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材料表面界面和微結(jié)構(gòu)分析表征復(fù)習(xí)提綱-資料下載頁

2025-07-24 23:16本頁面
  

【正文】 對硅半導(dǎo)體組成, 對原子序數(shù)而言, 兩側(cè)檢測器接收的BSE信號強(qiáng)度是一樣的, 對形貌來說則是互補(bǔ)的, 利用電路上的加法處理可使原子序數(shù)信號放大、消除形貌信號, 減法處理, 則能使形貌信號放大, 消除原子序數(shù)的影響。(2)試畫圖分析背散射電子成分像的襯度來源。(加法)銅引線橫斷面圖 第五章 掃描探針顯微鏡 1. 了解隧道效應(yīng)、STM的工作原理以及工作模式;根據(jù)量子力學(xué)中電子隧道效應(yīng),當(dāng)具有原子尺寸的探針尖足夠接近試樣表面時,二者之間的電子波函數(shù)產(chǎn)生交疊作用。恒流模式:保持針尖——樣品表面電流恒定,針尖在式樣表面掃描的同時同步采集針尖運動數(shù)據(jù)→成像→形貌圖;恒高模式:保持針尖高度不變,試樣表面起伏使針尖——樣品表面距離改變,導(dǎo)致隧道電流急劇改變,針尖掃描的同時記錄電流數(shù)據(jù)→成像→形貌圖。 2. 了解SFM工作原理以及工作模式 接觸模式 缺點①針尖和樣品表面間的粘附力有可能使樣品產(chǎn)生變形,使圖像中出現(xiàn)假象。 ②針尖和樣品表面可能會有損傷。非接觸模式 缺點:在空氣和液體中較為困難(針尖表面氣體吸附:)輕敲式、間歇接觸式,動態(tài)模式 特點:綜合了接觸非接和觸式了的優(yōu)勢,分辨好,間隙接觸時間短而對樣品損傷小,是較好的模式SFM要求樣品導(dǎo)電,金屬樣品較好,半導(dǎo)體效果差。絕緣體無法觀察。(原子顯微鏡(AFM)可以克服此缺點)
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