mems微陀螺技術(shù)綜述-資料下載頁
2025-04-26 08:51本頁面
【正文】 低到大規(guī)模汽車市場(chǎng)可接受的水平 ，需要精密微機(jī)械 、 高度真空封裝 、 高性能接口電路和電子調(diào)諧技術(shù) 。 另外 ， 在一個(gè)芯片上組合多軸或多種微機(jī)械傳感器是微機(jī)械慣性傳感器的重要發(fā)展方向 。 通過 MEMS技術(shù)的學(xué)習(xí)使我了解了更多關(guān)于 MEMS技術(shù)方面的知識(shí) ， 如：微系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù) 、 微細(xì)加工技術(shù) 、 微型機(jī)械組裝和封裝技術(shù) 、 微系統(tǒng)的表征和測(cè)試技術(shù) ， 以及MEMS技術(shù)在生產(chǎn)生活及經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和國(guó)防建設(shè)中的應(yīng)用 。 主要參考文獻(xiàn)： [1] [2] 李新剛 , 袁建平 . 微機(jī)械陀螺的發(fā)展現(xiàn)狀 [J].力學(xué)進(jìn)展 2022: 33(3), 289301 [3] 王喆垚 . 微系統(tǒng)設(shè)計(jì)與制造 [M]. 北京 : 清華大學(xué)出版社 . [4] Lutz M, et al. A precision yaw rate sensor in silicon micromachining. In: Transducers39。97, 847850. [5] Mikko Saukoski, Lasse Aaltonen, Teemu . Halonen. Interface and control electronics for a bulk micromachined capacitive gyroscope. Sensors and Actuators A 147 (2022) 183–193. [6] Adam R. Schofield, Alexander A. Trusov, Andrei M. Shkel. Micromachined gyroscope concept allowing interchangeable operation in both robust and precision modes. Sensors and Actuators A 165 (2022) 3542. [7] Geen J, et al. Singlechip surface micromachined integrated gyroscope with 50/h Allan deviation. IEEE JSSC, 2022, 37: 18601866. [8] Geen J, Krakauer D. New iMEMS angularratesensing gyroscope. Analog Dialogue, 3703,2022. [9] Geen J. Progress in integrated gyroscopes. IEEE Aamp。E Systems magazine, 2022, 11: 1217. [10] 余才佳，楊衛(wèi)民，王小斌 . 硅微陀螺在導(dǎo)航、制導(dǎo)與控制領(lǐng)域的應(yīng)用 . 第三屆中國(guó)導(dǎo)航、制導(dǎo)與控制學(xué)術(shù)會(huì)議 .2022. [11] [12] Xinxin Li, Minhang Bao, Heng Yang, Shaoqun Shen, Deren Lu. A micromachined piezoresistive angular rate sensor with a posite beam structure. Sensor and Actuators. 72 (1999): 217223. 主要參考文獻(xiàn)： [13] 王喆垚 . 微系統(tǒng)設(shè)計(jì)與制造 [M]. 北京 : 清華大學(xué)出版社 . [14] Tao Jiang, Anlin Wang, Jiwei Jiao, Guangjun Liu, Detection capacitance analysis method for tuning fork micromachined gyroscope based on elastic body model, Sensors and Actuators A 128 (2022) pp. 52–59. [15] . Liu, . Yang, . Chi, J. Cui, . Ding, . Guo, B. Lv, . Lin, . Zhao, . doubly decoupled lateral axis micromachined gyroscope, Sensor and Actuator A, 154(2022) 218223. [16] 陳偉平，陳宏，郭玉剛，許鵬，劉曉為 .一種全對(duì)稱微機(jī)械陀螺的雙級(jí)解耦機(jī)構(gòu)特性 .納米技術(shù)與精密工程， 2022: 7(3)， P239244. [17] [18] [19] XXXXX [20] 劉俊 , 石云波 , 李杰 . 微慣性技術(shù) [M]. 北京：電子工業(yè)出版社 2022 [21] 孟光 , 張文明 . 微機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)力學(xué) [M]. 北京：科學(xué)出版社 . [22] 姜璐 , 于遠(yuǎn)治 ,吉春生 .陀螺儀在導(dǎo)航中的應(yīng)用及其比較 . 船舶工程 .2022: 26(2), 1013.
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