答案精密加工課后習題(參考版)
2025-01-09 20:09本頁面
【正文】 818 試述光刻加工的過程 819 試述沉積和刻蝕多層工藝是如何得到立體結(jié)構(gòu)的?，F(xiàn)在，激光表面改性方法有激光固態(tài)相變硬化、合金化、涂敷、熔凝等。 激光微調(diào) ：主要用于調(diào)整電路中某些元件的參數(shù)，以保證電路的技術(shù)指標。 特點：加工精度高 加工材料范圍廣 加工性能好 加工速度、效率高 價格昂貴 應(yīng)用范圍很廣，是一種非常有前途的精密加工和微細加工方法。 814 為什么說離子束加工是 最有前途的精密和超精密加工方法？ 815 試述激光束加工的原理、加工設(shè)備、特點及其應(yīng)用 原理：激光是一種光，它是通過原子受激輻射發(fā)光和共振放大而形成的。同時由于離子直徑、質(zhì)量比電子大，射入抗蝕劑后受到的阻力也大，離子在抗蝕劑層內(nèi)的射程也短，離子能量能被抗蝕劑充分吸收，中就提高了抗蝕劑的靈敏度。 離子束曝光 ：優(yōu)點是有高靈敏度和分辨力。如何控制離子束去除加工、鍍膜加工和注 入加工的加工機理轉(zhuǎn)變 離子束濺射去除加工：離子束濺射去除加工簡稱為離子束去除加工 其加工原理：是利用離子濺射，主要是一次濺射和二次濺射，它是一種最典型的原子、分子加工單位的微細加工方法 離子束濺射鍍膜加工：離子束濺射鍍膜加工時一種原子、分子級的附著加工，所以有時又稱之為離子束濺射附著加工，用被加速的例子從靶材上打出原子和分子，并將它們附著到工件表面上形成鍍膜，鍍膜材料裝置于靶位上，靶面與離子束的方向成一定角度，工件被鍍表面與濺射原子、分子方向垂直。 裝置：由離子源、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、電源等部分組成 特點：加工精度和表面質(zhì)量高 加工材料廣泛 加工方法豐富多樣 控制性能好，易于實現(xiàn)自動化 應(yīng)用范圍廣之 應(yīng)用：可根據(jù)加工要求選擇離子束的束徑和能量密度，直徑小、能量密度大的離子束用于去除加工；直徑大、能量密度較低時適于鍍膜、刻蝕；直徑大、能量強的離子束適于注入加工。電子束加工就是主要靠電子束的熱效應(yīng)現(xiàn)象 用功率密度相 當?shù)偷碾娮邮丈涓叻肿硬牧蠒r，即使幾乎不會引起材料表面溫度的上升，也會由于入射電子和高分子相碰使其分子鏈切斷或重新聚合，從而使材料的相對分子質(zhì)量和化學性質(zhì)產(chǎn)生變化，這就是電子束的化學效應(yīng)。 特點：束徑小、能量密度高 被加工對象范圍廣 加工速度快、效率高 控制性能好，易于實現(xiàn)自動化 應(yīng)用范圍很廣，可用于打各種孔、切槽、焊接、光刻、表面改性等工件 它既是一種精密加工方法，又是一種重要的微細加工方法。如果這層材料與工件基體材料不發(fā)生物理化學作用，只是覆蓋在上面，就稱之為附著，也可稱之為弱結(jié)合，典型的加工方法是電鍍、蒸鍍等。 86 論述分離、結(jié)合、變 形三大類微細加工方法的含義及其常用加工方法的特點和應(yīng)用范圍 分離加工又稱去除加工，其機理是從工件上去除一塊材料，可以用分解、蒸發(fā)、擴散、切削等手段去分離。今后的發(fā)展是要進行微細度為 1nm以下的豪微米級的超微細加工 84 試分析微細加工中的微切削去除機理 微細切削時，為保證工件尺寸精度要求，最后一次的表面切除層厚度必須小于尺寸精度值。如化學氣相沉積、熱氧化、光刻、離子束濺射、真空蒸鍍以及整體微細加工技術(shù) 整體微細加工技術(shù)是指用各種微細加工方法在集成電路基片上制造出各種微型運動機械，即微型機械和微型機電系統(tǒng) 82 試述微細加工與精密加工的關(guān) 系 精密加工和微細加工時有著密切聯(lián)系的，他們都是現(xiàn)代制造技術(shù)的前沿，微細加工時屬于精密加工范疇內(nèi)的，現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的很快，不僅出現(xiàn)了微細加工技術(shù)，而且出現(xiàn)了超微細加工技術(shù)。請參考圖 625布局自行設(shè)計。 38試從系統(tǒng)工程的角度分析精密磨削的技術(shù)關(guān)鍵 39 試分析砂輪修整對精密磨削質(zhì)量的影響 310 精密磨削能獲得高精度和小表面粗糙度表面的主要原因何在？ 311 試分析超硬磨料砂輪的各種修整方法的機理、特點和應(yīng)用范圍 312 試分析普通磨料砂輪和超硬磨料砂輪在修整機理上的不同 313 在超硬磨料砂輪磨削時如何選用磨削 液 314 超精密磨削的含義是什么？鏡面磨削的含義是什么？ 315 試從系統(tǒng)工程的角度來分析超精密磨削能達到高質(zhì)量的原因。 33 在表示普通磨料磨具和超硬磨料磨具的技術(shù)性能時，有哪些技術(shù)性能的表示方法相同？在哪些技術(shù)性能的表示方法不同？為什么？ 34 為什么在超硬磨料磨具的結(jié)構(gòu)中一般由磨料層、過渡層和基體三個部分組成？過渡層 起什么作用？普通磨料磨具的結(jié)構(gòu)為什么與超硬磨 料磨具的結(jié)構(gòu)不同？ 35 涂覆磨具在制造技術(shù)上的質(zhì)量關(guān)鍵是哪些？ 36 試述近年來涂覆磨具在精密和超精密加工中所占的地位。立方氮化硼的硬度略低于金剛石，但內(nèi)熱性比金剛石高，有良好的化學穩(wěn)定性，于碳在 2022 攝氏度時才起反應(yīng)，故適于磨削鋼鐵材料。 特點：兩種材料均屬于立方晶系、
公司管理相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1