一pecvd原理及設(shè)備結(jié)構(gòu)-資料下載頁
2025-03-22 01:16本頁面
【正文】 器的工作狀態(tài)。 ? System:四根管子的工作狀態(tài)，舟的狀態(tài)以及手動(dòng)操作機(jī)器臂的內(nèi)容。 ? Datalog:機(jī)器運(yùn)行的每一步。 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) ? Setup: 舟的資料的更改，工藝內(nèi)容的更改，使用權(quán)限 的更改， LIFT位置的更改， CMS安區(qū)系統(tǒng) （安裝的感應(yīng)器將監(jiān)控重要系統(tǒng)的運(yùn)行情況，而一旦不受管的計(jì)算機(jī)的控制， CMS將會(huì)發(fā)生作用，所有的錯(cuò)誤信息也都會(huì)在CIM上得以簡潔的文本方式顯示出來）的更改等。 ? Alarms：警報(bào)內(nèi)容 ? Help:簡要的說了一下解除警報(bào)以及其他方面的方法 ? CESAR:控制電腦，每一個(gè)系統(tǒng)都安裝了 CESAR控制電腦及 CESAR 控制軟件，此控制電腦獨(dú)立于主電腦系統(tǒng)中。 CESAR控制電腦示意圖 運(yùn)行順序控制 控制界面 數(shù)據(jù)資料記錄 溫度 特氣 真空 晶片裝載 判斷 PECVD 的產(chǎn)出硅片的質(zhì)量 亮點(diǎn)色斑 鍍膜時(shí)間太短 水紋印 色斑 色差
高考資料相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1