【正文】
框架圖 有效狀態(tài)設(shè)備按預(yù)定功能工作的時間。有效狀態(tài)包括: c 常規(guī)生產(chǎn)(包括裝卸產(chǎn)品) c 為第三方工作 c 返工 c 與生產(chǎn)結(jié)合的操縱??赡苁腔虿皇钱a(chǎn)品單元(比如,分批和新運(yùn)用)?! ?等待狀態(tài)在這段時間內(nèi),設(shè)備是在正常功能狀態(tài)下,基礎(chǔ)設(shè)施和化學(xué)材料都準(zhǔn)備好了,但是不在生產(chǎn)。它不是計(jì)劃外的。等待狀態(tài)包括: c 沒有操作工(包括休息、午餐和會議) c 沒有產(chǎn)品(包括由于缺乏輔助設(shè)備比如計(jì)量工具造成的缺少產(chǎn)品) c 沒有輔助工具(例如密封盒、芯片傳輸器、探測卡) c 沒有從自動系統(tǒng)來的輸入信號(例宿主) 工程狀態(tài)設(shè)備處在正常功能狀態(tài)下(沒有設(shè)備和流程問題存在),但是用于工程實(shí)驗(yàn)的時間。包括: c 過程工程(過程塑造) c 設(shè)備過程(設(shè)備評估) c 軟件工程(例限定軟件) 計(jì)劃內(nèi)停工狀態(tài)設(shè)備按計(jì)劃停止正常功能工作的一段時間。包括: c 維修推遲 c 生產(chǎn)檢測 c 預(yù)防性維修 c 改變化學(xué)材料或消耗品 c 調(diào)整 c 與基礎(chǔ)設(shè)施相關(guān)的停工。 維修推遲由于設(shè)備正等待使用者或供應(yīng)人員或其他與維修有關(guān)的部分(化學(xué)材料、消耗品等)而使設(shè)備不能正常工作的時間。維修推遲有可能是因?yàn)楣芾韱T決定讓設(shè)備停著推遲維修?! ∽⑨?:維修推遲會發(fā)生在維修過程的任何時段,它必須從維修時間中被獨(dú)立出來。推遲時間包括在離線時間內(nèi),但不在修理時間內(nèi)。() 生產(chǎn)控制有計(jì)劃地打斷產(chǎn)品有效生產(chǎn)來評估產(chǎn)品或非產(chǎn)品單元。按照設(shè)備操作的規(guī)范來證實(shí)設(shè)備是否處于規(guī)范中的正常功能狀態(tài)。它并不包括可以平行于產(chǎn)品生產(chǎn)的檢測,也不包括隨著預(yù)防性維修、調(diào)整及修理過程產(chǎn)生的檢測。 預(yù)防性維修它由以下的幾部分組成: c 預(yù)防性措施:按計(jì)劃周期維護(hù)過程(包括設(shè)備斷工、復(fù)工),以降低設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)中故障的可能性。間斷周期可能基于設(shè)備時間、設(shè)備狀態(tài)?! ?c 設(shè)備檢測:運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備以證實(shí)設(shè)備的功能狀態(tài)。(比如,系統(tǒng)達(dá)到基本壓力,芯片傳輸沒有異常、氣流正常、等離子區(qū)燃燒、來源達(dá)到特定壓力。) c 校正運(yùn)作:在預(yù)防性措施后為保證設(shè)備按規(guī)定正常運(yùn)作而建立的單元流程和評估?! ∽⑨?:設(shè)備供應(yīng)商有責(zé)任提出預(yù)防性措施計(jì)劃以使設(shè)備達(dá)到預(yù)定水平。使用者如果希望供應(yīng)商提高設(shè)備水平,他們有責(zé)任指出與原定計(jì)劃的偏離之處?! ?改變化學(xué)材料及消耗品指在補(bǔ)充半導(dǎo)體流程中的原材料時的故意打斷。它包括改變氣瓶、酸、目標(biāo)、來源等等以及任何與改變相關(guān)的充、洗、清潔。但不包括在得到化學(xué)材料、消耗品補(bǔ)給之前的延誤時間?! ?調(diào)整它是以下幾部分之和: c 變動:為了適應(yīng)在流程、產(chǎn)品、包裝結(jié)構(gòu)上的改變而作出的設(shè)備變動所需的時間。(不包括裝修、重建、升級) c 設(shè)備測試: