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xps原理及使用分析(參考版)

2025-05-14 16:44本頁面
  

【正文】 不同實驗室測量的結(jié)合能值可能相差達 1 eV。 能量定標 ( 1)利用已知特征譜: C eV ( 2)利用兩條譜線,如: Cu 2p3/ eV, Cu eV Au 4f7/ eV, Cu 2p3/ eV ( 3)已知能量的兩種光子激發(fā)同一樣品的某一能級,則兩次測量的能量差即為光子能量差。 四、譜圖分析 ? 定性分析 ? 定量分析 ? 深度分析 ? 化學狀態(tài)分析 60 0 50 0 40 0 30 0 20 0 10 0 0B i n di ng E nerg y [e V ]Counts [a.u.]Al 2pAl 2sC 1sN 1sTi 2pO 1s T i (C N )x/ A l f i l m是高純 Al基片上沉積的 Ti(CN)x薄膜的 XPS譜圖,激發(fā)源為 Mg K? 譜圖解析 標志介紹 元素鑒別 消除電荷效應 ? 光電子被激發(fā)出以后,非導電樣品上會逐漸積累正電荷,導致測量的光電子動能減小,表觀結(jié)合能正移,從而影響分析結(jié)果。 ( 2)等離子激發(fā) ( 3)各種單、雙
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