機械設計制造及自動化(機電)專業(yè)畢業(yè)設計(論文-資料下載頁
2025-07-19 20:01本頁面
【導讀】世界，微電子、信息技術的水平己被視為一個國家現(xiàn)代化水平的重要標志。測器和特殊功率器件等的主體功能材料。在目前國內剛開始研發(fā)硅單晶拋光片的。究和探索，以便為將來批量生產提供確實可行的生產依據(jù)。拋光生產中，有蠟拋光生產工藝出現(xiàn)問題。本設計設備所需完成的生產工作，是基于有蠟拋光生產工藝手工操作全過程。本文將簡單介紹硅單晶片有蠟拋光生產工藝流程，著重講解本設備機。本設備在功能設計方向，充分考慮生產需要和人身、產品、設備的安全。光亮鏡面的硅單晶硅片，稱為硅單晶拋光片。硅單晶拋光片有許多定性的參數(shù)。徑比與配用硅片的直徑略大，配合金屬桿用來壓需要固定在陶瓷盤上的硅片。3．拋光機是拋光生產關鍵設備：作用是固定并帶動貼有硅片的陶瓷旋轉，并能進行對陶瓷盤加壓、水、拋光液、拋光時間等一系列控制。潔凈室專用無塵布，貼片中用來便于定位的強光燈。
【正文】 在 5 分鐘內完成。 3. 操作舊設備搬運陶瓷盤動作的按鈕，機械手將陶瓷盤從貼片設備右邊搬運至貼片機托盤位置，貼片機測陶瓷盤位置傳感器測得信號。 浙江廣播電視大學畢業(yè) 設計（ 論文 ） 第 11 頁共 13 頁 4. 啟動貼片機啟動按鈕，不論取片機械手處于什么位置，些都會復位至硅片中心定位裝置上方，機械手的位置被傳感器識別。 5. 操作人員檢查硅片放入硅片中心定位錐形裝置內，錐形裝置底部傳感器測得信號，取片機械手向下取片。 6. 然后機械手通過各部位傳感器完成，吸取硅片向上→保持吸住硅片向左→保持吸住硅片向下→斷開真空閥放下硅片至陶瓷盤→機械手向上→向右到硅片中心定位裝置上方的循環(huán)動作。同時在 取走硅片后，操作人員可以再次放硅片入中心定位裝備，等待下一次的機械手取片動作。 7. 在機械手取片的往復動作的同時，陶瓷盤接收到每放下一片硅片的信號，就旋轉規(guī)定的角度，等待下一次接收硅片的信號。 8. 壓片氣缸接收陶瓷盤旋轉后信號，做出一次向下壓片的動作，移動到氣缸下限位位置傳感器時返回，等待下一次的旋轉結束的信號。 9. 當參與取硅片自動控制的計數(shù)器接收到規(guī)定數(shù)量時，停止機械取片的動作，既使再次放硅片到硅片中心定位裝置內，機械手也不會去取片，等待操作人員先按停止再次按啟動按鈕，設備會再次驅動機械手再次計數(shù)。 10. 當參與壓片氣缸 動作計數(shù)的計數(shù)器達到規(guī)定數(shù)量時，會切斷控制線路的主電源。 11. 此時貼片設備部份操作以完成，按下舊陶瓷盤搬運設備按鈕，將貼好片的陶瓷盤從貼片設備左邊搬離貼片機托盤，同時將在貼片過程中以加熱完成的陶瓷盤從貼片設備右邊搬至托盤。 12. 按下貼片設備停止按鈕，復位。再按啟動按鈕，對陶瓷盤再次進行貼片操作。 貼片設備部份自動運行過程框圖，如圖 51 所示： 浙江廣播電視大學畢業(yè) 設計（ 論文 ） 第 12 頁共 13 頁 機自動 運 行過程框圖 圖 51 接通電源 貼片計數(shù) 器信號 陶瓷盤信號 取片計數(shù) 器信號 啟動 取片氣缸 往右 真空信號 Yes 取片氣缸 往下 取片氣缸 往上 取片氣缸 往左 取片氣缸 往下 電機轉動 1／ 13 圈 貼片氣缸 往下 貼片計數(shù)器 計數(shù) 貼片氣缸 往上 取片計數(shù)器 計數(shù) 真空信號NO 取片氣缸 往上 浙江廣播電視大學畢業(yè) 設計（ 論文 ） 第 13 頁共 13 頁 結論 本設計的自動運行成功，有效的提高了硅單晶拋光片的各項工藝參數(shù)；明顯降低了工人的勞動強度，提高了工作效率；提高局部環(huán)境等級，提高了產品成品率的同時降低后繼工藝的工藝難度；設備穩(wěn)定運 行，消除人為因素干擾，更改生產工藝有了有效的依據(jù)；減少中間環(huán)節(jié)、物資損耗和操作人員，明顯降低了生產成本。 畢業(yè)設計是本科學習階段一次非常難得的理論與實際相結合的機會，通過這次比較完整的 自動機械設備設計 ，我擺脫了單純的理論知識學習狀態(tài)，和實際設計的結合鍛煉了我的綜合運用所學的專業(yè)基礎知識，解決實際工程問題的能力，同時也提高我查閱文獻資料、設計規(guī)范以及電腦制圖等其他專業(yè)能力水平，而且通過對整體的掌控，對局部的取舍，以及對細節(jié)的斟酌處理，都使我的能力得到了鍛煉，經驗得到了豐富，并且意志品質力，抗壓能力及耐力也都得 到了不同程度的提升。 順利如期的完成本次畢業(yè)設計給了我很大的信心，讓我了解專業(yè)知識的同時也對本專業(yè)的發(fā)展前景充滿信心 。 鄧小平 說 ：“ 科學技術是生產力，而且是第一生產力 ”。 機械自動化設備的出現(xiàn)，大大加快了設會經濟前進的步伐，改善了人民的生活水平。 這些正是我們去更好的研究更好的創(chuàng)造的最大動力，只 要是生產生活的需要就因該開動腦筋去解決， 并爭取盡快的掌握這些先進的知識，更好的為祖國的四化服 務。 參考文獻 [1] 張厥宗 . 硅單晶拋光片的加工技術 .[M]北京： 化學工業(yè)出版社 ， 20xx [2] 王以倫 . 液壓氣動技術 .[M]北京：中央廣播電視大學出版社， 20xx [3] 李海副 . 機械制圖 .[M]北京：中國勞動出版社出版， 1992 [4] 趙仁良 . 電力拖動控制線路 . [M] 北京：中國勞動出版社出版， 1998 [5] 李建勇 . 機電控制工程基礎 . [M]北京：中央廣播電視大學出版社， 20xx [6] 傅亞平 . 輕工業(yè)機械設備安裝與修理 . [M] 北京：中國輕工業(yè)出版社，1998 [7] 王棟梁 . 機械基礎 . [M] 北京：中國勞動出版社出版， 1999 [8] 譚定忠 . 傳感器與測量技術 . [M]北京：中央廣播電視大學出版社， 20xx [9] 黃先逵 . 機械制造工藝 . [M]北京 :清華大學出版社， 1989 [10] 高建 . 機械優(yōu)化設計基礎 . [M]北京：科學出版社， 20xx
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