精密工作臺概述ppt課件-資料下載頁
2025-05-04 06:07本頁面
【正文】 平面單層式結(jié)構(gòu) 機械式 氣浮式① 氣浮式② ? 雙層結(jié)構(gòu) ? 大行程納米級精密工作臺的實現(xiàn) ? 回轉(zhuǎn)工作臺的實現(xiàn) 四、精密工作臺的設(shè)計 ? 精密回轉(zhuǎn)工作臺 技術(shù)要求 ① 有效負載：不小于 4Kg； ② 臺面尺寸：不小于 248。300mm； ③ 速率范圍： 176。 /s～ 18000176。 /s； ④ 速率控制精度： 176。 /s177。 %； ⑤ 速率測量精度：高于 176。 /s； ⑥ 最大加速度值： 18000176。 /s2； ⑦ 位置控制精度：不低于 176。 。 L Δ 3600???Lar c t g?
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