氣體設備基礎培訓(編輯修改稿)
2025-03-11 13:55 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 標準型全手動配置 ? 進氣擴展口 *1 ? 支路配置：手動隔膜閥 +標準型調(diào)壓閥 +壓力表 +出口手動關(guān)斷閥 ? 手動 N2吹掃功能 ? 手動抽真空功能 Page No. 14 VMP ? VMP：閥組盤 特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配裝置，用于向一個或多個工藝設備提供特種氣體 同時供應數(shù)臺機臺 根據(jù)氣體種類進行分類 將工藝氣體純化、過濾、減壓，達到客戶需求 Page No. 15 VMP 隔膜閥 配置， VCR接口 標準 型全手動配置 進氣擴展口 *1 支路配置：手動隔膜閥 +標準型調(diào)壓閥 +壓力表 隔膜閥 配置， VCR接口 標準 型全手動配置 進氣擴展口 *1 主進管路調(diào)壓 支路配置：出口手動關(guān)斷隔膜閥 Page No. 16 VMP 球閥 配置，卡套接口 標準 型全手動配置 進氣擴展口 *1 支路配置：手動球閥 +標準型調(diào)壓閥 +壓力表 球閥 配置，卡套接口 標準 型全手動配置 進氣擴展口 *1 主進管路調(diào)壓 支路配置：出口手動關(guān)斷球閥 Page No. 17 常用閥門圖例 Page No. 18 常用位號定義 ? PGI： Purge Gas Isolation Valve，吹掃隔離閥 ? HPI： Process Gas Supply Isolation Valve，高壓隔離閥 ? LPI： Process Gas Supply Isolation Valve，低壓隔離閥 ? REG： regulator 調(diào)壓閥 ? LPV： Process Gas Delivery Vent Valve，低壓排放閥 ? HPV： Process Gas Supply Vent Valve，高壓排放閥 ? TAP： Test Access Port，氦檢漏閥 ? PIV： Purge Isolation Valve，吹 掃隔離閥 ? GNBV： Vacuum Venturi Supply Valve，抽真空氮氣針孔閥 ? PNBV： Purge Gas Bleed Valve，吹掃氮氣針孔閥 ? HPIV： High Pressure Isolation Valve，高壓保壓隔離閥 ? HPT: Supply Pressure Transducer，高壓傳感器 ? HPG: Supply Pressure Gauge，高壓壓力表 ? LPT： Delivery Pressure Transducer，低壓傳感器 ? LPG： Delivery Pressure Gauge， 低壓壓力表 ? VPT： Vacuum Pressure Transducer，真空端壓力傳感器 ? VG： Vacuum Generator，真空 發(fā)生器 ? CV（ P）： Low Purge N2 Supply Check Valve，低壓吹掃氮氣單向閥 ? CVP： Purge N2 Supply Check V
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