第六章電子束和離子束加工-資料下載頁
2024-10-11 11:59本頁面
【導讀】在真空條件下，將具有很高?？梢赃_到不同的加工目的。如只使材料局部加熱就可。束焊接；提高電子束能量密度，使材料熔化和汽化，行電子束光刻加工。電子束的能量密度高，加工效率高。整個加工過程便于實現(xiàn)自動化。加工在真空中進行，污染少，加工表面不易被氧化。統(tǒng)和電源等部分組成。在飛向陽極的過程中，經(jīng)過加速電極加速，金屬蒸汽會影響電子發(fā)射，產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象。位置控制、束流強度控制以及工作臺位移控制等。例如噴氣發(fā)動機套上的冷卻孔，機翼上的孔，高速打孔可在工件運動中進行，例如在。厚的不銹鋼上加工直徑為，速度為每秒3000孔?，F(xiàn)在生產(chǎn)上已出現(xiàn)了專用塑料打孔機，將。電子束對陶瓷或半導體材料刻出許多微細溝槽和孔來，電子束焊接是利用電子束作為熱源的一種焊接工藝。學成分純凈，焊接接頭的強度往往高于母材。電子束熱處理在真空中進行，可以防。尺度的切削加工，通常又稱為離子銑削。實際上此法為一種鍍膜工藝。成本高、生產(chǎn)率較低。
【正文】 ， 離子注入的深度和濃度亦可精確地控制 。 (2) 離子束加工在高真空中進行 ， 污染少 ， 特別適宜于對易氧化的金屬 、 合金和半導體材料進行加工 。 22 第六章 電子束和離子束加工 (3) 離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實現(xiàn)的 ， 是一種微觀作用 ， 所以加工應力和變形極小 ，適宜于對各種材料和低剛件零件進行加工 。 （ 4） 離子束加工設備費用貴 ， 成本高 ， 加工效率低 ，應用受到限制 。 在目前的工業(yè)生產(chǎn)中 ， 離子束加工主要應用于刻蝕加工 (如加工空氣軸承的溝槽 ， 加工極薄材料等 )、 鍍膜加工 (如在金屬或非金屬材料上鍍制金屬或非金屬材料 )、 注入加工 (如某些特殊的半導體器件 )等 。 23 第六章 電子束和離子束加工 二、離子束加工裝置 包括離子源、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源等部分。 離子源產(chǎn)生離子束流。形式多樣，常有考夫曼型離子源和雙等離子管型離子源。 24 第六章 電子束和離子束加工 三、離子束加工的應用 （一）刻蝕加工 離子刻蝕是從工件上去除材料，是一個撞擊濺射的過程。當離子束轟擊工件時，入射離子的動量傳遞到工件表面的原子，當傳遞能量超過了原子間的鍵合力時，原子就從工件表面撞擊濺射出來，達到刻蝕目的。 25 第六章 電子束和離子束加工 （二）鍍膜加工 包括濺射沉積和離子鍍。 離子鍍 時工件不僅接受靶材濺射來的原子，還受到離子的轟擊。優(yōu)點：離子鍍膜附著力強，膜層不易脫落；繞射性好，基板暴露表面均能被鍍覆。離子鍍應用廣泛。 （三）離子注入加工 離子注入加工是向工件表面直接注入離子，不受熱力學限制，可注入任何離子，注入量可精確控制。可提高材料的耐腐蝕性能、提高金屬材料硬度，改善金屬材料的潤滑性能。
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