韓國某精密制造公司業(yè)務(wù)介紹版式配色很ok(ppt28頁)(編輯修改稿)
2025-02-08 01:09 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ??? 1?200mm/300mm? ??? BPSG(????? ) FLOW ??High Speed Temp. Ramp up/down?? Anneal ? ?? 200mm 5? , 300mm 7?????200mm/300mm Batch Type ALD (Al2O3,HfO2)??? Capacitor? ??? ???? ????200㎜ : ~300㎜ : ~300mm Mini Batch (Si3N4) Quick Cycle Time ?? ? ??? ???????? ~300mm ICC+Vacuum Load LockDPoly Poly Contact ?? ?? ?? ~200mm/300mm? Batch PN(Plasma Nitridation)High Throughput Batch Type??? ??? ??200㎜ : ~300㎜ : ~????300mm Batch Type ALD(Si3N4) ??? ???? ???? 2023. ??? ~MMT (Modified Magron Typed Plasma source)LowTemp. Plasma ?????? ??? ?? 2023. ??? ~KAIST NANO FAB ?? ?? NANO Technology process ???? 2023. ??? ~??? ????????? ??10?? ????? ???? Device Maker?????? ???????? ???????? ??? ??17RD ??? ??????? ???? ???? 20230019002 ????? ????? ?? ?????????? ????? 20230010461 ???? 20230070914 ????? ????????? ?? ?? ????? 20230035106 ???? 20230070682 ??? ??? ????????? ??? ??????? ?????? ????? 20230035105 ????? Unit? ??? Partner ????Gas / ?? Unit ?? ?? ? 60%Quartz ? ?? , ?? , ??Heater ??? ??E? ARM ????????? / TRANSFER ARM/ TRANSFER ????ROBOT ARM/ BOAT CHANGER ?????? Unit HANBONFLANGE/ SHUTTER ??????DAMPER DUCT ????RD ??34? 2023? ??????? ??? RD ?? 23? (?? ?? 77?? 30% ?? ) ???? 15? ?? ?? ???? 5?? RD ?? 15? ?? ?? (??? ?? 6%↑)? ?????? ?? ???? , ???????? ????? ?? ???????? ??? ?? ????? ?? ?? Unit ??? ????(??? ??? ??? ?? , ????? ???? ?? )(%) (??? ) 1835 ???? ??????????? ?? , ??? , ?? ??? ??? ??????? ????? ????????? ??2023? ??? ????? ???????? ?? ?? ? ?? ???? ??? ????? ????????? ?? ???? ??? ??? ???? ?? ??? ?? 1,700??? ?? ?? ?? ???? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ?? : ????? ?? ???? ????? ?? : ???? ??? ?? 1?? ? 2,500??? ??? ?? ????? ?? : ?? ?? ?? ? 1?? ?????? 3%? ??? ?? ?????? : ???????? ?? ??? 800?? ??? ??? ?? : ????? ??? ????? ??? ??? ?? ? ?? ???? ???? ??? ?? ?? : ????? ?? ????? ? ?? ???? ?? ??? ??? ???? ?? ?? ????? ??? ??? ??? ???? ?????????1936 ???? ???????? ????? ?? ???? ???? , ???? , ??? ?? ?? ????? ???? ??? ?? ?? , ??? A/S? ???? ?? .? ???????? ? 3?? ???? ??? ???? (OEM) ?? .? ??? ?? ???? ? ?? ??? ???? ?? ???????? ?? ??? ?? . ? 1 ?? : ??? ?? ? 2?? : ???? ? A/S?? ? 3?? : ?? Unit, ?? OEM ?????????????????? ???????????? ?? ??? ?? ?? ?? ?? ?? 5″ Wafer 4″ ~ 6″ Wafer 8″ ~ 12″ Wafer 200?? ?? ?? 15~20? ???? ???? ~ 80?? ? 1991 ~ 1996 1997 ~ 2023 2023 ~ 2023?? ?????72992727???8010103030?? (8″)?ASMCTSMCHejianSMIC? ?? ’03? ??????? ???? ???? (M$)311010641Line
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