cmos工藝流程與mos電路版圖舉例(1)-資料下載頁(yè)
2025-02-09 20:34本頁(yè)面
【正文】 2 CMOS反相器版圖流程 (8)8. 金屬線 2—— 做金屬連線，封閉圖形處保留鋁150VDDGNDVDDGNDinverter：Schematic:Layout:inputoutputm1m2m2 m11511.阱 —— 做 N阱和 P阱封閉圖形處，窗口注入形成 P管和 N管的襯底2.有源區(qū) —— 做晶體管的區(qū)域（ G、 D、 S、 B區(qū) )，封閉圖形處是氮化硅掩蔽層，該處不會(huì)長(zhǎng)場(chǎng)氧化層3.多晶硅 —— 做硅柵和多晶硅連線。封閉圖形處，保留多晶硅 4.有源區(qū)注入 ——P +、 N+區(qū)（ select)。做源漏及阱或襯底連接區(qū)的注入5.接觸孔 —— 多晶硅，注入?yún)^(qū)和金屬線 1接觸端子。6.金屬線 1—— 做金屬連線，封閉圖形處保留鋁7.通孔 —— 兩層金屬連線之間連接的端子8.金屬線 2—— 做金屬連線，封閉圖形處保留鋁 硅柵 CMOS 版圖和工藝的關(guān)系152 1.有源區(qū)和場(chǎng)區(qū)是互補(bǔ)的，晶體管做在有源區(qū)處，金屬和多晶連線多做在場(chǎng)區(qū)上。 2.有源區(qū)和 P+,N+注入?yún)^(qū)的關(guān)系：有源區(qū)即無(wú)場(chǎng)氧化層，在這區(qū)域中可做 N型和 P型各種晶體管，此區(qū)一次形成。3.至于以后何處是 NMOS晶體管，何處是 PMOS晶體管，要由 P+注入?yún)^(qū)和 N+注入?yún)^(qū)那次光刻決定。4.有源區(qū)的圖形（與多晶硅交疊處除外）和 P+注入?yún)^(qū)交集處即形成 P+有源區(qū)， P+注入?yún)^(qū)比所交有源區(qū)要大些。須解釋的問(wèn)題：1535.有源區(qū)的圖形（與多晶硅交疊處除外）和 N+注入?yún)^(qū)交集處即形成 N+有源區(qū)， N+注入?yún)^(qū)比所交有源區(qū)要大些。6.兩層半布線金屬，多晶硅可做連線，所注入的有源區(qū)也是導(dǎo)體，可做短連線（方塊電阻大）。三層布線之間，多晶硅和注入有源區(qū)不能相交布線，因?yàn)橄嘟惶幮纬闪司w管，使得注入有源區(qū)連線斷開(kāi)。7.三層半布線金屬 1，金屬 2，多晶硅可做連線，所注入的有源區(qū)也是導(dǎo)體，可做短連線（方塊電阻大）。四層線之間，多晶硅和注入有源區(qū)不能相交布線，因?yàn)橄嘟惶幮纬闪司w管，使得注入有源區(qū)連線斷開(kāi)。 154l 靜夜四無(wú)鄰，荒居舊業(yè)貧。 一月 21一月 21Sunday,January31,2023l 雨中黃葉樹(shù)，燈下白頭人。 18:28:0318:28:0318:281/31/20236:28:03PMl 1以我獨(dú)沈久，愧君相見(jiàn)頻。 一月 2118:28:0318:28Jan2131Jan21l 1故人江海別，幾度隔山川。 18:28:0318:28:0318:28Sunday,January31,2023l 1乍見(jiàn)翻疑夢(mèng)，相悲各問(wèn)年。 一月 21一月 2118:28:0318:28:03January31,2023l 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國(guó)見(jiàn)青山。 31一月 20236:28:03下午 18:28:03一月 21l 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 一月 216:28下午 一月 2118:28January31,2023l 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 2023/1/3118:28:0318:28:0331January2023l 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 6:28:03下午 6:28下午 18:28:03一月 21l 沒(méi)有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 一月 21一月 21Sunday,January31,2023l 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒(méi)有。 18:28:0318:28:0318:281/31/20236:28:03PMl 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 一月 2118:28:0318:28Jan2131Jan21l 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿，留一份不足，可得無(wú)限完美。 18:28:0318:28:0318:28Sunday,January31,2023l 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 一月 21一月 2118:28:0318:28:03January31,2023l 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 31一月 20236:28:03下午 18:28:03一月 21l 1楚塞三湘接，荊門(mén)九派通。 。 一月 216:28下午 一月 2118:28January31,2023l 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 2023/1/3118:28:0318:28:0331January2023l 1空山新雨后，天氣晚來(lái)秋。 6:28:03下午 6:28下午 18:28:03一月 21l 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 一月 21一月 21Sunday,January31,2023l 閱讀一切好書(shū)如同和過(guò)去最杰出的人談話。 18:28:0418:28:0418:281/31/20236:28:04PMl 1越是沒(méi)有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 一月 2118:28:0418:28Jan2131Jan21l 1越是無(wú)能的人，越喜歡挑剔別人的錯(cuò)兒。 18:28:0418:28:0418:28Sunday,January31,2023l 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 一月 21一月 2118:28:0418:28:04January31,2023l 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 31一月 20236:28:04下午 18:28:04一月 21l 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過(guò)于提升自我。 一月 216:28下午 一月 2118:28January31,2023l 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023/1/3118:28:0418:28:0431January2023l 1一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 6:28:04下午 6:28下午 18:28:04一月 21MOMODA POWERPOINTLorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看專(zhuān) 家告
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