【導(dǎo)讀】利用平行板差動(dòng)電容,配以脈寬調(diào)制信號(hào)處理電路實(shí)現(xiàn)對(duì)微位移的檢測(cè)。建立實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),搭建整個(gè)測(cè)試系統(tǒng);研制平行板電容器;研制出傳感器信號(hào)處理電路;研制出一臺(tái)微位移測(cè)試儀。外文翻譯,文獻(xiàn)綜述,提出總體方案,提交開題報(bào)告,撰寫調(diào)研報(bào)告。編寫畢業(yè)設(shè)計(jì)說明書。分辨率高、可非接觸測(cè)量,并能在高溫、輻射和強(qiáng)烈振動(dòng)等惡劣條件下工作。振動(dòng)、角度、加速度、壓力、壓差、液面和成分含量測(cè)量等方面獲得廣泛應(yīng)用。了測(cè)出被測(cè)非電量必須采用測(cè)量電路將其轉(zhuǎn)換成電壓、電流或頻率信號(hào)。本論文主要研究的內(nèi)容是電容式位移傳感器及其測(cè)量電路。設(shè)計(jì)中電容器由三片相同?,F(xiàn)對(duì)微小位移的檢測(cè)。這種電路無需相敏檢波電路即可判定產(chǎn)生位移的板的運(yùn)動(dòng)位置,由。于采用差動(dòng)結(jié)構(gòu),整體電路具有線性度高、靈敏度高和溫漂小的特點(diǎn)。設(shè)計(jì)時(shí)將系統(tǒng)分為兩部分,即傳感器制作部分和測(cè)量電路部分,通過分步測(cè)試調(diào)理,當(dāng)動(dòng)極板與兩固定極板的相對(duì)