【導(dǎo)讀】可以選擇ε、S、d中三個(gè)參數(shù)中,保持兩個(gè)參數(shù)不變,而只改變其中一個(gè)參數(shù),變面積型電容傳感器中,平板結(jié)構(gòu)對(duì)極距特別敏感,測(cè)量精度受到。影響,而圓柱形結(jié)構(gòu)受極板徑向變化的影響很小,且理論上具有很好的線性關(guān)系,仍然存在,且靈敏度下降,但比變極距型好得多。)成為實(shí)際中最常用的結(jié)構(gòu),式中l(wèi)——外圓筒與內(nèi)圓柱覆蓋部分的長(zhǎng)度;當(dāng)兩圓筒相對(duì)移動(dòng)l?時(shí),電容變化量C?l與靈敏度無關(guān),但l不可太小,否則邊緣效應(yīng)將影響到傳感器的線性。距變化對(duì)測(cè)量精度的影響,并且可以減小非線性誤差和增加傳感器的靈敏度。電容傳感器、電容傳感器實(shí)驗(yàn)?zāi)0?、測(cè)微頭、數(shù)顯單元、直流穩(wěn)壓源。記下位移X與輸出電壓值,填入表8-1。的最厲害,這種彎曲的現(xiàn)象叫做邊緣效應(yīng)。小二乘法做出擬合直線,計(jì)算該傳感器得非線性誤差。性,是目前較為可行的。