【正文】 Prochina Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 完 。 Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 生產(chǎn)過程的異常處理 ? 我們的設(shè)備會自動檢測設(shè)備的運轉(zhuǎn)情況，一旦有異常發(fā)生， PC會發(fā)出警報，設(shè)備的操作人員根據(jù)報警的具體信息接觸故障，對于不能處理的問題，應(yīng)及時的報告給更高層的維護人員，對于不能處理的問題可致電丹普公司的售后服務(wù)部門，會給您恰當(dāng)?shù)慕鉀Q方案。 Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（一） ? 準(zhǔn)備工作 ? 打開配電箱總空開以及各電源空開，檢查配電系統(tǒng)是否正常； ? 打開空氣壓縮機以及冰水機、水泵； ? 打開工藝氣體氣瓶，檢查配氣盤每路減壓閥壓力是否適當(dāng)； ? 開啟設(shè)備 ? 開啟控制柜內(nèi)的 UPS； ? 順時針旋轉(zhuǎn)鑰匙【 LOCK】解除總電源的鎖定； ? 按下【 SYSTEM ON】按鈕并保持 3秒 ,啟動系統(tǒng)； ? 按下【 MANU】按鈕進入“手動操作”模式； ? 檢查系統(tǒng)是否有報警，如果有，檢查并解除； ? 分子泵和粗抽泵預(yù)起 ? 首先打開分子泵電源的開關(guān)，如果有使用 UPS，最先要打開 UPS電源； ? 按下【 TURBO】按鈕，啟動加速分子泵； ? 按下【 ROUGH】按鈕，啟動粗抽泵； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（二） ? 設(shè)備檢查 ? 檢查磁控靶、陰極電弧靶、柱弧以及離子源的絕緣； ? 檢查所有引弧針安裝牢固； ? 檢查所有靶材的燒蝕情況，厚度等； ? 用吸塵器清潔真空室內(nèi)部； ? 工件的裝載 ? 將未鍍工件裝載到真空室中； ? 工件裝載完以后，不要立即鎖住前門，一定要在鍍膜要求的速度下旋轉(zhuǎn)，觀察是否有工件在離心力的作用下發(fā)生掛碰，或者距離過近，有可能發(fā)生危險的情況； ? 抽低真空 ? 調(diào)整節(jié)流閥的電位器到全開位置 （ 200） ； ? 按下【 V1】按鈕，啟動羅茨泵 ； ? 啟動復(fù)合真空計，使用自動模式 ； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（三） ? 抽高真空 Ⅰ ? 當(dāng)真空度達到 6Pa以下 時； ? 抬起【 V1】按鈕 （ V1指示燈滅）； ? 按下【 V2】和【 V3】按鈕（ V2和 V3指示燈亮）； ? 加熱烘烤 ? 如果需要，先啟動工件轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動，在溫度控制面板上設(shè)置溫度，再按下【 HEATING】 按鈕，對真空室內(nèi)工件加熱 ； ? 氬離子轟擊清洗 ? 當(dāng)分子泵系統(tǒng)抽真空至 1x102 Pa時 ； ? 調(diào)整節(jié)流閥 “ THROTTLE” 電位器至 25左右 ； ? 調(diào)整 Ar的氣體進氣量和節(jié)流閥，使真空度達到大約 2 Pa； ? 按下轉(zhuǎn)架【 TURN】按鈕（轉(zhuǎn)架指示燈亮）； ? 按下偏壓 【 BIAS】 按鈕，啟動 BIAS電源，增加負偏壓到 400，直到 800v,此時，真空室內(nèi)會有輝光放電現(xiàn)象，維持放電 510分鐘； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（四） ? 抽高真空 Ⅱ ? 氬離子轟擊結(jié)束，停止進氣、關(guān)閉偏壓；； ? 再次調(diào)整節(jié)流閥的【 THROTTLE】電位器到全開 （ 200） ； ? 分子泵系統(tǒng)抽真空至 Pa； ? 打開所有的 GMF，預(yù)熱一分鐘； ? 測漏率 ? 關(guān)閉 V3閥，通過真空計觀察真空度變化 ； ? 主弧轟擊 ? 調(diào)整節(jié)流閥的【 THROTTLE】電位器到鍍膜位置； ? 調(diào)整 N2 和 Ar的氣體質(zhì)量流量速率，并達到要求的真空度； ? 調(diào)整偏壓電源到要求的電壓； ? 逐一開啟所要用的 CAES； ； ? 保持主弧偏壓一段時間； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（五） ? 鍍膜 ? 調(diào)節(jié)節(jié)流閥的【 THROTTLE】電位器到適當(dāng)位置； ? 按照工藝要求調(diào)節(jié)進氣量、偏壓設(shè)定； ? 開啟陰極電弧源、磁控靶、柱弧、離子源等開始鍍膜； ? 工件卸載 ? 當(dāng)鍍膜結(jié)束，關(guān)閉偏壓電源、關(guān)閉供氣系統(tǒng) ； ? 抬起【 V3】、【 V2】按鈕（ V V ROOTS指示燈滅），關(guān)閉復(fù)合真空計； ? 大約 5分鐘后，溫度已降到開爐所需溫度時，按下【 VENT】按鈕，真空室放氣，取出所有的已鍍工件； ? 關(guān)機（下電） ? 如果所用的工作都結(jié)束了，關(guān)上真空室前門，對真空室抽真空，讓真空室保持在真空狀態(tài)下； ? 然后抬起 【 V3】【 V2】【 TURBO】按鈕，渦輪分子泵開始減速。 Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 壓縮空氣系統(tǒng) ? 用戶應(yīng)該準(zhǔn)備一個空氣壓縮機，相關(guān)要求如下： ? 最大壓強應(yīng)為 1 Mpa； ? 壓縮空氣應(yīng)進行除油除塵處理，確保壓縮氣中無水無塵； ? 設(shè)備入口處最終壓強應(yīng)在 247。水流量能滿足設(shè)備要求即可，沒有必要完全打開進水球閥，但是要求回水球閥要完全打開。 ? 如果外部環(huán)境潮濕，打開爐門的時間如果過長，會在真空室內(nèi)壁上有水氣凝結(jié)，會給下一爐的抽真空時間帶來很大影響，所以要盡量避免長時間的打開爐門，或者適當(dāng)?shù)恼{(diào)高冷卻水的水溫。 ? 分立服務(wù)（水）柜配有兩套冷卻水，一套為高溫水，水溫在 2025176。 Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 冷卻水系統(tǒng) ? 要求用戶自己準(zhǔn)備冰水機系統(tǒng)，冷卻水壓強的正常范圍在 － ，水的壓強過高會損壞真空室水套，建議用戶在入水口處安裝水壓表來監(jiān)控水壓變化或者使用帶有變頻功能的水泵。 檢查步驟如下： ? 關(guān)閉氣體