進行二倍頻和四倍頻處理，但最高為四倍頻； ? 對連續(xù)變化的正弦波信號，可采用 相位跟蹤細分， 進一步提高分辨率。其原理是 將輸出信號與相對相位基難信號比較，當(dāng)相位差超過一定門檻時，移相脈沖門輸出移相脈沖，同時使相對相位基準信號跟蹤測量信號變化。 這樣每一移相脈沖使相對相依基準移相 360／ n度，即可實現(xiàn) n倍細分，有八倍頻、十倍頻、二十倍頻或更高。 光柵讀數(shù)頭 光柵讀數(shù)頭是位置信號的檢出裝置，是光柵與電子線路轉(zhuǎn)換的部件。由光源、指示光柵、光學(xué)系統(tǒng)及光電元件等組成。有以下幾種形式： 1 分光讀數(shù)頭 分光讀數(shù)頭 即細光柵的莫爾條紋因光線通過線紋衍射后，產(chǎn)生干涉結(jié)果。光柵法向以 α角入射的光線，在標尺光柵 G1分為 0級和 1級衍射光后，指示光柵 G2再次衍射分為 4種組合；相互干涉形成莫爾條紋。這種光柵莫爾條紋反差較強，但柵距小。 直射讀數(shù)頭 2 直射讀數(shù)頭 這種讀數(shù)頭用于 25125線 /mm的玻璃透射光柵系統(tǒng)。光源 Q發(fā)出的光經(jīng)透鏡 L變成平行光，照射在光柵 G1和 G2上，把 G2形成的莫爾條紋聚集在焦平面上的光電管 P上。 54反射讀數(shù)頭 3 反射讀數(shù)頭 （如圖 54所示 ） 這種讀數(shù)頭用于 25~50線 /mm以下的反射光柵系統(tǒng)。平行光以與光柵法平面成 β入射角照射在光柵 G1反射面上，反射光在 G2上形成莫爾條紋經(jīng) L2聚焦在焦平面的光電管 P上 。 4 等倍透鏡系統(tǒng) （如圖 55所示） 光柵柵距很小，兩光柵間距也很小，如果 不能保證標尺光柵和指示光柵之間的安裝間距 ，就不能得到正確的信號，因此在實際使用中常采用等倍透鏡系統(tǒng)，它是在指示光柵和標尺光柵之間裝上等倍透鏡 L3和 L4，這樣 G1的象以同樣大小投影在 G2上形成莫爾條紋，滿足安裝要求。 圖 55 等倍透鏡系統(tǒng) 光柵使用特點 ● 由于光柵的刻線可以制作十分精確，同時莫爾條紋對刻線局部誤差有均化作用，因此，柵距誤差對測量精度影響較小。 ● 在檢測過程中，標尺光柵與指示光柵不直接接觸，沒有磨損，因而精度可以長期保持。 ● 光線刻線要求很精確，兩光柵之間的間隙及傾斜角都要求保持不變，制造調(diào)試比較困難。光學(xué)系統(tǒng)易受外界的影響產(chǎn)生誤差，同時又有灰塵、油、冷卻液等污物的侵入，易使光學(xué)系統(tǒng)變質(zhì)。 磁尺位置檢測裝置 組成 ： 磁性標尺、磁頭和檢測電路 組成。 原理 ：利用 錄磁原理 將一定周期變化的方波、正弦波或脈沖電信號，用錄磁磁頭記錄在磁性標尺的磁膜上，作為測量的基準。檢測時，用拾磁磁頭將磁性標尺上的磁信號轉(zhuǎn)換成電信號，經(jīng)過檢測電路處理后，用以計量磁頭相對磁尺之間的位移量。 分類 ：直線和圓形磁尺，分別用于 直線 和 角度 位移的測量。 特點 ： 1）制造簡單，安裝調(diào)整方便； 2）對使用環(huán)境的條件要求較低； 3）對周圍磁場的抗干擾能力較強； 4）在油污、粉塵較多的地方使用有好的穩(wěn)定性。 伺服系統(tǒng)數(shù)字顯示尺磁檢測電路磁磁尺位置檢測裝置 磁性標尺 磁性標尺是在
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