一pecvd原理及設(shè)備結(jié)構(gòu)3(編輯修改稿)
2025-03-31 17:58 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 lm ? O2 3 slm ? N2 15 slm 氣動(dòng)閥： 之所以不用電磁閥是因?yàn)殡姶砰y在工作時(shí)容易產(chǎn)生火花，而氣動(dòng)閥可以最大程度的避免火花。 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) 真空系統(tǒng) ? 真空泵：每一根石英管配置一組泵，包括主泵和輔助泵。 ? 蝶閥：可以根據(jù)要求控制閥門的開關(guān)的大小，來(lái)調(diào)節(jié)管內(nèi)氣壓的 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) 控制系統(tǒng) CMI:是 Centrotherm 研發(fā)的一個(gè)控制系統(tǒng)，其中界面包括 Jobs（界面） 、 System（系統(tǒng)） 、Catalog（目錄）、 Setup（軟件）、 Alarms（報(bào)警）、Help（幫助） . ? Jobs:機(jī)器的工作狀態(tài)。 ? System:四根管子的工作狀態(tài)，舟的狀態(tài)以及手動(dòng)操作機(jī)器臂的內(nèi)容。 ? Datalog:機(jī)器運(yùn)行的每一步。 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) ? Setup: 舟的資料的更改，工藝內(nèi)容的更改，使用權(quán)限 的更改， LIFT位置的更改， CMS安區(qū)系統(tǒng) （安裝的感應(yīng)器將監(jiān)控重要系統(tǒng)的運(yùn)行情況，而一旦不受管的計(jì)算機(jī)的控制， CMS將會(huì)發(fā)生作用，所有的錯(cuò)誤信息也都會(huì)在CIM上得以簡(jiǎn)潔的文本方式顯示出來(lái)）的更改等。 ? Alarms：警報(bào)內(nèi)容 ? Help:簡(jiǎn)要的說(shuō)了一下解除警報(bào)以及其他方面的方法 ? CESAR:控制電腦，每一個(gè)系統(tǒng)都安裝了 CESAR控制電腦及 CESAR 控制軟件，此控制電腦獨(dú)立于主電腦系統(tǒng)中。 CESAR控制電腦示意圖 運(yùn)行順序控制 控制界面 數(shù)據(jù)資料記錄 溫度 特氣 真空 晶片裝載 判斷 PECVD 的產(chǎn)出硅片的質(zhì)量 亮點(diǎn)色斑 鍍膜時(shí)
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