pecvd技術(shù)ppt課件-資料下載頁
2024-10-19 05:00本頁面
【正文】 ） 2021/11/11 23 4. SiNA系統(tǒng) ? SiNA系統(tǒng)有三個(gè)腔體，分別是進(jìn)料腔，反應(yīng)腔（包括預(yù)熱、沉積和冷卻三部分）和出料腔。各腔體直接有閘門閥隔開。除了腔體，其它主要部分包括真空泵系統(tǒng)，真空監(jiān)測系統(tǒng)（各種真空規(guī)），氣體供應(yīng)系統(tǒng)，等離子源 (微波發(fā)生器），冷卻水系統(tǒng)，硅片傳送系統(tǒng)和襯底加熱系統(tǒng)等。 2021/11/11 24 4. SiNA系統(tǒng) 2021/11/11 25 5. 安全規(guī)則 使用和維護(hù)本設(shè)備時(shí)必須嚴(yán)格遵守操作規(guī)程和安全規(guī)則，因?yàn)椋? ? 本設(shè)備的工藝氣體為 SiH4和 NH3，二者均有毒，且 SiH4易燃易爆； ? 本設(shè)備運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生微波輻射，每次維護(hù)后和停機(jī)一段時(shí)間再開機(jī)前都要檢測微波是否泄漏。 2021/11/11 26 5. 安全規(guī)則 操作 SiNA系統(tǒng)前，應(yīng)熟識(shí)下列標(biāo)識(shí)，以防止發(fā)生人身傷害或設(shè)備損壞： 可能導(dǎo)致人身傷害或設(shè)備的損壞！ 帶電！（微波源的電壓為 4kv） 可能有微波輻射?。ㄎ⒉l率 ） 2021/11/11 27 5. 安全規(guī)則 設(shè)備有移動(dòng)的部分，可能會(huì)造成人身傷害?。ㄈ缟w板） 這個(gè)標(biāo)記在傳送系統(tǒng)附近，警告操作人員注意防止夾手。 加熱的部分，注意防止?fàn)C傷。 操作時(shí)戴防護(hù)手套！ 2021/11/11 28 5. 安全規(guī)則 操作時(shí)戴護(hù)目鏡。 操作時(shí)戴防毒面具。 操作時(shí)穿防護(hù)服。 操作時(shí)穿防護(hù)靴。 2021/11/11 29 謝謝
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1