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各種各樣的傳感器介紹-資料下載頁

2025-01-15 02:09本頁面
  

【正文】 。電極是用金屬蒸發(fā)沉積法布置在壓電晶體表面,然后整體涂上一層絕緣層。   一臺(tái)掃頻儀通過振蕩器所產(chǎn)生的交變電壓來確定傳感元件的諧振頻率。因?yàn)樵谥C振時(shí),傳感元件的電阻達(dá)到最大值,隨著液體粘度的變化,這個(gè)蜂值也相應(yīng)變化,并通過峰值檢測(cè)電路轉(zhuǎn)化為電壓信號(hào)。   絕緣層的厚度根據(jù)所測(cè)粘度的范圍來確定,因?yàn)閺囊后w界面處反射回來的切變波必須被絕緣層全部吸收,所以絕緣層的厚度大約是四分之一個(gè)波長(zhǎng)。   磁敏式速度傳感器   SST技術(shù)有限公司開發(fā)了一種一體化的傳感器,它是把高磁阻(GMR)材料與半導(dǎo)體裝置合為一體的磁敏式速度傳感器。高磁阻材料的特點(diǎn)是隨磁場(chǎng)的變化其電阻值也發(fā)生變化。半導(dǎo)體裝置是由制作在同一塊BICMOS電路板上的信號(hào)處理器和電壓調(diào)節(jié)器所構(gòu)成。先將高磁阻材料噴鍍?cè)贐ICMOS板基上,采用光刻腐蝕工藝將其制成電阻,通過鋁箔把其連入BICMOS電路,再周邊鍍上一層合金以聚集磁力線。   這種傳感器是雙極型結(jié)構(gòu),通過電平轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)方波形脈沖信號(hào),其輸出頻率與軟磁信號(hào)輪齒的回轉(zhuǎn)頻率是相同的,而勵(lì)磁機(jī)構(gòu)是一塊永久磁鐵。由于傳感器的信號(hào)處理電路是直流耦合式,所以可處理零速狀態(tài)。而其具有高靈敏度使之在較大氣隙下也能工作。   采用上述技術(shù)的ABS傳感器具有零速處理、輸出信號(hào)在兩電平之間變化的雙極型結(jié)構(gòu),脈沖頻率與信號(hào)輪齒或磁極的回轉(zhuǎn)頻率相同的特點(diǎn)。在允許溫度和工作頻率范圍內(nèi),其頻寬比為(50177。10)%,氣隙特性可達(dá)3mm。
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