zrcl4分子層在羥化硅表面消去氯原子反應(yīng)機(jī)理的理論分析研究畢業(yè)論文-資料下載頁(yè)
2025-06-23 08:36本頁(yè)面
【正文】 (Ed.),Handbook of Thin Film Materials,Academic Press, San Diego,2002,.[3] M. Gutowski, . Jaffe, . Liu, M. Stoker, . Hedge,. Rai, (2002)1897.[4] ,. Roh, , , Appl. Phys. Lett. 81 (2002) 472.[5] , , R. Nieh,. Qi, . Lee, . Lett. 76 (2000)1926.[6] E. P. Gusev, E. Cartier, D. A. Buchanan, M. Gribelyuk, M. Copel, H. OkornSchmidt ,’Emic, Microelectronic Engineering 59 (2001) 341[7] . Wallace, . Wilk, Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 28 (2003) 231.[8] J. Robertson, Rep. Prog. Phys. 69 (2006) 327.[9] E. P. Gusev, M. Copel, E. Cartier, I. J. R. Baumvol, C. Krug .M. A. Gribelyuk, Appl. . 76 (2000)176.[10] ,(2003) 643.[11] L. Niinisto, J. Paivasaari, J. Niinisto, M. Putkonen, M. Nieminen, Phys. Status Solidi A 201 (2004) 1443.[12] M. Ritala, M. Leskela , Appl. Surf. Sci. 75 (1994) 333.[13] K. Kukli, K. Forsgren, J. Aarik, T. Uustare, A. Aidla, A. Niskanen, M. Ritala, , A. Harsta, J. Cryst. Growth 231 (2001) 262.[14] J. Niinisto, A. Rahtu, M. Putkonen, M. Ritala, M. Leskela, L. Niinisto, Langmuir 21(2005)7321.[15] ,(2002)1484.[16] , Rouhani,Comput. (2003)75.[17] , A. Est232。ve, M. Djafari Rouhani, D. Est232。ve, Appl. Phys. Lett. 83 (2003) 542.[18] . Becke, Phys. Rev. A 38 (1988) 3098.[19] . Becke, J. Chem. Phys. 98 (1993) 5648.作者：李杰聯(lián)系電話：15083113171指導(dǎo)教師：姚樹文聯(lián)系郵箱：igors2003@致謝該論文能如期順利地完成完全得益于來自各方面的幫助和支持。首先感謝我的指導(dǎo)老師姚樹文老師，姚老師不僅學(xué)識(shí)淵博、治學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)，而且做人達(dá)觀、為人謙和。他嚴(yán)謹(jǐn)細(xì)致、一絲不茍的作風(fēng)一直是我工作、學(xué)習(xí)中的榜樣。姚老師循循善誘的教導(dǎo)和認(rèn)真嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目茖W(xué)研究態(tài)度讓我銘記在心。在論文的選題、研究和撰寫中，姚老師給了我充分的指導(dǎo)。姚老師的指導(dǎo)認(rèn)真細(xì)致，讓我如沐春風(fēng)。姚老師既是我的良師，也是我的益友，姚老師的這些優(yōu)秀品質(zhì)會(huì)一直激勵(lì)著我前進(jìn)，使我在以后的學(xué)習(xí)和工作中取得更大的進(jìn)步！在此對(duì)姚老師的指導(dǎo)和幫助表示我最真摯的感謝。另外，還要感謝大學(xué)里所有傳授我知識(shí)的老師，是你們豐富的知識(shí)和精彩的授課，拓寬了我的視野，也使我提高了自己的能力，并最終能更順利地完成這篇文章，也是你們教會(huì)了我為人處世的道理，讓我更加堅(jiān)強(qiáng)和自信。在此，我也表示我最真摯的感謝。最后，也要感謝我可愛的同學(xué)們，因?yàn)槟銈儯业拇髮W(xué)生活才這樣豐富和精彩，感謝你們的鼓勵(lì)和支持，此次畢業(yè)設(shè)計(jì)才會(huì)得以順利完成。在此，我深表感謝！感謝各位老師的指導(dǎo)，感謝各位同學(xué)的幫助，感謝所有給與我?guī)椭椭С值娜?。謝謝
數(shù)學(xué)相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1