【正文】 秦明 PECVD ? ECR ? N2 ? 2N ? N與 Silane反應形成 SixNy ? HDP(High Density Plasma)的低壓強 Torr導致長的平均自由程 ?step coverage差 若系統設計成有一定的離子轟擊，可以改善臺階 ? PECVD Silicon nitride ? final passivation or scratch protection layer ? 300 – 400℃ , Ar or He SiH4 NH3 or N2 半導體加工 秦明 PECVD 半導體加工 秦明 PECVD ? Si3N4 PECVD Growth rate density atomic content ? PECVD silicon nitride用于 metal interconnect的隔離層 半導體加工 秦明 PECVD(PlasmaEnhanced CVD) 氧化物淀積 氮氧化硅 半導體加工 秦明 Metal CVD ? 濺射的臺階覆蓋不好 ? 過去的技術： ?“釘頭”降低了布線密度 ? 金屬 CVD可以填充接觸孔 半導體加工 秦明 Metal CVD ? Wu CVD 400oC ? TiN黏附層 半導體加工 秦明 Metal CVD ? CVD TiN 6TiCl4 + 8NH3 6TiN + 24HCl and N2 (700~800 ℃ ) 半導體加工 秦明 ? 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 , March 23, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 02:47:4602:47:4602:473/23/2023 2:47:46 AM ? 1以我獨沈久，愧君相見頻。 :47:4602:47Mar2323Mar23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 02:47:4602:47:4602:47Thursday, March 23, 2023 ? 1乍見翻疑夢，相悲各問年。 :47:4602:47:46March 23, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 2023年 3月 23日星期四 上午 2時 47分 46秒 02:47: ? 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 2023年 3月 上午 2時 47分 :47March 23, 2023 ? 1行動出成果，工作出財富。 2023年 3月 23日星期四 2時 47分 46秒 02:47:4623 March 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 上午 2時 47分 46秒 上午 2時 47分 02:47: ? 沒有失敗，只有暫時停止成功！。 , March 23, 2023 ? 很多事情努力了未必有結果，但是不努力卻什么改變也沒有。 02:47:4602:47:4602:473/23/2023 2:47:46 AM ? 1成功就是日復一日那一點點小小努力的積累。 :47:4602:47Mar2323Mar23 ? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 02:47:4602:47:4602:47Thursday, March 23, 2023 ? 1不知香積寺，數里入云峰。 :47:4602:47:46March 23, 2023 ? 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 3月 23日星期四 上午 2時 47分 46秒 02:47: ? 1楚塞三湘接，荊門九派通。 。 2023年 3月 上午 2時 47分 :47March 23, 2023 ? 1少年十五二十時，步行奪得胡馬騎。 2023年 3月 23日星期四 2時 47分 46秒 02:47:4623 March 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 上午 2時 47分 46秒 上午 2時 47分 02:47: ? 楊柳散和風，青山澹吾慮。 , March 23, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 02:47:4602:47:4602:473/23/2023 2:47:46 AM ? 1越是沒有本領的就越加自命不凡。 :47:4602:47Mar2323Mar23 ? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 02:47:4602:47:4602:47Thursday, March 23, 2023 ? 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強。 :47:4602:47:46March 23, 2023 ? 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 3月 23日星期四 上午 2時 47分 46秒 02:47: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 2023年 3月 上午 2時 47分 :47March 23, 2023 ? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023年 3月 23日星期四 2時 47分 46秒 02:47:4623 March 2023 ? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。 上午 2時 47分 46秒 上午 2時 47分 02:47: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看 專家告訴