半導(dǎo)體制造技術(shù)導(dǎo)論chapter8離子注入工藝-資料下載頁
2025-03-01 12:22本頁面
【正文】 氧化硅巨體硅128電漿浸置型離子注入? DRAM具有深溝槽電容器? 溝槽變的更深也更窄? 標(biāo)準(zhǔn)離子注入制程很難在深溝槽的兩側(cè)與底部進(jìn)行重度摻雜? 電漿浸置型離子注入 (PIII)? 沒有離子種類與離子能量選擇的離子注入制程129介電質(zhì)層重度摻雜硅硅基片深溝槽式電容器多晶硅130電子回旋共振電漿浸置型離子注入系統(tǒng)氦射頻偏壓磁力線微波磁鐵線圈電子回旋共振電漿晶圓靜電吸附承座131離子注入概要? 摻雜半導(dǎo)體? 比擴(kuò)散好的摻雜方法? 容易控制接面深度 (藉離子能量控制 )和 摻雜物濃度 (藉離子束電流和注入時(shí)間 .? 非等向性注入輪廓 .132離子注入概要? 離子源? 萃取? 質(zhì)譜儀? 后段加速? 電荷中性化系統(tǒng)? 射束阻擋器133離子注入概要? 井區(qū) 高能量 ,低劑量? 源極 /漏極 低能量 ,高劑量? 臨界電壓調(diào)整 低能量 ,低劑量? 低摻雜漏極 低能量 ,低劑量? 靜夜四無 鄰 ，荒居舊 業(yè)貧 。 二月 21二月 21Monday,February01,2023? 雨中黃葉 樹 ，燈下白 頭 人。 04:52:1204:52:1204:522/1/20234:52:12AM? 1以我獨(dú)沈久，愧君相 見頻 。 二月 2104:52:1204:52Feb2101Feb21? 1故人江海 別 ，幾度隔山川。 04:52:1204:52:1204:52Monday,February01,2023? 1乍 見 翻疑夢，相悲各 問 年。 二月 21二月 2104:52:1204:52:12February01,2023? 1他 鄉(xiāng) 生白 發(fā) ，舊國 見 青山。 01二月 20234:52:12上午 04:52:12二月 21? 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 二月 214:52上午 二月 2104:52February01,2023? 1行 動 出成果，工作出 財(cái) 富。 2023/2/14:52:1204:52:1201February2023? 1做前，能 夠環(huán)視 四周；做 時(shí) ，你只能或者最好沿著以腳 為 起點(diǎn)的射 線 向前。 4:52:12上午 4:52上午 04:52:12二月 21? 沒有失 敗 ，只有 暫時(shí) 停止成功！。 二月 21二月 21Monday,February01,2023? 很多事情努力了未必有 結(jié) 果，但是不努力卻什么改 變 也沒有。 04:52:1204:52:1204:522/1/20234:52:12AM? 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的 積 累。 二月 2104:52:1204:52Feb2101Feb21? 1世 間 成事，不求其 絕對圓滿 ，留一份不足，可得無限完美。 04:52:1204:52:1204:52Monday,February01,2023? 1不知香 積 寺，數(shù)里入云峰。 二月 21二月 2104:52:1204:52:12February01,2023? 1意志 堅(jiān) 強(qiáng) 的人能把世界放在手中像泥 塊 一 樣 任意揉捏。 01二月 20234:52:12上午 04:52:12二月 21? 1楚塞三湘接， 荊門 九派通。 。 二月 214:52上午 二月 2104:52February01,2023? 1少年十五二十 時(shí) ，步行 奪 得胡 馬騎 。 2023/2/14:52:1204:52:1201February2023? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 4:52:12上午 4:52上午 04:52:12二月 21? 楊 柳散和 風(fēng) ，青山澹吾 慮 。 二月 21二月 21Monday,February01,2023? 閱讀 一切好 書 如同和 過 去最杰出的人 談話 。 04:52:1204:52:1204:522/1/20234:52:12AM? 1越是沒有本 領(lǐng) 的就越加自命不凡。 二月 2104:52:1204:52Feb2101Feb21? 1越是無能的人，越喜 歡 挑剔 別 人的 錯(cuò) 兒。 04:52:1204:52:1204:52Monday,February01,2023? 1知人者智，自知者明。 勝 人者有力，自 勝 者 強(qiáng) 。 二月 21二月 2104:52:1204:52:12February01,2023? 1意志 堅(jiān) 強(qiáng) 的人能把世界放在手中像泥 塊 一 樣 任意揉捏。 01二月 20234:52:12上午 04:52:12二月 21? 1最具挑 戰(zhàn) 性的挑 戰(zhàn) 莫 過 于提升自我。 二月 214:52上午 二月 2104:52February01,2023? 1 業(yè) 余生活要有意 義 ，不要越 軌 。 2023/2/14:52:1204:52:1201February2023? 1一個(gè)人即使已登上 頂 峰，也仍要自 強(qiáng) 不息。 4:52:12上午 4:52上午 04:52:12二月 21MOMODA POWERPOINTLorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看專 家告 訴
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