用橢圓偏振儀測量薄膜厚度-資料下載頁
2025-10-02 14:50本頁面
【導(dǎo)讀】了解薄膜的厚度測量的基本原理。利用橢圓偏振光消光法，測定透明薄。本節(jié)課教學(xué)難點(diǎn)：實(shí)現(xiàn)橢圓偏振光消光。有一束自然光通過起偏器后，變成了線偏。表面上時，反射光的偏振狀態(tài)發(fā)生了變化。圖1所示為一光學(xué)均勻和各向同性的單層介。質(zhì)膜，它有兩個平行的界面。果反映了膜的光學(xué)特性。Ers分別代表各束反射光K0，K1，K2，…看光束，調(diào)節(jié)平臺高度調(diào)節(jié)鈕，使觀察窗中的光點(diǎn)最亮最圓。測光強(qiáng)變化，當(dāng)光強(qiáng)最小時，起偏器位置保持不動。微調(diào)起偏器、檢偏器手輪，使表的示值最小。從檢偏器刻度盤及游標(biāo)盤上讀出檢偏方位角A。由于并不與樣品接觸，對。樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測量設(shè)備。橢偏儀涉及領(lǐng)域有：半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等。展使橢偏儀在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用。提供了解決問題的新方法，因此，橢偏儀現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于研究、開發(fā)和制造過程中。
【正文】 用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材 料微結(jié)構(gòu)光學(xué)測量設(shè)備。由于并不與樣品接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測量設(shè)備。 橢偏儀可測的材料包括：半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、 有機(jī)物、金屬、多層膜物質(zhì) … 橢偏儀涉及領(lǐng)域有：半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué) 鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等。 早期的研究主要集中于偏振光及偏振光與材料相互作 用的物理學(xué)研究以及儀器的光學(xué)研究。計(jì)算機(jī)的 發(fā)展使橢偏儀在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用。硬件的自動化和軟件的成熟大大提高了運(yùn)算的速度，成熟的軟件提供了解決問題的新方法，因此，橢偏儀現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于 研究、開發(fā)和制造過程中。 能測量很薄的膜（ 1nm），且精度很高，比干涉法高 12個數(shù)量級。 是一種無損測量，不必特別制備樣品，也不損壞樣品，比其它精密方法：如稱重法、定量化學(xué)分析法簡便。 可同時測量膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)。因此可以作為分析工具使用。 對一些表面結(jié)構(gòu)、表面過程和表面反應(yīng)相當(dāng)敏感。是研究表面物理的一種方法
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