薄膜材料與薄膜技術(shù)復(fù)習(xí)資料-資料下載頁(yè)
2025-08-05 15:59本頁(yè)面
【正文】 1. 盧瑟福背散射（RBS）通過(guò)將一束確定能量的高能離子束（通常是質(zhì)子或α粒子）打到待分析材料上，檢測(cè)背向反射的離子的能量，即可確定靶原子的種類、濃度和深度分布。1. X射線光電子譜（XPS）以X射線為激發(fā)光源的光電子能譜1. 俄歇電子譜（AES）俄歇電子能譜(AES、Auger)是一種利用高能電子束為激發(fā)源的表面分析技術(shù). AES分析區(qū)域受激原子發(fā)射出具有元素特征的俄歇電子。紅外吸收和拉曼散射紅外吸收是指物質(zhì)對(duì)紅外光的吸收。拉曼散射指光波在被散射后頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。?描述旋片式機(jī)械泵、復(fù)合分子泵、油擴(kuò)散泵、低溫泵的工作原理及范圍。 旋片式機(jī)械泵：轉(zhuǎn)子帶動(dòng)葉片轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)葉片處于入口時(shí)，葉片從轉(zhuǎn)子中伸出最長(zhǎng)，此時(shí)，介質(zhì)進(jìn)入，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，葉片將逐漸縮短，葉片與泵體的空間也將越來(lái)越小，直逼出口，最終將介質(zhì)送出。復(fù)合式分子泵的形式很多，按結(jié)構(gòu)分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來(lái)提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級(jí)數(shù)在l0級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。油擴(kuò)散泵所使用的任何泵油，都是蒸氣壓不同的多組分的混合物。因此，要提高油擴(kuò)散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還要對(duì)泵油進(jìn)行分餾和凈化。分餾目的是使高蒸氣壓組分的油不進(jìn)入高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；凈化目的是使高蒸氣壓組分的油在工作過(guò)程中不斷為前級(jí)泵所抽除，使油逐漸趨于純凈.低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。?描述測(cè)量高、低真空的電離規(guī)、電阻規(guī)和熱偶規(guī)的原理和使用范圍。電阻規(guī)：當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí)，由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。電離規(guī)：由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過(guò)測(cè)量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小。熱偶規(guī)：直接測(cè)量熱比的溫度變化。
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