【正文】 出如下幾項(xiàng)：市場(chǎng)定位問(wèn)題：日本在起步時(shí)期曾把工業(yè)控制和消費(fèi)類芯片作為主攻方向，韓國(guó)則把DRAM芯片的設(shè)計(jì)、制造工藝作為突破口。今天世界市場(chǎng)的芯片，按大類可分為消費(fèi)類IC、投資類IC、通訊類IC；投資類IC又可分為專用芯片和通用芯片（DRAM/CPU）兩大類。我們要自主發(fā)展半導(dǎo)體科技，重點(diǎn)主攻方向在哪里？業(yè)內(nèi)的意見(jiàn)，多數(shù)集中在專用芯片和通信類芯片（通信產(chǎn)品是近年來(lái)發(fā)展最快的市場(chǎng)），特別是以砷化鎵為基片的通訊類集成電路，我國(guó)已有一定基礎(chǔ)，和國(guó)外水平相差不太遠(yuǎn)，是一個(gè)很好的切入點(diǎn)。另有相當(dāng)多的人主張，不能放棄占市場(chǎng)2/3以上的通用芯片。這恐怕是要分清近期重點(diǎn)和中遠(yuǎn)期重點(diǎn)的。技術(shù)路線：業(yè)內(nèi)公認(rèn)，預(yù)計(jì)再過(guò)10年，摩爾定律將失效，國(guó)際半導(dǎo)體界正在加緊新材料、新設(shè)計(jì)、新加工技術(shù)、新設(shè)備的研究。我們已經(jīng)被動(dòng)跟進(jìn)了20年左右了。要實(shí)現(xiàn)追趕戰(zhàn)略，是循現(xiàn)有硅技術(shù)跟進(jìn)，還是走“攔截”道路（如放棄硅加工技術(shù)的追趕，從納米技術(shù)開(kāi)始）？主張放棄硅加工技術(shù)、專攻納米級(jí)加工技術(shù)的聲音在管理部門(mén)占有一定席位。但科學(xué)界很多人認(rèn)為，21世紀(jì)以硅技術(shù)為中心的半導(dǎo)體加工技術(shù)仍占主流（見(jiàn)本文第二部分）。投資體制：鑒于我國(guó)現(xiàn)有國(guó)家投資的先進(jìn)生產(chǎn)線多數(shù)沒(méi)有自己的控制權(quán)，是否還有必要以國(guó)家為主體投資35條先進(jìn)生產(chǎn)線，包括砷化鎵生產(chǎn)線？由于所需投資額要以百億人民幣計(jì)算，國(guó)家在“十五”期間似無(wú)此打算。但如果真是關(guān)系到全局利益，是否有必要再提出議論？等等， 實(shí)施半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)追趕戰(zhàn)略的討論國(guó)家有關(guān)機(jī)構(gòu)及業(yè)內(nèi)已經(jīng)就加快我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展制定了規(guī)劃、政策，現(xiàn)在很多情況下是如何落實(shí)的問(wèn)題。在這里，作者提出經(jīng)過(guò)考慮認(rèn)為是必要的措施：需要國(guó)家層次的決心和指揮，制定積極可行的發(fā)展規(guī)劃首先要組織落實(shí)。成立代表國(guó)家意志的權(quán)威性微電子領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)，集中負(fù)責(zé)，具體領(lǐng)導(dǎo)和協(xié)調(diào)國(guó)家組織的研發(fā)生產(chǎn)全過(guò)程，重點(diǎn)扶持，克服地方部門(mén)分割的弊病，統(tǒng)籌合理使用資金和人才。 發(fā)展戰(zhàn)略不能流于一般號(hào)召和思路，在充分論證的基礎(chǔ)上，作好中長(zhǎng)期微電子跨越發(fā)展的科學(xué)規(guī)劃（具有前瞻性的科技規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)建設(shè)、市場(chǎng)擴(kuò)張）。要提高決策水平和反應(yīng)速度。半導(dǎo)體更新?lián)Q代快，計(jì)劃要求不斷滾動(dòng)調(diào)整，現(xiàn)有五年計(jì)劃方法需要改進(jìn)。 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與其他產(chǎn)業(yè)最明顯不同的一個(gè)特點(diǎn)，是技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用具有相當(dāng)清楚的路線圖和時(shí)間表，因此，我們的微電子科技規(guī)劃必須具有和產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃相對(duì)應(yīng)的切入點(diǎn)和結(jié)合點(diǎn)的時(shí)間表，以及明確的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用目標(biāo)和相應(yīng)的成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用政策與機(jī)制。要充分利用外商投資半導(dǎo)體熱潮這一良機(jī)，加強(qiáng)引進(jìn)消化，逐步提高產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新和自主發(fā)展能力。制定切實(shí)可行的市場(chǎng)戰(zhàn)略，從中低端產(chǎn)品起步。作為長(zhǎng)期目標(biāo)，則要有占領(lǐng)高端技術(shù)和產(chǎn)品的決心和意志，不應(yīng)放棄。要配合工藝技術(shù)的進(jìn)步，自主開(kāi)發(fā)關(guān)鍵設(shè)備、工具、儀器，最終打破在制造設(shè)備上受制于人的被動(dòng)局面，建立起可以與世界前沿平等交流的技術(shù)支撐體系。抓住當(dāng)前市場(chǎng)機(jī)會(huì)，瞄準(zhǔn)長(zhǎng)期發(fā)展方向我國(guó)目前科技水平還不具備占領(lǐng)高端產(chǎn)品的能力，宜從占領(lǐng)低端市場(chǎng)和新興市場(chǎng)起步，有必要選定一組有市場(chǎng)前途、國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)壓力較小的品種作為突破口。當(dāng)前微電子技術(shù)有三個(gè)清晰的發(fā)展方向：以存儲(chǔ)器（DRAM）和微處理器（MPU）為代表的計(jì)算機(jī)芯片；以系統(tǒng)集成芯片為主流的專用電路（ASIC）各控制應(yīng)用領(lǐng)域；信息傳輸技術(shù)。我國(guó)目前宜立足于專用集成電路和通信市場(chǎng)尋求發(fā)展。尤其通訊領(lǐng)域還沒(méi)有形成強(qiáng)壟斷力量，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)潛力巨大，及時(shí)抓住民用砷化鎵通訊器件及電路的機(jī)會(huì)，可占領(lǐng)一定的市場(chǎng)份額。在這兩個(gè)領(lǐng)域積蓄起足夠的力量之后，再向主流市場(chǎng)發(fā)起攻擊，最終占領(lǐng)通用芯片市場(chǎng)。專用集成電路因應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，市場(chǎng)空間極大。但這也給企業(yè)尋找市場(chǎng)、開(kāi)發(fā)適時(shí)產(chǎn)品又提出了嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，對(duì)企業(yè)的營(yíng)銷管理和應(yīng)變能力有著很高的要求。依托我國(guó)市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)，將半導(dǎo)體和整機(jī)生產(chǎn)結(jié)合起來(lái)。由國(guó)家組織專項(xiàng)重點(diǎn)工程，如高清晰度電視、移動(dòng)通訊和PC機(jī)等，根據(jù)我國(guó)國(guó)情制定標(biāo)準(zhǔn)，建立整機(jī)業(yè)與芯片業(yè)的戰(zhàn)略聯(lián)盟。發(fā)揮政府主導(dǎo)作用，貫徹產(chǎn)業(yè)政策要全面提高我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)水平，將是一個(gè)大規(guī)模的系統(tǒng)工程，根據(jù)目前國(guó)內(nèi)企業(yè)缺乏資金和技術(shù)實(shí)力的情況下，有必要通過(guò)政府作用，發(fā)掘和聚合全國(guó)有限的科技力量。由于半導(dǎo)體的高強(qiáng)度競(jìng)爭(zhēng)性質(zhì)，必須有國(guó)家的堅(jiān)強(qiáng)領(lǐng)導(dǎo)，稍有松懈就會(huì)被淘汰。所以對(duì)政府的管理水平提出很高的要求。在發(fā)展規(guī)劃指導(dǎo)下，促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)合理布局的形成。我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)形成了三塊主要聚集區(qū)。目前許多地方對(duì)投資半導(dǎo)體表示極大興趣，紛紛提出要建設(shè)自己的“硅谷”。要協(xié)調(diào)各方面利益關(guān)系，打破部門(mén)地區(qū)封鎖，促進(jìn)資源的合理配置，防止各地爭(zhēng)建“硅谷”、“新竹”，形成新的分散浪費(fèi)。有必要加強(qiáng)調(diào)控，建設(shè)幾個(gè)較集中的微電子園區(qū)。鼓勵(lì)跨省投資，稅收政策相應(yīng)也要調(diào)整。組織部門(mén)地區(qū)單位間協(xié)作，官產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合，組織重點(diǎn)領(lǐng)域及關(guān)鍵設(shè)備的攻關(guān)，以及推動(dòng)形成技術(shù)共享機(jī)制和企業(yè)策略聯(lián)盟。鼓勵(lì)建立區(qū)域行業(yè)協(xié)會(huì)，推動(dòng)企業(yè)技術(shù)聯(lián)盟的形成。切實(shí)落實(shí)國(guó)家已經(jīng)頒布的對(duì)微電子類企業(yè)的各項(xiàng)優(yōu)惠政策。落實(shí)增值稅減免政策，提高折舊率、對(duì)進(jìn)口成套設(shè)備提供特批關(guān)稅和增值稅豁免等。放寬企業(yè)的融資條件，擴(kuò)大風(fēng)險(xiǎn)投資基金，或政府直接建立半導(dǎo)體投資基金，或撥出定額的人民幣及外匯貸款規(guī)模。由于投資所需資金額龐大，政府融資能力有限，要形成多渠道投融資的投資機(jī)制，允許半導(dǎo)體企業(yè)在國(guó)內(nèi)外資本市場(chǎng)有限融資。給半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)優(yōu)先上市權(quán)。適度市場(chǎng)保護(hù)政策。微電子作為國(guó)家的命脈，在幼稚階段必須得到適當(dāng)保護(hù)。要制定法規(guī)，涉及國(guó)家安全的電子信息系統(tǒng)、身份證IC卡，國(guó)家機(jī)關(guān)使用的電子系統(tǒng)，政府采購(gòu)要優(yōu)先使用國(guó)產(chǎn)芯片，抵制洋貨（上海的公交、社保IC卡已經(jīng)實(shí)行這一辦法，應(yīng)該全國(guó)實(shí)行），制定我國(guó)自己的技術(shù)協(xié)議及標(biāo)準(zhǔn)。深化經(jīng)濟(jì)體制改革，營(yíng)造公平競(jìng)爭(zhēng)環(huán)境處理好微電子戰(zhàn)略性和競(jìng)爭(zhēng)性的關(guān)系，正確發(fā)揮政府在產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的作用，形成政府企業(yè)間新型互動(dòng)關(guān)系，營(yíng)造一個(gè)“自主經(jīng)營(yíng)、自主創(chuàng)新、合理競(jìng)爭(zhēng)、保障持續(xù)增長(zhǎng)”的公開(kāi)有序的市場(chǎng)環(huán)境和法制環(huán)境，培育靈活高效、能夠激勵(lì)個(gè)人和團(tuán)隊(duì)創(chuàng)造性的企業(yè)管理和激勵(lì)機(jī)制。鼓勵(lì)民營(yíng)、外資等各種經(jīng)濟(jì)形式的企業(yè)投資半導(dǎo)體?，F(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的民間投資出現(xiàn)良好勢(shì)頭，目前主要是民營(yíng)芯片設(shè)計(jì)企業(yè)，也應(yīng)鼓勵(lì)各類經(jīng)濟(jì)實(shí)體投資半導(dǎo)體制造業(yè)，鼓勵(lì)發(fā)展各種技術(shù)檔次的專用集成電路生產(chǎn)線，占領(lǐng)廣大的中低端半導(dǎo)體市場(chǎng)。如上海貝嶺80%的產(chǎn)品與整機(jī)系統(tǒng)掛鉤，效益良好；友旺原是民營(yíng)Fabless公司，通過(guò)租賃國(guó)有半導(dǎo)體生產(chǎn)線獲得效益，現(xiàn)開(kāi)始投資新生產(chǎn)線。促進(jìn)國(guó)企改革與重組，按現(xiàn)代企業(yè)運(yùn)行模式，在管理體制方面加大改革力度。落實(shí)企業(yè)管理、技術(shù)和市場(chǎng)骨干人員的待遇和期股權(quán)。穩(wěn)定隊(duì)伍，大力吸引海外優(yōu)秀人才高科技人才是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的根本，要高度重視人才戰(zhàn)略。我國(guó)十分有限的微電子人才不斷外流，多有去無(wú)回，損失巨大。從根本上說(shuō)，人才戰(zhàn)略是要建造一個(gè)有利于科技人員發(fā)揮創(chuàng)造力、有利于創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新的制度環(huán)境和人文環(huán)境。要鼓勵(lì)公平競(jìng)爭(zhēng)，改革企業(yè)單位內(nèi)人事制度分配制度。要制訂優(yōu)惠政策，拿出足夠強(qiáng)度的專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)，穩(wěn)定并充分發(fā)揮現(xiàn)有人才隊(duì)伍的作用，充分重視海外華裔技術(shù)專家的作用，加強(qiáng)與海外技術(shù)團(tuán)體的聯(lián)系，大力吸引海外微電子高層技術(shù)和管理人才，采取特殊措施吸引國(guó)外微電子頂尖人才。加強(qiáng)微電子科研與教育隊(duì)伍的建設(shè)，重視系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員、專用電路設(shè)計(jì)人員、工藝研究人員、企業(yè)管理、營(yíng)銷、項(xiàng)目管理人才的培養(yǎng)。高新科技園區(qū)要和人才戰(zhàn)略結(jié)合起來(lái)。營(yíng)造鼓勵(lì)創(chuàng)業(yè)的政策環(huán)境，要突破現(xiàn)行體制的限制，盡快實(shí)行期股制度。充實(shí)有關(guān)科研機(jī)構(gòu)，從制度上保證半導(dǎo)體企業(yè)有條件留夠研究開(kāi)發(fā)費(fèi)用。幾項(xiàng)具體措施的建議：促進(jìn)業(yè)內(nèi)合理分工，鼓勵(lì)發(fā)展設(shè)計(jì)行業(yè)（無(wú)生產(chǎn)線公司）集成電路（特別是專用電路）制造和設(shè)計(jì)是相輔相成的。IC專業(yè)生產(chǎn)廠和分散的無(wú)生產(chǎn)線（Fabless）設(shè)計(jì)公司并存與分工合作，成為世界微電子產(chǎn)業(yè)的通行模式。設(shè)計(jì)業(yè)投資小，與市場(chǎng)密切相關(guān)，只要有優(yōu)惠的產(chǎn)業(yè)政策和好的人才政策，就可以很快發(fā)展壯大。如從專用集成電路方面突破，則大力發(fā)展設(shè)計(jì)行業(yè)就更有必要。設(shè)計(jì)行業(yè)要以國(guó)家級(jí)高檔次需求和中低檔次并舉，建立技術(shù)共享機(jī)制。從戰(zhàn)略角度看，國(guó)家有必要在突破CPU和存儲(chǔ)器為代表的核心技術(shù)方面，以及對(duì)占領(lǐng)市場(chǎng)、扶持產(chǎn)業(yè)發(fā)展有重大意義的高檔產(chǎn)品設(shè)計(jì)方面（如通訊芯片），發(fā)揮組織作用。要建立技術(shù)支援和技術(shù)共享環(huán)境。為適應(yīng)系統(tǒng)芯片（SOC）的迅速發(fā)展，亟需組織建立國(guó)家級(jí)的有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的設(shè)計(jì)模塊（IP）庫(kù)，統(tǒng)一規(guī)范管理與服務(wù)，建立面向全國(guó)的調(diào)用機(jī)制，提高國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)公司的整體水平。同時(shí)，也有必要通過(guò)區(qū)域性半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)，促進(jìn)企業(yè)間技術(shù)聯(lián)盟和建立技術(shù)共享機(jī)制。國(guó)家牽頭，多方籌資，建設(shè)幾條8英寸以上硅芯片生產(chǎn)線，并掌握其技術(shù)、市場(chǎng)和管理的主導(dǎo)權(quán)。同時(shí)以多元化模式在未來(lái)5年內(nèi)建成610條大生產(chǎn)線，形成產(chǎn)業(yè)群。由于我國(guó)多年來(lái)全套引進(jìn)和國(guó)內(nèi)科研成果的積累，已經(jīng)具備一定基礎(chǔ)，不必再引進(jìn)全套技術(shù)，而是引進(jìn)單項(xiàng)關(guān)鍵工藝技術(shù)專利和有關(guān)高技術(shù)人才，自主創(chuàng)新，逐步建立自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。盡快建立國(guó)家微電子研發(fā)中心，加強(qiáng)新一代工藝、設(shè)備的研發(fā)和前瞻性科研要擺脫在關(guān)鍵設(shè)備和核心工藝技術(shù)依賴外國(guó)，且一代代被動(dòng)引進(jìn)的局面，必須保留并大力加強(qiáng)自己的微電子科研能力，改變當(dāng)前科研生產(chǎn)嚴(yán)重脫節(jié)、各部門(mén)間科研力量互相封閉的狀態(tài)。如果不從現(xiàn)在開(kāi)始努力加強(qiáng)自己的工藝技術(shù)后盾和關(guān)鍵設(shè)備研制能力，最終將無(wú)法在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)舞臺(tái)上立足。參照美日歐行之有效的經(jīng)驗(yàn)，國(guó)家有必要牽頭建立微電子研發(fā)中心，集中有限的人力財(cái)力，把國(guó)內(nèi)有優(yōu)勢(shì)的高效和研究所力量更好地組織起來(lái)，作為自主研發(fā)的基本骨干隊(duì)伍，并為各部門(mén)科研機(jī)構(gòu)。要開(kāi)發(fā)新一代核心工藝技術(shù)以及高檔產(chǎn)品；依托現(xiàn)有生產(chǎn)線，購(gòu)置部分先進(jìn)設(shè)備，以最快的速度用自主科研成果提升生產(chǎn)線的技術(shù)，在開(kāi)發(fā)新一代工藝的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)關(guān)鍵設(shè)備。要抓緊研發(fā)新一代關(guān)鍵設(shè)備。光刻機(jī)是限制我國(guó)微電子制造技術(shù)的瓶頸，要組織力量，集中投資，瞄準(zhǔn)193納米準(zhǔn)分子激光投影光刻機(jī)為重點(diǎn)的專用設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù)并達(dá)到實(shí)用化?，F(xiàn)有光學(xué)曝光技術(shù)已接近極限，國(guó)際上正在開(kāi)展電子束和X射線光刻及新型刻蝕機(jī)的研究，我國(guó)有必要加大力量開(kāi)展這一方面的技術(shù)攻關(guān)。（工程院）同時(shí)，針對(duì)中長(zhǎng)期我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)的需求，開(kāi)展新一代系統(tǒng)芯片中新工藝、新器件和新結(jié)構(gòu)電路的前瞻性、戰(zhàn)略性研究，以及承擔(dān)各研究機(jī)構(gòu)的驗(yàn)證集成和中試任務(wù)，最終發(fā)展成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的源泉。有所為有所不為所謂追趕戰(zhàn)略，不會(huì)是直線式的發(fā)展，需要技術(shù)、經(jīng)濟(jì)實(shí)力的逐步積累。關(guān)鍵在于提供好的環(huán)境，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)生態(tài)的成長(zhǎng)，堅(jiān)持?jǐn)?shù)年，積累能量，終會(huì)有爆發(fā)式的進(jìn)步。 作為發(fā)展中國(guó)家，我們不可能在各個(gè)高科技領(lǐng)域樣樣去追趕，要“有所為有所不為”。但是，鑒于微電子在科技及高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中的中心地位，鑒于微電子技術(shù)對(duì)提高國(guó)民經(jīng)濟(jì)整體效益、增強(qiáng)綜合國(guó)力的無(wú)可替代的的基礎(chǔ)作用和國(guó)防意義，微電子技術(shù)/產(chǎn)業(yè)在“有所為”的領(lǐng)域中，應(yīng)當(dāng)和軟件產(chǎn)業(yè)一樣，是無(wú)可爭(zhēng)議的首選。這是國(guó)家的根本性的戰(zhàn)略問(wèn)題。至于在“敵”強(qiáng)我弱的形勢(shì)中如何保存發(fā)展自己，在一個(gè)歷史時(shí)段中采取什么樣的競(jìng)爭(zhēng)策略和方式，則是戰(zhàn)術(shù)問(wèn)題。所以，首要的問(wèn)題，還是在“全球化”浪潮中，樹(shù)立民族自尊心，敢于搏擊國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)、充當(dāng)強(qiáng)者的決心和魄力?！皠?chuàng)新是一個(gè)民族進(jìn)步的靈魂，是國(guó)家興旺的不竭動(dòng)力。如果自己的創(chuàng)新能力上不去，一味依靠技術(shù)引進(jìn)，就永遠(yuǎn)難以擺脫技術(shù)落后的局面”（95年江澤民同志在全國(guó)科技大會(huì)上的講話）。參考文獻(xiàn)：1《關(guān)于加快我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的建議》，工程科技與發(fā)展戰(zhàn)略報(bào)告集，2000年。2《高技術(shù)發(fā)展報(bào)告》，中國(guó)科學(xué)院2000年。3《中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展報(bào)告》 科技部 1999年。4《中國(guó)科技發(fā)展研究報(bào)告》 中國(guó)科技發(fā)展研究報(bào)告課題組 2000年。5馬賓：《電子信息產(chǎn)業(yè)的作用與發(fā)展》 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應(yīng)該把自己的工藝研究和現(xiàn)有生產(chǎn)線結(jié)合起來(lái)我?guī)状翁岢?，要在一條大線上掛“瓶子”，買(mǎi)幾臺(tái)好一點(diǎn)的設(shè)備，在這條大線上給研究工作一個(gè)基石。這還不能提升嗎？這么多代的引進(jìn)，我認(rèn)為現(xiàn)在到了可以自主開(kāi)發(fā)的時(shí)候了。這是一個(gè)系統(tǒng)的科學(xué)，你要我們?nèi)ス艽缶€肯定管不了，但我們可以做是其中一部分工藝技術(shù)研究，“九五”時(shí)期，，也登了報(bào)，我建議和某廠合作，買(mǎi)幾臺(tái)關(guān)鍵設(shè)備，利用他的其他設(shè)備，給我們一個(gè)基礎(chǔ)， 的技術(shù)建立起來(lái)。這樣升級(jí)可以節(jié)省很大投資，技術(shù)將來(lái)也是你工廠的了。如果再肯出錢(qián)把留學(xué)生請(qǐng)回來(lái)自己搞工藝和研究，既省了錢(qián)，技術(shù)也扎根在中國(guó)了。我們的經(jīng)驗(yàn)是，工藝研究的設(shè)備，最好和生產(chǎn)設(shè)備一樣。在同樣的設(shè)備上研究成功，工藝條件馬上就可用。因?yàn)橄到y(tǒng)刻蝕的速度和系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)很有關(guān)系。壓力、電源、功率、射頻…都很不一樣。為了縮短交接的周期，希望研究和生產(chǎn)是一樣的設(shè)備。但不管怎樣，我們工藝的結(jié)構(gòu)，器件的結(jié)構(gòu)，離子注入的能量和劑量，氧化層厚度，這些結(jié)構(gòu)參數(shù)是可以參考的。生產(chǎn)企業(yè)要培育自己的技