xps檢測(cè)分析方法ppt課件-資料下載頁(yè)
2025-05-05 18:34本頁(yè)面
【正文】 其成一薄層，再進(jìn)行測(cè)量。 ? 樣品荷電的校正： (絕緣體的荷電效應(yīng)是影響結(jié)果的一個(gè)重要因素 ) ： 用電子中和槍是目前減少荷電效應(yīng)的最好方法；另一種方法是，在導(dǎo)電樣品托上制備超薄樣品，使譜儀和樣品托達(dá)到良好的電接觸狀態(tài)。 ： 主要有以下幾種方法： ； ； ； ； ； 。 XPS譜圖的解釋步驟： ? 在 XPS譜圖中首先鑒別出 C1s、 O1s、 C(KLL) 和O(KLL)的譜峰（通常比較明顯）。 ? 鑒別各種伴線所引起的伴峰。 ? 先確定最強(qiáng)或較強(qiáng)的光電子峰（或俄歇電子峰），再鑒定弱的譜線。 ? 辨認(rèn) p、 d、 f自旋雙重線，核對(duì)所得結(jié)論。 XPS 的特點(diǎn)： ? 可以分析除 H和 He以外的所有元素。 ? 相鄰元素的同種能級(jí)的譜線相隔較遠(yuǎn)，相互干擾較少，元素定性的標(biāo)識(shí)性強(qiáng)。 ? 能夠觀測(cè)化學(xué)位移，化學(xué)位移同原子氧化態(tài)、原子電荷和官能團(tuán)有關(guān)?；瘜W(xué)位移信息是利用 XPS進(jìn)行原子結(jié)構(gòu)分析和化學(xué)鍵研究的基礎(chǔ)。 ? 可作定量分析，即可測(cè)定元素的相對(duì)濃度，又可測(cè)定相同元素的不同氧化態(tài)的相對(duì)濃度。 ? 是一種高靈敏超微量表面分析技術(shù)，樣品分析的深度約為 20197。，信號(hào)來(lái)自表面幾個(gè)原子層，樣品量可少至 108g，絕對(duì)靈敏度高達(dá)1018g。
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