聚焦離子束報(bào)告-資料下載頁
2025-08-05 15:55本頁面
【正文】 品的損傷降到了最低限度 , 同時(shí)避免了 FIB 反復(fù)變換束流強(qiáng)度所帶來的 誤差 。 二 .FIB與二次離子質(zhì)譜儀的結(jié)合 這種組合能在 FIB 進(jìn)行缺陷觀測、樣品制備、失效分析工作的同時(shí)實(shí)現(xiàn)樣品或雜質(zhì)顆粒的 成分分析 。 合肥工業(yè)大學(xué) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 FIBMBE組合裝置 三 .FIBMBE組合裝置 首先利用 MBE生長出原始薄膜，經(jīng)中間處理，最后用 FIB研磨加工膜片。這樣既可加工出高質(zhì)量、低污染的表面，又可用于光電子和量子阱器件的三維納米結(jié)構(gòu)加工。 四 .單軸聚焦離子 /電子束 (FIEB)裝置 發(fā)射端金屬 融化 后是一個(gè)液態(tài)金屬離子源，可發(fā)射離子束；冷卻 凝固 后 可作為場發(fā)射電子源。通過調(diào)整高電壓的正負(fù)方向來決定發(fā)射離子或電子。FIEB系統(tǒng)比傳統(tǒng)兩軸分開的系統(tǒng)更具潛力，是更簡單且節(jié)省成本的一種方式。 合肥工業(yè)大學(xué) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 ? 結(jié)論： 聚離子束技術(shù)及組合系統(tǒng)顯示了巨大的應(yīng)用潛力，它的 精確定位 、 顯微觀測 和細(xì)微加工 功能使其在 微電子 領(lǐng)域中扮演重要角色。相信 , 隨著我國微電子工業(yè)的發(fā)展 , 聚焦離子束設(shè)備及應(yīng)用技術(shù)也必將被提高到一個(gè)新的水平。
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