種基于厚膜陶瓷電容的微位移傳感器-資料下載頁(yè)
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【正文】 。 ?ΔS = 50 nm； ? 非線性 : % 2021年標(biāo)定結(jié)果（部分節(jié)選） 2021/6/8 41 ? 量程 : 0 ~ 100 nm。 ?ΔS = 20 nm； ? 非線性 : 4% ? 量程 : 0 ~ 50 nm。 ?ΔS = 10 nm； ? 非線性 : 7% 2021/6/8 42 2021型標(biāo)定結(jié)果（部分節(jié)選） ? 量程 : 0 ~ 200 nm。 ?ΔS = 20 nm ? 非線性 : % ? 量程 : 0 ~ 100 nm。 ?ΔS = 10 nm； ? 非線性 : % 2021/6/8 43 ? 量程 : 0 ~ 50 nm。 ?ΔS = 5 nm； ? 非線性 : 2% ? 量程 : 0 ~ 20 nm。 ?ΔS = 2 nm ? 非線性 : % 2021/6/8 44 傳感器的總體評(píng)價(jià) ?動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度快（ ≈80Hz）； ?功耗?。?≈20mW）； ?靈敏度高、分辨率高（ 1~2nm）； ?結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單； ?穩(wěn)定性高； 2021/6/8 45 六、總結(jié)與展望 1. 開展基于厚膜電容傳感原理的納米級(jí)位移測(cè)量的特征信息提取方法研究 ， 研制了一種厚膜陶瓷電容式微位移傳感器 ， 分辨率可達(dá) 1~2nm ； 2. 適應(yīng)微納環(huán)境下機(jī)器人化操作需求 ， 開展傳感器可靠性和小型化研究 ， 采用厚膜工藝實(shí)現(xiàn)電容芯片與信號(hào)處理電路的一體化集成 。 2021/6/8 46 ?限于經(jīng)費(fèi)、測(cè)試手段、時(shí)間等因素，和國(guó)外相比還有一定差距： ? 分辨率能否進(jìn)一步提高 國(guó)外報(bào)道 （ 德國(guó)米依、 PI）； ? 處理電路仍有進(jìn)一步優(yōu)化的空間； ? 相關(guān)力學(xué)分析及理論研究等科學(xué)問(wèn)題； ? 傳感器的 穩(wěn)定性尚待提高； ? 應(yīng)用前景的拓展 ； 2021/6/8 47 未來(lái)展望 1. 深化相關(guān)力學(xué)分析及理論研究等科學(xué)問(wèn)題研究； 2. 進(jìn)一步探討微位移測(cè)量涉及的力學(xué)及特征信息的提取研究； 3. 深入開展同微納操作 PZT驅(qū)動(dòng)平臺(tái)的對(duì)接試驗(yàn)； 4. 分辨率、精度及其相關(guān)結(jié)構(gòu)和工藝因素的研究，提高分辨率、精度； 5. 理論推導(dǎo)周邊固支圓板在分布載荷、作用于圓心的集中力或位移等； 6. 優(yōu)化結(jié)構(gòu)和工藝，提高分辨率和精度，尤其膜片的變形、電容值等與載荷的關(guān)系； 7. 開拓新的應(yīng)用出口，推進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化。 2021/6/8 48 致 謝 ? 本報(bào)告展示的工作得到了國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目 “ 納米環(huán)境中機(jī)器人化操作的理論體系與實(shí)現(xiàn)方法（ ） ” 的資助； ? 傳感器性能標(biāo)定工作得到沈陽(yáng)自動(dòng)化所董再勵(lì)研究員課題組的大力幫助 ， 在此一并致以衷心感謝 ！ ? 同時(shí)也要感謝我的太太一直以來(lái)對(duì)我工作的支持 ，我很期待和她一起迎接我們寶寶的誕生 ！ ? 最后也感謝會(huì)務(wù)組提供這樣一個(gè)寶貴的交流機(jī)會(huì) ！ 2021/6/8 49 敬請(qǐng)指正，謝謝！ 期待更多交流和合作機(jī)會(huì)： Email：
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