碩士研究生開題報告-資料下載頁
2024-11-25 22:45本頁面
【正文】 的電壓環(huán)給定 、 PI調(diào)節(jié) 偏置電源斬波電路的雙向 PWM波生成等 。 ? 1. UDP工藝要求非常高 ， 靶電源和 偏置電源的各項參數(shù)指標(biāo)如電壓 、 電流 、 脈寬 、持續(xù)時間等必須得到嚴(yán)格控制 ， 而電源負(fù)載又十分復(fù)雜 ， 難以建立恰當(dāng)?shù)臄?shù)學(xué)模型 ，要得到預(yù)期的控制效果和控制精度 ， 對控制系統(tǒng)設(shè)計提出了很高要求 。 這要求充分比較各控制策略的特點 、 選擇恰當(dāng)?shù)目刂扑惴?、 精心設(shè)計電路 、 對系統(tǒng)參數(shù)進(jìn)行反復(fù)調(diào)試 。 四．課題難點及解決思路 ? 2． 靶電源起弧是十分有害的，如何快速準(zhǔn)確地測弧和滅弧也是設(shè)計的一個難點；為此，在選取靶電源的控制策略時應(yīng)特別強(qiáng)調(diào)靶電源的電流控制能力和響應(yīng)速度，另外，充分利用專用驅(qū)動芯片如 UCC3895自帶的保護(hù)功能，在短路、過流、起弧等情況下，能迅速關(guān)閉輸出并軟啟動，使生產(chǎn)過程不致受到嚴(yán)重影響。 ? 3. 生產(chǎn)現(xiàn)場環(huán)境惡劣，靶電源和偏置電源均工作在高壓大電流高頻開關(guān)狀態(tài)下，對控制器的干擾大，需要保證系統(tǒng)工作穩(wěn)定可靠，有很強(qiáng)的抗干擾能力，這必須采取適當(dāng)?shù)目垢蓴_措施，如加屏蔽、合理布局走線以及設(shè)置完善的保護(hù)措施、為MCU設(shè)看門狗等。 ? 設(shè)計可靠的控制系統(tǒng)并實現(xiàn)系統(tǒng)仿真 、 調(diào)試 ， 發(fā)表關(guān)于 UDP磁控濺射電源控制系統(tǒng)的論文兩 ~三篇 。 進(jìn)度安排如下： ? 2021年 9月～ 2021年 12月 查資料 、 消化工 藝 、 系統(tǒng)方案設(shè)計 ? 2021年 1月～ 2021年 4月 方案論證 、 控制 系統(tǒng)軟硬件設(shè)計 ? 2021年 5月～ 2021年 8月 最小系統(tǒng)功能模 塊 和控制算法的實現(xiàn) 發(fā)表論文一篇 五． 預(yù)期效果及進(jìn)度安排 ? 2021年 9月～ 2021年 11月 系統(tǒng)仿真調(diào)試 程序優(yōu)化 發(fā)表論文一篇 ? 2021年 11月～ 2021年 12月 撰寫論文 準(zhǔn)備預(yù)答辯 ? 2021年 1月 修改論文 準(zhǔn)備答辯 謝 謝 !
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