【正文】 氣體柜具有自動切換、自動吹洗的功能，能連續(xù)為生產(chǎn)設(shè)備供氣。 四氟化碳 (CF4)傳輸系統(tǒng)。 ⑥ 特種氣體系統(tǒng) 特種氣體供氣系統(tǒng)分類如下： 氨氣 (NH3)傳輸系統(tǒng)。氣體管道經(jīng)管架送到用氣廠房。 系統(tǒng)組成：真空泵、真空緩沖罐、管道及閥門附件等。 ④ 真空系統(tǒng) 為滿足工藝生產(chǎn)過程中硅片傳遞等對真空的需求而設(shè)置。 系統(tǒng)概述：為開式循環(huán)系統(tǒng)，以自來水為補(bǔ)水。 冷凍站系統(tǒng)組成： 離心式冷水機(jī)組、冷凍水 循環(huán) 泵、閉式膨脹罐、加藥裝置、管道及閥門附件、保冷材料等。 廠區(qū)需安裝 阿 49 特拉斯 GA75VSD變頻 螺桿空氣壓縮機(jī)。 空壓站系統(tǒng)組成：空壓機(jī)、 氣水分離器、空氣過濾器、冷干燥凈化裝置及儲氣罐、粗過濾裝置等 。 本項目熱力（冷水和熱水）由長興遠(yuǎn)大能源服務(wù)有限公司所屬的長興遠(yuǎn)大非電區(qū)域空調(diào)能源中心集中 供應(yīng)，項目不再另外配置冷凍機(jī)和熱泵等設(shè)備。含風(fēng)機(jī)段及初效和中效過濾段、混合段，通過風(fēng)道向操作區(qū)送風(fēng)，在風(fēng)道出口處再安裝普通型過濾器。 輔助工程 空氣凈化及調(diào)節(jié) 根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求， 廠房潔凈度：清洗制絨間、擴(kuò)散間 1萬級；其余 10 萬級 ,凈化通道 30 萬級 的潔凈環(huán)境，環(huán)境溫度為 18℃～ 25℃ ，因此需要 采取 空氣凈化和空氣調(diào)節(jié)措施。 (3) 消防 設(shè)計 消防設(shè)備的電源均實現(xiàn)雙回路末端自動切換。生產(chǎn)線接地保護(hù)采用 TNCS 接地系統(tǒng)。在車間重要場所和主要入口設(shè)置事故應(yīng)急照明和疏散誘導(dǎo)燈，照明線與電力支線一樣敷設(shè)。照明標(biāo)準(zhǔn)按國家有關(guān)規(guī)定及工藝要求進(jìn)行設(shè)計。生產(chǎn)車間一般照明采用高壓光效金屬鹵化物燈具，車間局部照明與辦公室照明一般均選用熒光燈。 車間內(nèi)動力配電箱到各用電設(shè)備一般采用 BV500 型銅芯塑料絕緣導(dǎo)線，采用穿管埋地、沿墻、樓板等方式暗敷。供電方式一般采用放射式與樹干式相結(jié)合。 生產(chǎn)配電 本項目車間動力電源均為三相四線制加 PE 線，即 TNS系統(tǒng)。 本項目用電量按年工作日 300 天、三班24 小時運(yùn)轉(zhuǎn)估算，則全年 耗電為 1700179。補(bǔ)償后視在功率為 2545kVA。 供電電源由開 發(fā)區(qū) 220KV 變 電所專線，雙回路電源引入本工程高壓配電所后采用電力電纜埋地引入本工程各車間 10/ 變配電所。 5%，電源頻率為 50177。 供電 供電要求及電源 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，生產(chǎn)用電設(shè) 備、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、消防水泵為二級負(fù)荷，其余為三級負(fù)荷。生產(chǎn)污水和地面沖洗水經(jīng)收集后，通過廠區(qū)污水管網(wǎng)，排入廠區(qū)的污水處理站，處理方法采用三級沉淀、加藥凝聚、末端過濾的方法處理。 (2) 清下水管系統(tǒng) 生產(chǎn)工藝過程中產(chǎn)生的設(shè)備冷卻水和廠區(qū)雨水均通過排水暗渠匯集后直接排入廠區(qū)及市政雨水管網(wǎng)。 根據(jù)清污分流的原則，工廠排水系統(tǒng)劃分為生產(chǎn)廢水、生活污水 、雨水及清下水的清污分流排水制。 排水工程 根據(jù)工藝方案，本項目投產(chǎn)后產(chǎn)生的廢水主要為職工生活污水、硅片清洗廢水和地面沖洗水等。具體用水量詳見表 52。 項目生產(chǎn)用水主要是硅片清洗制絨、去磷硅用水，平均小時用水量 24 噸，其余為循環(huán)冷卻水補(bǔ)充水 48 噸 /天，其他（綠化、道路清洗）用水約 15噸 /天，生活用水暫按 50升 /人178。由市政供水干管接入廠區(qū)，供水管徑為 DN200，壓力不小于 。 廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)建筑設(shè)計在充分滿足使用功能前提下，建筑選型力求簡潔、大方、新穎、富有現(xiàn)代化建筑風(fēng)格。寬 72 米（軸線尺寸，下同）， 1棟共計建筑面積 ； 組件廠房：單層，長 120179。 生產(chǎn)區(qū)內(nèi)運(yùn)輸，由于生產(chǎn)車間相對獨(dú)立，采用電瓶車、鏟車等為主，區(qū)內(nèi)小型運(yùn)輸工具根據(jù)實際需要逐步添置，本項目暫不考慮配置 44 生產(chǎn)運(yùn)輸車輛。 廠內(nèi)外運(yùn)輸 廠區(qū)外運(yùn)輸主要以汽車為主。 建設(shè)條件 （ 1）氣候 （ 2） 地形、地貌及地質(zhì)條件 （ 3） 環(huán)境條件 （ 4） 社會環(huán)境 平面布置及運(yùn)輸 平面布置 廠區(qū)道路適合大型運(yùn)輸車輛進(jìn)出。以滿足項目生產(chǎn)的需要。 42 車間根據(jù)潔凈及環(huán)保要求，為保證產(chǎn)品質(zhì)量、改善工人勞動環(huán)境，降溫加濕。 表 41 電池片生產(chǎn)主要新增設(shè)備清單 序號 設(shè)備名稱 型號規(guī)格 單位 數(shù)量 制造廠 一 進(jìn)口設(shè)備 1 濕法刻蝕機(jī) 套 1 2 自動單多晶制絨設(shè)備 套 1 3 管式高溫擴(kuò)散爐 臺 2 4 燒結(jié)爐 CDF7210 臺 2 5 全自動太陽能電池片印刷及測試分選設(shè)備 Baccini 套 2 6 全自動硅片檢測及分選系統(tǒng) WIS4000SSSHR 臺 2 7 PECVD 設(shè)備 臺 2 8 特氣設(shè)備 SGM400 套 2 二 國產(chǎn)設(shè)備 1 廢氣處理設(shè)備 套 1 2 純水處理系統(tǒng) 套 1 3 石英管清洗機(jī) SCSY0201H 臺 2 4 石墨舟清洗機(jī) SCSM0202A 臺 2 41 表 42 組件生產(chǎn)主要新增設(shè)備清單 序號 設(shè)備名稱 型號規(guī)格 單位 數(shù)量 制造廠 1 玻璃清洗機(jī) / 臺 3 2 EVA 裁切機(jī) TPT/EVA 臺 6 3 自動焊接機(jī) / 臺 9 4 自動排板機(jī) / 臺 3 5 背板裁切機(jī) / 臺 3 6 自 動頂升設(shè)備 / 臺 3 7 EL 測試儀 臺 5 8 匯流條裁切機(jī) / 臺 2 9 層壓機(jī) / 臺 6 10 裝框機(jī) GMSF20xx 臺 3 11 耐壓測試儀 / 臺 3 12 除濕機(jī) / 臺 3 13 組件測試儀 / 臺 2 14 打包機(jī) / 臺 6 15 打膠機(jī) / 臺 3 16 流水線 / 條 3 17 空壓機(jī) GA75VSD 臺 4 設(shè)備的最終定型 設(shè)備的最終定型，還需與設(shè)備制造商進(jìn)行廣泛的技術(shù)交流和商務(wù)談判，在技術(shù)性能優(yōu)越，滿足產(chǎn) 品質(zhì)量前提下，兼顧良好的售后服務(wù)，做到“貨比三家”招標(biāo)確定，以最小的投資，取得最大的效益。 9％ 目標(biāo)厚度： 80 nm （ 7） 特氣設(shè)備 特氣設(shè)備（型號 SGM400），主要用于控制高純特殊氣體，被廣泛應(yīng)用到太陽能電池生產(chǎn)線及微電子領(lǐng)域。 硅片加熱： L/C， H/C， P/C1， P/C2 真空狀態(tài)下加熱 : a)L/C(燈管加熱器 ) 約 450 度 b)H/C(燈管加熱器 ) 約 550 度 c)P/C1， P/C2(護(hù)套加熱器 ) 約 550 度 硅片溫度均勻性： P/C1， P/C2 在 450 度時， 177。 48 片 /框 (成膜面積：最大 970179。 125177。 125177。 179。冷卻區(qū)域安排在敷層區(qū)域之后，主要負(fù)責(zé)為載板及被敷層和已進(jìn)行過鈍化處理后的硅片在離開系統(tǒng)前進(jìn)行冷卻。這個敷層區(qū)是由幾排相同的線性等離子體源組成，其微波頻率為 ，所使用的工藝氣體為硅烷（ SiH4）和氨氣（ NH3）。接下來是覆層區(qū)域和最后的冷卻區(qū)域。 該設(shè)備的工藝腔在功能上被分為三大區(qū)域。相關(guān)檢測模組的檢測參數(shù)如下： 電阻率 : 測試技術(shù) : 渦流場法 測試范圍 : ohmcm 精度 : 5% 重復(fù)性 : 2% 厚 度 : 測試技術(shù) : 電容法 測試范圍 : 100μm 精度 : 1% 重復(fù)性 : % （ 6） 太陽能減反射膜制造設(shè)備 (PECVD) 該設(shè)備適合所有常用形狀及尺寸的硅片并可以同時裝載多個硅片進(jìn)行 PECVD氮化硅敷層及鈍化處理。上料使用兩個交替的 Stack。整個機(jī)臺采用模組化設(shè)計，可以根據(jù)客戶的需要增加新的檢測模組，操作維護(hù)方便。 ① 全自動太陽能電池片印 刷 設(shè)備 技術(shù)指標(biāo) 電池尺寸： 125mm125mm、 156mm156mm、 210mm210mm 電池厚度： 每小時電池產(chǎn)量： 12501440片（生產(chǎn)線產(chǎn)能 95%） 最大電池破片率： % 絲網(wǎng)印刷居中誤差： 177。該生產(chǎn)線仍處于領(lǐng)先地位并已發(fā)展到由配置有集成直線電機(jī)的計算機(jī)來控制。油墨在移動中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。 H1680(毫米 ) （ 4） 全自動太陽能電池片印 刷 設(shè)備 及 測試分選設(shè)備 絲網(wǎng)印刷設(shè)備由電池背面銀鋁漿印刷、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。 主要技術(shù)指標(biāo)： 最高溫度 :1050℃ 工作溫度范圍： 干燥 區(qū) ： 100400℃；燒結(jié)區(qū)： 2001000℃ 可控加熱溫區(qū)： 干燥區(qū)： 3 ； 燒結(jié)區(qū)： 6 加熱區(qū)長度： 干燥區(qū)： 90 英寸（ ） 燒結(jié)區(qū)： 60 英寸 (152厘米 ) 工作空間尺寸： PVD614 網(wǎng)帶寬 14 英寸（ ） 網(wǎng)帶上方高度： （ 19 厘米） 36 網(wǎng)帶離地高度： 36英寸（ 914厘米） 最大負(fù)荷： 148千瓦 外形尺寸： L9320179。 快速降溫：由安裝在網(wǎng)帶上下的冷水壁來實現(xiàn)在 875℃和 400℃之間的降溫速度可達(dá) 65℃ /秒以上。由快速熱處理太陽能電池金屬化爐和紅外烘干爐組成。 ① 特征及優(yōu)勢： 多達(dá) 5 個并列石英或 SiC 管反應(yīng)腔體 （ 最多可達(dá)到 300mm）； 有可自由選擇工藝的腔體 ； 全自動 cassettetocassette傳片， wafer 直徑最大可達(dá) 200mm； 先進(jìn)的晶圓冷卻系統(tǒng)：不同管道間 35 沒有熱干擾，沒有對室內(nèi)潔凈空氣的消耗 ； 自動無沾污晶舟傳片 ； 模塊式部件設(shè)計，使設(shè)備在潔凈室環(huán)境下拆與裝更容易 ② 工藝數(shù)據(jù)： 晶圓尺寸： 150mm（ ma.200 wafers）， 200mm（ ma.150 wafers） 加熱系統(tǒng)： 3或 5 個加熱區(qū)， 900mm至 1000mm 的 177。標(biāo)準(zhǔn)的刻蝕工藝（使用 HF/HNO3, KOH, NaOH, H3PO4, BOE, DHF, SPM, SOM 等） ；快速精確的傳輸，傳輸時間 1 秒 ；可用于 300mm硅片的刻蝕 ；全自動化工藝控制。 絨面均勻 性良好，較小的占地面積，可調(diào)整絨面，最優(yōu)化反射和缺陷刻蝕以達(dá)到整條工藝鏈的最優(yōu)集成。 選用的國外先進(jìn)設(shè)備在性能方面主要有以下特點： （ 1）制絨機(jī)和刻蝕機(jī) 34 ① 制絨機(jī)，針對多晶硅片， 祛除硅片表面在切割過程中的損傷層，改善絨面質(zhì)地，增強(qiáng)表面吸光性。因此本項目電池片生產(chǎn)幾個關(guān)鍵設(shè)備及檢測設(shè)備需引進(jìn)。一段時間后，上腔室開始充氣，通過上腔室的橡膠板壓住組件，達(dá)到給組件加壓的目的，經(jīng)過保溫保壓階段后，光伏組件即可成型取出。工作時，通過油加熱機(jī)和熱油泵的循環(huán)，使下腔室的加熱板溫度升到設(shè)定的溫度。層壓機(jī)是電池板封裝廣泛使用的主體設(shè)備。 生產(chǎn)晶體硅太陽能電池片，主要有硅片檢測、表面制絨、擴(kuò)散制結(jié)、去磷硅玻璃、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、快速燒結(jié)和檢測分裝等生產(chǎn)和檢測設(shè)備 生產(chǎn)太陽能光伏電池組件，需要玻璃上料機(jī)、玻璃清洗機(jī)、串焊機(jī)、 EVA 和 TPT 薄膜自動裁切機(jī)、全自動或半自動層壓機(jī)、太陽能組件鋪設(shè)臺、自動裝框機(jī)等主要設(shè)備。 工藝設(shè)備 主要設(shè)備選型原則和理由 本項目在設(shè)備選用上，是為了提高電池的最終產(chǎn)品質(zhì)量、光電轉(zhuǎn)換效率及整線生產(chǎn)效率，同時降低生產(chǎn)成本出發(fā)，根據(jù)產(chǎn)品定位，選用適用的國內(nèi)外先進(jìn)設(shè)備。 生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合國家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢測，國際客戶有要 求的應(yīng)按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求控制，要求成品出廠合格率達(dá) 99%以上。 （ 10）組件測試：測試的目的是對電池的輸出功率進(jìn)行標(biāo)定，測試其輸出特性，確定組件的質(zhì)量等級。 （ 8）焊接接線盒：在組件背面引線處焊接一個盒子，以利于電池與其他設(shè)備或電池間的連接。 （ 7）裝框：給太陽能電池組件裝鋁框，增加組件的強(qiáng)度，進(jìn)一步的密封電池組件，延長電池的使用壽命。固化溫度為 150℃。層壓工藝是組件生產(chǎn)的關(guān)鍵一步，層壓溫度層壓時間根據(jù) EVA 的性質(zhì)決定。（敷設(shè)層次：由下向上：玻璃、 EVA、電池、 EVA、玻璃纖維、背板） 。玻璃事先涂一層試劑（ primer）以增加玻璃和 EVA 的粘接強(qiáng)度。 （ 3）背面串接：背面焊接是將 36片或 72片電池串接在一起形成一個組件串，目前采用的工藝是手動的，電池的定位主要靠一個膜具板，上面有 36 或 72 個放置電池片的凹槽，槽的大小和電池的大小相對應(yīng)，槽的位置已經(jīng)設(shè)計好，不同規(guī)格 的組件使用不同的模板，操作者使用電烙鐵和焊錫絲將“前面電池”的正面電極（負(fù)極）焊接到“后面電池”的背面電極（正極）上，這樣依次將 36 片或 72 片串接在一起并在組件串的正負(fù)極焊接出引線。焊帶 31 的長度約為電池邊長的 2 倍。 （ 2）正面焊接：是將匯流帶焊接到電池正面（負(fù)極）的主柵線上，匯流帶為鍍錫的銅帶，使用的焊接機(jī)可以將焊帶以多點的形式點焊在主柵線上。 ※主要工藝流程說明： （ 1）電