電鍍工藝流程講解1-資料下載頁
2025-03-10 17:58本頁面
【正文】 進員工教育訓練教材 目的： 鍍鎳效果 . 外觀檢驗 作 業(yè) 流 程 作 業(yè) 要求 按照去膠檢驗規(guī)范規(guī)定要求進行檢驗 . Wafer上面不可有明顯的光刻膠殘留 Q Tech 西鈦新進員工教育訓練教材 9. 酸性化學鍍金 目的： 在凸起的線路層的三面均勻的沉積一層化學金鍍層 , 將整個線路進行包覆 ,對線路起到很好的保護作用 .并對后段的 BGA制程提供焊錫載體。 Step1:酸性化學鍍金 Step2:Trap2次清洗 Step3:QDR 清洗 作 業(yè) 流 程 作 業(yè) 要求 溫度： 88177。2℃ 時間： 1020分鐘 要求垂直振動 ,振動過程Wafer不得露出藥液面 ,藥水一直循環(huán)過濾 溫度：室溫 時間： 3分 30秒 沖水過程中要蓋上蓋子 溫度： 70177。2， 50177。2℃ 時間： 5秒鐘 /槽 要求手動上下振動 ,振動過程 Wafer不得露出藥液面 , Q Tech 西鈦新進員工教育訓練教材 10. 表面干燥 目的： 驅除鍍層內，鍍層表面及產(chǎn)品內的水分，使得產(chǎn)品干燥 . Step4:氮氣吹干 作 業(yè) 流 程 作 業(yè) 要求 Step5:烘箱烘干 溫度： 60177。2℃ 時間： 60分鐘 無塵紙； 水珠 Q Tech 西鈦新進員工教育訓練教材 11. 品質檢驗 目的： 檢測鍍層質量是否達到規(guī)格之內 . XRF膜厚測試儀 測試鍍層厚度是否達到規(guī)格要求 . 電性能測試 測試鍍層電路是否導通 .（蝕刻完鋁和鍍完金后均需要測試） 外觀檢驗 檢測鍍層的完整性，外觀均勻性 Q Tech 西鈦新進員工教育訓練教材 常見問題及解決方法 序號 不良現(xiàn)象 不良原因 解決方法1 . 循環(huán)過濾系統(tǒng)有漏氣現(xiàn)象 檢測循環(huán)過濾系統(tǒng)2 . 槽液中有雜質掉入 ， 致使槽液分解換槽 ， 清潔槽體1 . 鍍液金濃度低 分析金離子濃度是否在規(guī)格內2 . 鍍液溫度不在規(guī)格內 確保鍍液溫度在規(guī)格內3 . 槽液老化 重新開缸換新的藥水1 . 鍍液濃度低 分析濃度是否在規(guī)格內2 . 鍍液溫度不在規(guī)格內 確保鍍液溫度在規(guī)格內3 . 槽液老化 重新開缸換新的藥水1 . 前處理不徹底 按規(guī)定進行操作2 . 等待時間過長 ， 致使鍍層鈍化盡量避免等待時間 ， 如果要等待 ， 將 Wafer 浸泡在室溫的純水中 .3 . 鍍液里面雜質含量過多 重新開缸換新的藥水4 . 添加劑比例失調 重新開缸換新的藥水鍍層之間結合力不夠4鍍金后外觀不黃2鍍層厚度不足3無 Wafer 處理時 ， 化學鍍槽有小氣泡冒出1Q Tech 西鈦新進員工教育訓練教材 電鍍不良圖片 OK NG OK 鋁蝕刻不凈 Q Tech 西鈦新進員工教育訓練教材 THANKS！ 請自由提問 .
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