【導(dǎo)讀】1，了解半導(dǎo)體多晶硅有關(guān)基本概念與有關(guān)名詞，為今后進(jìn)一步學(xué)習(xí)、交流與提高打下基礎(chǔ)；2，了解多晶硅的主要用途與國內(nèi)外多晶硅的生產(chǎn)和市場情況，熱愛多晶硅事業(yè)與行業(yè)；3，了解多晶硅生產(chǎn)方法和多晶硅生產(chǎn)的主要特點(diǎn)，加深對多晶硅生產(chǎn)工藝流程的初步認(rèn)識(shí)；于今后工作的開展。還原生成有金屬光澤的、銀灰色的、具有半導(dǎo)體特性產(chǎn)品，稱為半導(dǎo)體級(jí)多晶硅。阻率來劃分的，見表1。來表示，半導(dǎo)體的純度是以雜質(zhì)含量與主體物質(zhì)含量之比來表示的。如工業(yè)硅中Fe≤%,AL≤%,Ca≤%,共≤1%,則工業(yè)。集成電路的元件數(shù)的比較，列于表3。集成電路的集成度越高，則對硅材料純度的要求越高。超大規(guī)模集成電路正趨向于采用硅外延片來生產(chǎn)。圓片），在硅片上制成電子元件，才能有用。摻雜、離子注入------等許多工序）即集成電路。導(dǎo)，火箭發(fā)射，電子控制設(shè)備，軍事裝備等；監(jiān)控，電腦網(wǎng)絡(luò)，

　　

【正文】 廢氣 HCL H2 H2 液氯 HCL 氫氣 放空 損失 (硅雜質(zhì) ) 回收 HCL 多晶硅 H2 回收 HCL () 廢氣 廢氣 廢氣 廢氣 氧氣 (放空 ) H2 H2 水 H2 1180 廢氣 廢氣 (STC+PCS) (TCS) (作廢液處理 ) (作廢液處理 ) 氯 化 氫 合 成 氫 化 爐 電 解 水 制 氫 氯 硅 烷 合 成 合成汽回收 合成料精餾 還 原 爐 還 原 料 精 餾 氫 化 尾 氣 回 收 還原尾氣回收 釜液收集罐 高沸物廢液 罐 氫化料精餾 低沸物收集罐 四氯化硅精餾 四氯化硅精餾 低沸 物廢液罐 25 附件 13： HCL 合成工藝流程示意圖 HCL合 成 工 藝流 程 示 意 圖P1P4 液氯鋼瓶 氯氣 緩沖罐液氯脫水凈化純氫氫氣緩沖罐HCL合成爐急排緩沖罐HCL緩沖罐空冷器 至三氯氫硅合成爐至廢氣處理塔水冷器 圖 1 26 附件 14：三氯氫硅合成工藝流程示意圖 HCLN2至尾氣塔至廢渣處理塔 至廢渣處理塔N2N2冷凝器冷凝器 袋濾器合成爐旋風(fēng)器集塵器集塵器硅粉罐計(jì)量罐計(jì)量罐三 氯 氫 硅合 成 流 程示 意 圖圖 2蒸發(fā)器蒸發(fā)器濕法除塵塔濕法除塵塔 去 回收 27 附件 15： 3000 噸 /年多晶硅項(xiàng)目 —— 圖 3 精餾提純物料平衡圖 ( 單位 : kg/h ) 1, 合成氯硅烷 分離精餾 提純 （ 2 個(gè)系列， 10 臺(tái)塔） 10 10 10 10 10 10 2, 還原回收 氯硅烷 分離精餾 提純 (10 個(gè)系列 ， 20 臺(tái)塔 ) 2 2 2 2 2 682 10 682 10 682 10 682 10 682 10 8級(jí)塔 7級(jí)塔 1 級(jí)塔 21 級(jí)塔 31 級(jí)塔 41 級(jí)塔 51 級(jí)塔 11級(jí)塔 10級(jí)塔 9級(jí)塔 6級(jí)塔 13級(jí)塔 12級(jí)塔 14級(jí)塔 15級(jí)塔 1 級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔102級(jí)塔71級(jí)塔62級(jí)塔82級(jí)塔81級(jí)塔72級(jí)塔1級(jí)塔92級(jí)塔91級(jí)塔101級(jí)塔 1 級(jí)塔 22 級(jí)塔 32 級(jí)塔 42 級(jí)塔 52 級(jí)塔 2 級(jí)塔 28 2 2 2 2 2 682 10 682 10 682 10 682 10 682 10 3, 氫化尾氣回收 氯硅烷 分離精餾 提純 (3 個(gè)系列 ， 6 臺(tái)塔 ) 2 2 2 4，回收的高低沸物分離精餾提純 （ 5 個(gè)系列， 10 臺(tái)塔） 2 .892 16級(jí)塔 17級(jí)塔 18級(jí)塔 19級(jí)塔 1級(jí)塔162級(jí)塔171級(jí)塔172級(jí)塔8級(jí)塔 7級(jí)塔 11級(jí)塔 10級(jí)塔 9級(jí)塔 6級(jí)塔 13級(jí)塔 12級(jí)塔 14級(jí)塔 15級(jí)塔 級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔級(jí)塔152級(jí)塔121級(jí)塔112級(jí)塔132級(jí)塔131級(jí)塔122級(jí)塔111級(jí)塔142級(jí)塔141級(jí)塔151級(jí)塔8級(jí)塔 7級(jí)塔 11級(jí)塔 10級(jí)