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單晶生長(zhǎng)操作規(guī)程講解(參考版)

2025-01-13 12:20本頁(yè)面
  

【正文】 。 D 石墨坩堝裂開。 ⑩停爐,冷卻后拆爐。 單晶生長(zhǎng)操作規(guī)程講解 B 停電 a 若爐子工作時(shí),加熱部分停電: ①把復(fù)位控制柜面板上的單晶生長(zhǎng)控制器調(diào)到手動(dòng), ②降低堝位到熔料堝位, ③關(guān)閉堝轉(zhuǎn), ④加熱部分恢復(fù)且時(shí)間較短(如停水)則升功率熔料, ⑤啟動(dòng)堝轉(zhuǎn)為 2轉(zhuǎn) /分并確保電位器處于零位, ⑥熔化結(jié)晶面時(shí)應(yīng)密切注意液面情況,有問題及時(shí)上報(bào) ⑦晶體處理同晶變單晶一樣,全熔后降溫引晶, 單晶生長(zhǎng)操作規(guī)程講解 ⑧加熱部分恢復(fù)時(shí),停電時(shí)間較長(zhǎng)且結(jié)晶大于 10分鐘 或坩堝破裂,就快速提升晶體或籽晶距液面 150mm。 ②待熔體結(jié)晶 15分鐘時(shí),快速提升坩堝并頂起導(dǎo)流筒 100mm。 ⑤晶體處理同晶變單晶一致,待結(jié)晶全熔后,手動(dòng)調(diào)節(jié)功率為引晶功率,溫度穩(wěn)定后開始引晶。 ③啟動(dòng)堝轉(zhuǎn),設(shè)定為 2轉(zhuǎn) /分,打開堝轉(zhuǎn)前,確保堝轉(zhuǎn)電位器處于零位。 單晶生長(zhǎng)操作規(guī)程講解 b 停水后水壓恢復(fù)
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