【正文】 濕法生產(chǎn)的磷酸很難通過(guò)濃縮凈化達(dá)到電子水平要求，熱法磷酸又很難控41 / 41制到成本最低，特別是黃磷凈化中的磷損失，造成成本居高不下，利用濕法磷酸結(jié)晶法生產(chǎn)，就可以綜合回收利用余酸，提高產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)綜合成本。市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，電子級(jí)磷酸是利好項(xiàng)目，已經(jīng)進(jìn)入或正在進(jìn)入或準(zhǔn)備進(jìn)入的廠家不在少數(shù)，IC 行業(yè)成洪磷已經(jīng)進(jìn)入，TFT 行業(yè)澄星已經(jīng)進(jìn)入，湖北新發(fā)得到政府大力支持正在進(jìn)入，還有其它企業(yè)也在想著進(jìn)入這個(gè)行業(yè)，所以要在 TFT和 IC 中站住腳，與他們的競(jìng)爭(zhēng)是不可回避的。40 / 4111．風(fēng)險(xiǎn)分析 市場(chǎng)風(fēng)險(xiǎn)電子級(jí)磷酸市場(chǎng)就大陸而言，容量有限，市場(chǎng)風(fēng)險(xiǎn)在于市場(chǎng)的準(zhǔn)入和市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)。另一方面，依靠“省磷化工工程中心”和 “省博士后興發(fā)集團(tuán)產(chǎn)業(yè)基地”兩個(gè)技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)，向下游開(kāi)發(fā)系列新產(chǎn)品。電子級(jí)磷酸應(yīng)用于發(fā)展前途廣闊的 IT 產(chǎn)業(yè)，被稱為“磷酸行業(yè)皇冠上的明珠” ，其關(guān)鍵技術(shù)長(zhǎng)時(shí)間壟斷在美國(guó)、德國(guó)、日本等發(fā)達(dá)國(guó)家的跨國(guó)企業(yè)集團(tuán)手中。4．澄星集團(tuán)出口的食品酸和工業(yè)酸在價(jià)格上相關(guān)不大，也就是說(shuō)他們出口的“準(zhǔn)電子級(jí) ”磷酸和食品磷酸在質(zhì)量上差別不是很大。澄星集團(tuán)采用食品磷酸凈化的方法生產(chǎn)“準(zhǔn)電子級(jí)磷酸” ，由于 TFT 用磷酸和 IC 用磷酸在質(zhì)量要求上有很大的差別，所以我們可以稱澄星的磷酸叫“TFT酸） 。其”準(zhǔn)電子級(jí)” 磷酸的產(chǎn)量號(hào)稱達(dá)到5 萬(wàn)噸。其中牙膏級(jí)產(chǎn)品通過(guò)世界知名牙膏廠商的供應(yīng)商認(rèn)38 / 41證。澄星集團(tuán)的核心企業(yè)－江蘇澄星磷化工股份有限公司在上海證券交易所掛牌上市（簡(jiǎn)稱“ 澄星股份”，股票代碼 600078） 。 江陰澄星磷化工（集團(tuán)）股份有限公司集團(tuán)有限公司是生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)磷化工系列產(chǎn)品起家的企業(yè)集團(tuán)，中國(guó) 500 強(qiáng)企業(yè)第 310 名。但從出口數(shù)據(jù)看，企業(yè)的增長(zhǎng)速度還沒(méi)有對(duì)外宣傳的那樣好，可能在技術(shù)上還37 / 41有一些難關(guān)需要克服。四川成洪磷是目前國(guó)內(nèi)對(duì)外公布有電子級(jí)磷酸的生產(chǎn)企業(yè)，和江陰澄星的準(zhǔn)電子級(jí)磷酸有所不同，他們對(duì)外宣稱已經(jīng)有質(zhì)量相當(dāng)于 SEMI2 級(jí)的電子級(jí)磷酸。從轉(zhuǎn)制到 2022 年，公司共完成銷售收入1．6 億元，實(shí)現(xiàn)稅利 1600 多萬(wàn)元，是轉(zhuǎn)制前十幾年的總和。36 / 4110．國(guó)內(nèi)電子級(jí)磷酸生產(chǎn)廠家 四川成洪磷公司四川成洪磷化工廠是 1988 年由成都化工研究設(shè)計(jì)院和洪雅縣電力公司合資興辦的，產(chǎn)品以黃磷為主。雖然經(jīng)過(guò)多方查找，亞洲以外的磷酸供應(yīng)廠商的產(chǎn)能還是未能了解到。 韓國(guó)東友東友是日本住友在韓國(guó)建立的三個(gè)子公司之一，主要生產(chǎn)電子級(jí)磷酸。 德國(guó)的 Basf 與 Merck2022 年第二季度，德國(guó)的 Basf 完成對(duì) Merck KGaA 電子化學(xué)品的收購(gòu)，35 / 41BASF 增加了電子級(jí)磷酸產(chǎn)品。Astaris 是北美的 FMC Corporation 與 Solutia Inc 合資組建的北美公司，主要經(jīng)營(yíng)專用和食品級(jí)磷酸和磷酸鹽。Honeywell 在中國(guó)的發(fā)展戰(zhàn)略是發(fā)展電子材料產(chǎn)業(yè)，并在中國(guó)尋求與電子材料供應(yīng)企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)的合作。n， Fluka and Supelco 等,是一家一流的生命科學(xué)與高科技公司。RASA 的電子材料測(cè)試用集成電路芯片再利用被大多數(shù)的臺(tái)灣半導(dǎo)體裝置制造廠商所采用；因此，RASA 工業(yè)株式會(huì)社和臺(tái)灣的產(chǎn)業(yè)發(fā)展有著堅(jiān)實(shí)的密切合作關(guān)系。伴隨 LCD 需求的擴(kuò)大，電子級(jí)磷酸產(chǎn)品期望成為該公司無(wú)機(jī)化學(xué)品中增長(zhǎng)率最高的產(chǎn)品。該公司在日本愛(ài)知縣的電子級(jí)磷酸生產(chǎn)基地?cái)U(kuò)建工程已經(jīng)完工，生產(chǎn)能力提高 50%，達(dá)到 60000t/a。公司 1990 年加入東曹集團(tuán)（Tosoh 33 / 41Corporation） 。2022 年 2 月、3 月大陸從日本進(jìn)口的磷酸價(jià)格分別是 和 美元/kg。 大陸貿(mào)易價(jià)格時(shí)間 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 平均＄/kg2022 333 2022 68 96 以上是 年大陸磷酸進(jìn)口平均價(jià)格,在數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)中我們已經(jīng)將個(gè)別特別高的數(shù)據(jù)剔除了,所以 2022 年平均進(jìn)口價(jià)格是 美元/公斤,2022 年是 美元/ 公斤是實(shí)際結(jié)果。 美國(guó)貿(mào)易價(jià)格2022 年美國(guó)進(jìn)口磷酸 41995 噸，其中電子級(jí)磷酸 3777 噸。2022 年韓國(guó)磷酸出口只有 902 噸，主要出口到中國(guó)、新加坡和日本。 韓國(guó)貿(mào)易價(jià)格韓國(guó) 2022 年進(jìn)口磷酸 16160 噸，其中從日本和中國(guó)就進(jìn)口了 16146 噸。08 年 3 月臺(tái)灣從大陸進(jìn)口的磷酸價(jià)格上升到了 美元/kg。代線用磷酸量推算表代線 第 1 代 第 2 代 第 3 代 第 4 代 第 5代 第 6 代 第 7 代磷酸用量比例 1 年消耗磷酸量 72 111 200 334 800 1552 2454臺(tái)韓日各自擁有的代線生產(chǎn)線（2022）28 / 41代線 1 2 3 4 5 6 7臺(tái)灣 2 1 10 4 8 5 2韓國(guó) 1 2 3 2 5 1 2日本 6 13 10 5 0 2 1648 1776 4600 3674 10400 12416 12270磷酸用量（噸/年）合計(jì) 45784 噸/ 年全球 TFTLCD 企業(yè)集中在上述三個(gè)國(guó)家（地區(qū)），總體來(lái)說(shuō) TFTLCD 生產(chǎn)線 2022 年使用電子級(jí)磷酸至少是 萬(wàn)噸。7．電子級(jí)磷酸市場(chǎng)容量評(píng)估 國(guó)內(nèi)市場(chǎng)目前國(guó)內(nèi) IC 和 TFTLCD 用磷酸基本上都是進(jìn)口磷酸，其用量為 3500 噸左右，IC 和 TFT 企業(yè)直接購(gòu)進(jìn)或者進(jìn)口的蝕刻液中所含的電子級(jí)磷酸如前所述一般為直接進(jìn)口磷酸量的 倍，這部分電子級(jí)磷酸約為 5250 噸。 美國(guó) 2022 年度磷酸進(jìn)出口數(shù)據(jù) 進(jìn)口美國(guó) 2022 年磷酸進(jìn)口貿(mào)易 單位：噸國(guó)別 進(jìn)口數(shù)量韓國(guó) 18495以色列 13257中國(guó) 4932日本 3560加拿大 1409德國(guó) 172比利時(shí) 63瑞士 41其它 37印度 25荷蘭 4合計(jì) 41995韓 國(guó) 2022年 磷 酸 出 口 圖馬 來(lái) 西 亞6%中 國(guó)47%日 本16%香 港0%新 加 坡31%馬 來(lái) 西 亞中 國(guó)日 本香 港新 加 坡26 / 412022 年美國(guó)進(jìn)口磷酸 41995 噸，其中電子級(jí)磷酸 3777 噸。2022 年韓國(guó)進(jìn)口磷酸表 單位：噸進(jìn)口國(guó) 進(jìn)口量日本 11969中國(guó) 4177美國(guó) 馬來(lái)西亞 臺(tái)灣 合計(jì) 16160日 本 05~07年 主 要 出 口 國(guó) 增 長(zhǎng) 情 況020224000600080001000012022140002022 2022 2022單位：噸美 國(guó)中 國(guó)韓 國(guó)臺(tái) 灣韓 國(guó) 進(jìn) 口 磷 酸 圖中 國(guó)26%美 國(guó)0%日 本74%臺(tái) 灣0%馬 來(lái) 西 亞中 國(guó)美 國(guó)日 本臺(tái) 灣馬 來(lái) 西 亞24 / 41韓國(guó) 2022 年進(jìn)口磷酸 16160 噸，其中從日本和中國(guó)就進(jìn)口了 16146 噸。日本是電子級(jí)磷酸生產(chǎn)國(guó)，主要是進(jìn)口普通磷酸,出口電子級(jí)磷酸。電子級(jí)磷酸主要出口到中國(guó)、日本、馬來(lái)西亞等。 其它企業(yè)高純磷酸使用情況2022 年大陸其它 IC 廠家進(jìn)口磷酸表 單位:噸單位 進(jìn)口量上海宏力 上海先進(jìn) 上海華虹 90無(wú)錫華晶 海力士 中芯國(guó)際 臺(tái)積電 和艦科技 首鋼日電 中緯積體 成都成芯 中國(guó)大陸其他使用高純磷酸的廠家，例如京東方、龍騰光電等并沒(méi)有海關(guān)數(shù)據(jù)可以查閱。上廣電 2022 年進(jìn)口磷酸 824 噸，平均每月用量 噸。企業(yè) 磷酸用量上廣電 840 噸/年京東方 720 噸/年吉林彩晶 360 噸/年TFTLCD小計(jì) 1920 噸/年中芯國(guó)際 720 噸/年臺(tái)積電 100 噸/年和艦科技 60 噸/年上海宏力 200 噸/年上海先進(jìn) 60 噸/年上海華虹 60 噸/年IC首鋼日電 60 噸/年17 / 41其他：上海貝嶺、無(wú)錫華潤(rùn)、無(wú)錫 58 所、紹興華越、寧波國(guó)微明華、燕東、福建福順、沈陽(yáng) 47 所、天水天光、西安 771 所、重慶 24 所、杭州士蘭、中緯積體、樂(lè)山菲尼克斯、上海新進(jìn)等20 噸/年/條線，約有 20 條線小計(jì) 1660 噸/年合計(jì) 3580 噸/年6．電子級(jí)磷酸進(jìn)出口分析 大陸進(jìn)出口數(shù)據(jù)分析 2022 年中國(guó)大陸磷酸進(jìn)口統(tǒng)計(jì)2022 年中國(guó)大陸磷酸進(jìn)口統(tǒng)計(jì) 單位：噸進(jìn)口國(guó) 進(jìn)口量日本 臺(tái)灣 韓國(guó) 美國(guó) 其他 合計(jì) 2022 年中國(guó)進(jìn)口磷酸 3239 噸，可以認(rèn)為都是用于液晶顯示器和 IC 行業(yè)或2022年 中 國(guó) 磷 酸 進(jìn) 口 結(jié) 構(gòu) 圖美 國(guó)1% 韓 國(guó)10%日 本61%臺(tái) 灣20%其 他8%美 國(guó)韓 國(guó)日 本臺(tái) 灣其 他18 / 41更高級(jí)別的電子級(jí)磷酸。蝕刻液的進(jìn)口量由于數(shù)據(jù)無(wú)法單獨(dú)提出來(lái)，而無(wú)從知道。5 大陸電子級(jí)磷酸市場(chǎng)綜述目前大陸市場(chǎng)電子級(jí)磷酸的用量大約就在 3500 噸左右。信息顯示，全球電子級(jí)磷酸擴(kuò)產(chǎn)的企業(yè)都在日本。種種信息表明，TFTLCD行業(yè)處于產(chǎn)業(yè)周期的回升階段，該上升趨勢(shì)至少要維持到2022年。TFTLCD 大概在 ；而 IC 在 左右。關(guān)于它們之間的不同的程度我們可以用下列公式計(jì)算得出：Eta Squared= t2 / (t2 +N1)≈(=差異程度較小， .06=差異程度適中，.14=差異程度較大)%說(shuō)明成洪磷的 TFT 和 IC 用磷酸標(biāo)準(zhǔn)本質(zhì)區(qū)別非常大。其實(shí)驗(yàn)結(jié)果如下。而 TFTLCD 用磷酸目前還沒(méi)有具體的使用標(biāo)準(zhǔn)，但是我們知道的是，TFTLCD 所用蝕刻液各項(xiàng)指標(biāo)的不同可以直接導(dǎo)致干濕蝕刻的比重有很大的差別，至于優(yōu)劣與否還需要進(jìn)一步的考察。據(jù)悉，目前還沒(méi)有明確的 TFT 用磷酸標(biāo)準(zhǔn)。那么了解 IC及 TFT 用磷酸的相關(guān)情況就變得至關(guān)重要了。如：食品級(jí)磷酸可廣泛應(yīng)用于可樂(lè)、啤酒、色拉油、糖果和乳制品等食品行業(yè)的酸味劑或添加劑等。 IC 用磷酸與 TFT 用磷酸區(qū)別分析磷酸（H 3PO4）為無(wú)色透明或略帶黃色稠狀液體，屬中性酸，具有吸濕性，易溶于水。這是由于磷酸與鋁生成難溶的磷酸鋁白色沉淀之故，其反應(yīng)式如下：2Al+2H3PO4=2AlPO4+3H2 這些沉淀物會(huì)附著在硅片表面，對(duì)鋁層的腐蝕是不利的，必須定期更換腐蝕液。其中磷酸約占 80%，加入 35%的硝酸（硝酸和鋁生成硝酸鋁，提高腐蝕速率，但不能加得太多，否則會(huì)影響光刻膠抗蝕能力），10%10 / 41的冰醋酸（降低腐蝕液的表面張力，增加硅片表面與腐蝕液的浸潤(rùn)，提高腐蝕的均勻性，起到緩沖作用），水約占 5%。當(dāng)集成電路線寬達(dá)到 微米及以下，全面進(jìn)入納米領(lǐng)域。蝕刻反應(yīng)的進(jìn)行方式則是藉由硝酸與鋁反應(yīng)產(chǎn)生氧化鋁，再由磷酸和水來(lái)9 / 41分解氧化鋁；而醋酸主要是用做緩沖劑（Buffer Agent）來(lái)抑制硝酸的解離。溶液濃度增加可加速蝕刻，雖然濃度越濃，或是溫度越高，薄膜被移除的速率就越快；但是太高的薄膜蝕刻率往往會(huì)造成嚴(yán)重的底切現(xiàn)象，所以這兩項(xiàng)條件必須被適當(dāng)?shù)目刂啤２贿^(guò)，因?yàn)闈裎g刻是利用化學(xué)反應(yīng)來(lái)進(jìn)行薄膜的移除，而化學(xué)反應(yīng)的發(fā)生并無(wú)特定的方向性，故濕蝕刻的另一特點(diǎn)為等向性（Isotropic）的蝕刻。濕蝕刻反應(yīng)過(guò)程大概可分為三個(gè)階段：；；，并隨溶液排出。TFTLCD產(chǎn)業(yè)的成本隨代的變化而有一定差異，以當(dāng)前主流的第五代生產(chǎn)線例，TFTLCD成本中原材料占的比重最高，達(dá)到 62%。行業(yè)內(nèi)目前沒(méi)有對(duì)磷酸的具體的標(biāo)準(zhǔn)。在全球TFTLCD產(chǎn)業(yè)中，以臺(tái)灣的企業(yè)最多，即有所謂的臺(tái)灣“四虎”之稱。而就LCD而言,雖然它發(fā)明于美國(guó)，但其技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展卻在東亞，目前已基本上由日本、韓國(guó)和臺(tái)灣地區(qū)形成三足鼎立的局面。TFTLCD 技術(shù)是微電子與液晶顯示巧妙結(jié)合的一種技術(shù)。 在 TFTLCD 產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用 TFTLCD TFTLCD 是(Thin Film TransistorLiquid Crystal Display) 的縮寫(xiě)，也就是薄膜晶體管液晶顯示器的意思。 為主,根據(jù)國(guó)家“十一五”發(fā)展規(guī)劃 ,預(yù)計(jì)至“ 十一五 ”末,～ 的水平。2．電子級(jí)磷酸技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)電子級(jí)磷酸屬于微電子化學(xué)品,主要用于芯片的清洗和腐蝕,它的清潔度和純度對(duì)IC 產(chǎn)品的成品率、電性能及可靠性等都有著十分重要的影響。而電子級(jí)的三氯氧磷由于三氯氧磷易揮發(fā)，可由精餾工藝制得，如下所示：工業(yè)三氯氧磷——精餾——水解——脫酸——稀釋——水浴加熱——超凈過(guò)濾——超凈分裝——成品包裝 兩種工藝的區(qū)別由于電費(fèi)高漲，熱法磷酸存在著很多缺點(diǎn)如：能耗高、污染大等原因，其生產(chǎn)與發(fā)展在不同程度上受到嚴(yán)重限制，這就大大的促進(jìn)了濕法磷酸的發(fā)展，濕法磷酸對(duì)熱法磷酸的競(jìng)爭(zhēng)力一直呈上升趨勢(shì)，凈化濕法磷酸技術(shù)的開(kāi)發(fā)研究也越來(lái)越受關(guān)注。其中超凈過(guò)濾可能是采用來(lái)做電子級(jí)磷酸凈化的技術(shù)。電子級(jí)磷酸生產(chǎn)的方法主要有濕法和熱法兩種。目前作為 TFTLCD(薄膜液晶顯示器)和 IC(大規(guī)模集成電路)行業(yè)中的蝕刻液，被廣泛應(yīng)用于集成電路